【課題】炉内の雰囲気温度を安定化しながら、制御応答性を高めた連続焼成炉の提供を図る。
【解決手段】連続焼成炉１０は、ヒータ１３と熱電対１９とマッフル板１６と貫通孔２０とコントローラ２１とを備える。ヒータ１３は、直交方向Ｙに沿って配列していて、搬送路となるローラ１５を内設した炉内に設けられている。マッフル板１６は、炉内のローラ１５とヒータ１３との間に設けられている。貫通孔２０は炉内に外気を通気して搬送路の搬送方向に沿った加熱気体の流動を制限する。熱電対１９は、直交方向Ｙに沿って配列していて、炉内のマッフル板１６よりもローラ１５側に配置されている。コントローラ２１は熱電対１９の検出温度に基づいてヒータ１３を制御する。 （もっと読む）

【課題】隣接する２つの熱処理ゾーン間で処理対象物の搬送方向を横断する方向に気体を流通させ、隣接する熱処理ゾーン間の熱干渉を抑制して搬送方向の断熱材の長さを短くし、装置の長さを短縮できる連続焼成装置を提供する。
【解決手段】連続焼成装置１０の炉１１内で複数の熱処理ゾーン１２のそれぞれの間に給気部材１及び排気部材２を基板１００の搬送方向Ｘに直交する方向で対向する位置に配置し、給気部材１から、炉１１の外部の気体を排気部材２に向けて吐出し、排気部材２によって炉１１の内部の気体を炉１１の外部に排出し、隣接する熱処理ゾーン１２の間が気体によって遮断され、一方の熱処理ゾーン１２の熱が他方の熱処理ゾーン１２に影響を与えることが効果的に抑制される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、走行ベルトの蛇行を抑制するとともに走行ベルトの損壊の危険性を抑制した連続焼入炉用搬送装置を提供する。
【解決手段】連続焼入炉用搬送装置は、走行ベルト２とガイド１，１０１とを備え、ガイド１は上搬送面の側方に突出するローラを備え、ガイド１本体は上搬送路の法線方向に平行な軸廻りに揺動自在であり、走行ベルト２の走行方向における焼入炉４よりも上流側に、走行ベルト２から離間するように配置され、ガイド１０１は上搬送路の他方の側方に設けられ、走行ベルト２は上搬送面に載置されたワークを、熱処理を行う焼入炉４内を経由して走行方向に搬送する無端状のものである。 （もっと読む）

【課題】炉口シール部や管接続部シール等の経年劣化やメンテナンス時の組み付け不良に起因するガスリークを、熱処理装置を停止させることなく、簡易な構成で予防することが可能な熱処理装置、熱処理方法、熱処理装置用プログラムを提供する。
【解決手段】
熱処理装置１００は、炉体１０、ガス供給部５０、ガス選択部６０、表示装置７０および制御部２０を備える。制御部２０は、フロアプレート２２によってプロセスチューブ１２内にワークが封入された後であってワークに対する熱処理が開始される前に、プロセスチューブ１２内に不活性ガスを導入する。続いて、制御部２０は、プロセスチューブ１２内がシステムの耐圧を超えない範囲の所定圧力に達した後の所定期間における圧力降下率が所定値以上か否かを判定し、圧力降下率が所定値以上の場合には熱処理を行うことなくリーク発生を通知する。 （もっと読む）

【課題】炉内圧力を安定させることにより被処理物の品質を安定させるとともに、炉の運用の安全性を高めることのできる加熱炉の炉内圧力制御方法を提供する。
【解決手段】加熱炉の排気系に、エゼクター１１と、このエゼクター１１に供給される駆動ガスの流量を調節する排気側マスフローコントローラ１３とを配設するとともに、前記加熱炉に、その内部に連通して炉内圧力を検知する圧力計９を設け、この圧力計９の計測値を用いて排気側マスフローコントローラ１３を制御することにより、該炉内の圧力を所定の値に維持する。 （もっと読む）

