【課題】ダブルアーム構造のカンチレバー型プローブの最適構造と、上側アームのスペーサに対する密着強度を向上させるプローブ構造、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】接触子１２と、上側アーム２４と下側アーム１６の２枚の板材で構成されているアーム部の一方の端部に接触子１２が取り付けられ他方の端部が固定されたアーム部とから成るプローブ１０を備え、上側アーム２４と下側アーム１６はスペーサＡ１８及びスペーサＢ２０を介して接合され、スペーサＡ１８には、上側アーム２４との接触面に凹部２２を形成し、上側アームの一部がスペーサＡ１８内に食い込むアンカー形状としたプローブカードである。凹部２２は、圧子を打ちこんで形成し、歪加工により打ち込まれた圧子形状よりも開口部を狭くした形状としてさらに密着強度を向上させている。 （もっと読む）

【課題】 各プローブの針先の挙動量の差を小さくするプローブカードを提供する。
【解決手段】半導体回路の電気的検査のために、テスタと半導体回路の複数の電極とを接続するプローブカード。テスタに接続される配線路が形成され、半導体回路の電極に対向して該電極から間隔をおいて配置される回路基板と、多数のプローブであってそれぞれが対応する配線路に接続される基端及び半導体回路の対応する電極に接続可能な針先を有し、各プローブが、半導体回路へ向けての所定の侵入角度を有するように回路基板に関して傾斜配置されかつ多段に配置された多数のプローブと、各プローブの基端と針先を含む自由端部分との間で、プローブを回路基板に保持する保持部材とを含む。少なくとも一部のプローブは、保持部材内を伸長する第１の直線部分及び該第１の直線部分に所定の角度をなして保持部内を伸長し該保持部材の外方で自由端部分に連なる第２の直線部分を備える。 （もっと読む）

【課題】シングルアーム構成及びダブルアーム構成のカンチレバー型プローブの交換をする際に、アーム部が引き剥がし易いプローブ構造を提供する。
【解決手段】接触子１２と、一方の端部に前記接触子１２が取り付けられ、他方の端部が固定された板材で構成されたアーム部とから成るプローブを備え、アーム部の固定は、基板に接合された台座２６に、剥離層２４を介して接合されていることを特徴とするプローブカードである。剥離層２４は、台座２６と基板２８の接合部よりも狭い面積である。また、アーム部は、スペーサを介して下側アーム１６と、下側アーム１６の厚さと同等かより厚い上側アーム２２の２つのアームを備えたダブルアーム構造とし、台座２６に剥離層２４を介して接合され、下側アーム１６を上側アーム２２より長くしたことを特徴とするプローブカードである。 （もっと読む）

【課題】 エキスパンドウエハ上の発光素子の光学特性の検査の効率化を高め、単位時間あたりの検査個数を増大させる検査装置と検査方法を提供すること。
【解決手段】 複数個のウエハチャックを備えたウエハチャックステージと；各ウエハチャックにロードされたエキスパンドウエハ上の発光素子の位置を測定する位置測定装置と；各エキスパンドウエハのそれぞれに対応して設けられたフォトディテクタ及びプローブと；各エキスパンドウエハ上の発光素子が順次対応するプローブの下方に来るようにウエハチャックステージをＸＹ軸方向に移動させる手段と、プローブが発光素子の電極位置に対応する位置に来るように各プローブを移動させる手段と、プローブを対応するそれぞれの発光素子の電極と接触させる手段とを備える制御装置を有している検査装置及び当該検査装置を用いる検査方法を提供することによって解決する。 （もっと読む）

【課題】プローブで発生した熱を効率よく放散し、プローブの温度上昇を効果的に抑制することにある。
【解決手段】電気信号を通すプローブは、配線基板の接続電極に取り付けられる接続領域を有する外面を備えるプローブの本体部と、前記本体部に埋設され、前記本体部の前記外面から一部を露出する少なくとも１つの伝熱部と、前記伝熱部の露出する前記一部に接し、前記接続領域を除く前記外面の少なくとも一領域を覆う膜状の放熱部とを含む。前記本体部は導電性材料からなり、前記伝熱部及び前記放熱部は、前記導電性材料よりも伝熱性の高い材料からなる。 （もっと読む）

【課題】電気的接続装置の支持体の被検査体に対向する対向面領域に異物が付着したことを検知し、異物が付着した状態で電気検査が繰り返されることを防止することにある。
【解決手段】電気的接続装置は、電極が設けられた平面を有する被検査体の電気検査に用いられ、前記被検査体の前記平面に間隔をおいて該平面に対向して配置される対向面領域を備える支持体と、前記電極に接触されるべき針先部を有し、該針先部が前記電極に接触可能に前記対向面領域から突出する複数のプローブと、前記対向面領域に張り巡らされた少なくとも１つの配線であって互いに近接して並行に延び前記対向面領域から露出する複数の近接部分を有する配線と、前記近接部分での短絡又は前記配線の断線を検知可能な電気計測装置に前記配線を電気的に接続するための、各配線に電気的に接続された検知用電極とを含む。 （もっと読む）

【課題】短時間で容易に且つ高い精度で、基板の周辺部の残膜の検査ができる。
【解決手段】絶縁測定用プローブユニットは、基板表面の内側部と周辺部との間での絶縁状態を測定する。上記基板表面の周辺部と同じ形状に形成されて周辺部全体に面状に接触して全面導通する面プローブと、上記基板表面の内側部に接触するコンタクトプローブとを備え、上記面プローブが接触した上記基板表面の周辺部と、上記コンタクトプローブが接触した上記基板表面の内側部との間の絶縁状態を測定する。搬送機構、検査ステージ、測定回路ユニット、昇降機構等を備えた絶縁測定装置に、上記絶縁測定用プローブユニットを組み込んだ。 （もっと読む）

【課題】配線シートの配線と該配線に対応した接続シートの配線とを確実に接続させる。
【解決手段】プローブ装置は、被検査体の電極に接触する多数のプローブと、該プローブに電気的に接続した配線シートと、該配線シートに電気的に接続した接続回路と、前記配線シートと前記接続回路の間に介在した絶縁性シートと、該絶縁性シートを貫通して前記配線シートと前記接続回路とを電気的に接続した熱溶融性の金属部材とを含む。前記配線シートは、前記プローブに電気的に接続された多数の第１の配線を有し、前記接続回路は、それぞれが前記第１の配線に対応された多数の第２の配線を有する。前記金属部材は、該前絶縁性シートを貫通して前記第１の配線とこれに対応した第２の配線とを結合している。 （もっと読む）

【課題】ソケット本体に対するカバーの変位を円滑にする。
【解決手段】電気的接続装置は、針先を凹所に露出させた状態にソケット本体に配置された複数の接触子と、ソケット本体の上側に上下方向へ移動可能に配置された板状のフローティング部材であって、被検査体を凹所に対し出し入れすることを許す開口を有するフローティング部材と、フローティング部材の上側に配置され、かつ水平方向へ延びる軸線の周りに回転可能にフローティング部材に連結されたカバーであって、フローティング部材をソケット本体に押圧すると共に凹所に収容された被検査体の電極を針先に押圧する第1の位置と、フローティング部材及び電極の押圧を解除する第２の位置とに変位可能のカバーと、フローティング部材をソケット本体に対し上方に付勢する第１の弾性部材と、第２の位置に変位させるべくカバーをフローティング部材に対し付勢する第２の弾性部材とを含む。 （もっと読む）

【課題】カンチレバー形状の接触子の針圧の精度を向上させる接触子の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の接触子の製造方法は、少なくとも当該接触子を構成する針先を備えたアーム部を形成する第１の工程と、アーム部の横断面に係る寸法の計測を行う第２の工程と、第２の工程の計測結果に基づいてアーム部の有効長を決定する第３の工程と、アーム部の有効長が第３の工程で決定した長さとなるようにアーム部を支持する基部の形成を行う第４の工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）