【課題】搬送経路の平面形状を直線状としたままで、浸炭ゾーンの上流側に連続して設けられた複数の領域のそれぞれの間に中間扉を設置できるようにする。
【解決手段】ワークを積載したトレイ２００の搬送方向における浸炭ゾーン２３の上流側に搬送方向に沿って搬入室２０、パージ室２１及び昇温室２２をこの順に配置し、パレット１３１〜１３３、プッシャ装置２及びプッシャ・プル装置３を備えた。パレット１３１〜１３３は、各１個のトレイ２００Ａ〜２００Ｃが載置され、同一平面内で搬送方向Ｘに沿って往復移動自在に配置した。プッシャ装置２は、トレイ２００Ａ〜２００Ｃを搬送方向Ｘに押圧する。プッシャ・プラー装置３は、パレット１３１〜１３３を一体的に搬送方向に押圧するとともに、パレット１３１〜１３３のそれぞれを複数の領域のそれぞれに引き戻す。 （もっと読む）

【課題】炉体の上蓋を開けて行う作業の作業効率を簡易な構成で向上させることが可能な上蓋支持構造および連続熱処理装置を提供する。
【解決手段】上蓋支持構造は、上蓋１６とヒンジ部１８を備える。上蓋１６は、炉体の上部を覆うように構成され、前後方向にスライド自在に支持されたシャフト２０を内部に有し、当該シャフト２０は、上蓋１６の中に取り付けられたパイプに挿通される。ヒンジ部１８は、炉体の本体の背面側に設けられ、炉体の本体に対して上蓋１６を回動させる回転部１８６を有し、当該回転部１８６には、シャフト２０の延長線上にシャフトが挿通可能な第１の貫通孔１８４を備えている。上蓋１６が所定角度開いた状態でシャフト２０を貫通孔１８４に挿入すると、上蓋１６を開いたままの状態で維持することができる。 （もっと読む）

【課題】塵埃の発生を抑えつつ安定した状態で長距離にわたってワークを気体浮揚搬送することが可能な連続熱処理装置を提供する。
【解決手段】連続熱処理装置１０は、気体浮揚装置５０、搬送手段、および規制手段を備えており、搬送手段は、気体浮揚装置５０によって浮揚したワーク４０に対して搬送方向の力を加えるローラーであって、当該ローラーの周面がワークの側面に当接するように配置された複数の駆動ローラ１４、自由ローラ１６と、炉体１２の外部において駆動ローラ１４、自由ローラ１６をそれぞれ回転自在に支持する第１の支持部８０とを有し、規制手段は、ワーク４０の搬送方向への移動を規制する制止ロッド３２と、炉体１２の外部に配置されるとともに制止ロッド３２が選択的にワーク４０の搬送経路に突出するように制止ロッド３２を移動自在に支持するベース部３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】アルミ合金のような反射率の高い表面状態を有する金属でも所定の短時間内で材料表面全体にわたり、比較的高温度まで所定の狭い温度差の範囲内で均一に加熱することのできる熱風循環・近赤外線加熱併用式連続炉を提供する。
【解決手段】熱風循環・近赤外線加熱併用式連続炉を、被処理品Ｗを載せて加熱炉内を通過させるメッシュベルトコンベア２と、加熱炉内に配置されるシーズヒータ５と、加熱炉内に配置したシロッコファン６と、該シロッコファン６を介して前記メッシュベルトコンベア２の上側近傍に多数の熱風吹き出し口を設けた熱風吹き出し部材８と、前記メッシュベルトコンベア２の上側と下側に配置される近赤外線ランプヒータ９、１０と、で構成する。 （もっと読む）

【課題】フランジ部の外周面にのみ開口した複数対の凹部を設け、各凹部に作業者が手指を挿入できるようにし、専用の器具等を用いることなく炉内に対する運搬を容易に行うことができるようにする。
【解決手段】石英プロセスチューブ２の底部に形成されているフランジ部２０の外周面に、複数対の凹部２１を形成した。各凹部２１には複数の作業者の手指が挿入される。 （もっと読む）