【課題】割れて搬送ローラ間から落下した被処理物による搬送トラブルを防止することができるセッターレス方式の熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理装置１０は、複数の搬送ローラ２上を搬送される被処理物２０を、所定の温度条件に従って熱処理する。搬送ローラ２は、炉内の搬送経路に沿う所定ピッチＰの複数の位置のそれぞれで回転自在に支持される。また、搬送ローラ２は、炉内の底面３２から被処理物２０が搬送される搬送面４１までの距離が、上述のピッチＰの２．４倍以上となる位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】焼成処理温度のような高温下にさらされた場合であっても、撓みが生じにくい基板支持部材を提供する。
【解決手段】基板支持部材を、互いに線膨張率の異なる材質によって形成される天板部材Ｈと壁部材Ｖ１，Ｖ２とを接合して一体化する。より具体的には、天板部材Ｈを形成する材質よりも大きな線膨張率の材質によって壁部材Ｖ１，Ｖ２を形成する。このような基板支持部材は、焼成処理温度のような高温下にさらされた場合に、線膨張率の違いに起因して鉛直上向きの力が生じる。この力に撓みを相殺させることによって、撓みの発生を低減する。 （もっと読む）

【課題】防塵壁として配置された複数枚の耐熱ガラスのそれぞれの接合部分に間隙が形成されないようにし、外壁部材やヒータから発生した塵埃が搬送経路内に侵入することを確実に防止して、搬送経路内の清浄度を向上する。
【解決手段】上面の複数の耐熱ガラス３１を排気ボックスの上面よりも上方に配置した。各耐熱ガラス３１は、搬送経路の下流側の端部３１Ａを下流側に隣接する別の耐熱ガラス３１の上流側の端部３１Ｂの上方に重ね合わせて配置した。この重ね合わせ部分には、耐熱クロスシート体を配置することができる。 （もっと読む）

【課題】ＣＦＲＰ材料のアーム部の外周面に薄板状のヒータを装着することにより、安価で故障したヒータの交換を容易に行うことができ、メンテナンス作業の簡略化及び低頻度化により生産性を向上することができるようにする。
【解決手段】アーム１は、ＣＦＲＰを素材として偏平な断面を呈する長尺状に形成され、コラム１３に片持ち支持されている。アーム１の固定端近傍の上面及び下面に薄肉状のヒータ２，３を配置し、被覆部材４で被覆した。ヒータ２，３に電力を供給することにより、アーム１の固定端近傍は１５０℃以上の温度に加熱される。 （もっと読む）

【課題】搬送経路中の第１均熱領域から他の領域にガスが流れることを防止し、搬送経路の全体にわたって清浄度を高い状態に維持する。
【解決手段】第１昇温領域５１及び第１均熱領域５２に排気ボックス６及び第１の導入管７を備えた。排気ボックス６は、第１均熱領域で加熱によって被処理物から発生したガスを外部に排出する。第１の導入管７は、清浄空気を第１均熱領域５１に導入する。搬送経路５において、第１昇温領域５１及び第１均熱領域５２以外の領域である第２昇温領域５３、第２均熱領域５４、徐冷領域５５及び冷却領域５６には、搬送ローラ２の上方に第２の導入管４を、搬送経路５に直交する方向を長手方向として、搬送経路５に沿って複数配置した。第２の導入管４は、清浄空気を第１昇温領域５１及び第１均熱領域５２以外の領域に導入する。 （もっと読む）

【課題】セッターレス方式の熱処理を行う場合に、炉内での被処理物の割れの発生を安価なコストで早期かつ確実に検出できるようにする。
【解決手段】搬送経路に沿って搬送ローラ２の下方に配置された複数の耐熱ガラス３２のそれぞれの一部を露出部５として炉外に露出させ、この露出部５に振動センサ４を配置した。振動センサ４の検出信号に基づいて、被搬送物の一部が割れの発生によって耐熱ガラス３２上へ落下したことを検出する。このとき、搬送ローラ２の回転を停止する。 （もっと読む）

【課題】ワークが温度勾配の変化の大きいカ所を移動することによる反りの発生を防止できる搬送制御手段を備えた連続焼成炉を提供する。
【解決手段】連続焼成炉は、炉内の入口から出口にかけて加熱部および冷却部が形成されている炉本体と、加熱部および冷却部を順次経由してワークＷを搬送する搬送手段と、少なくとも加熱部入口にワークの前部が差し掛かる手前の時点から加熱部入口をワークの後部が通過し終わるまでの間を高速搬送とし、その後、低速搬送とした後、少なくとも加熱部出口にワークの前部が差し掛かる手前の時点から加熱部出口をワークの後部が通過し終わるまでの間を高速搬送とするように搬送手段を制御する制御手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】ガラス状炭素からなり、外表面に耐酸化皮膜層を有する管体を電磁誘導加熱することにより、高温での使用を可能とし、温度制御を高速で行い処理作業のスループットを向上させることができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】ガラス状炭素からなり、外表面に耐酸化層を有する管体をプロセスチューブ１とし、かつ電磁誘導加熱の発熱体として用いる熱処理方法。プロセスチューブ１となる管体は、対向する平行な二面を有し、断面が扁平な部分を被処理物加熱領域として含む異形管とする。また、ガラス状炭素からなり、外表面に耐酸化層１ａを有する管体又は対向する平行な二面を有する異形管をプロセスチューブとし、且つ管体の外側に電磁誘導加熱コイル３が配置され、気密にしたプロセスチューブ１内を加熱して内部の被処理物を熱処理する熱処理装置とする。 （もっと読む）

【課題】触媒の活性化温度未満の温度領域で捕集した脱バインダーガスを炉内で処理する。
【解決手段】炉内を搬送される間にワークが所定の温度プロファイルに従って加熱される連続焼成炉は、ワークから発生する脱バインダーガスを捕集する排気ボックス31と、捕集された脱バインダーガスを炉内で分解処理する触媒ユニット41と、排気ボックス31から触媒ユニット41に向かって炉内を伸びている排気管33とを備えている。当該触媒ユニット41は、排気ボックス31よりも搬送方向に下流側であってワークから発生する脱バインダーガスの触媒による分解が活性化される温度以上になっている炉内領域に設けられている。 （もっと読む）

【課題】油煙等の蒸気による誤検出を生じることなくワークの搬送機構を正常に動作させてワークの焼入処理を適正に行うことができるようにする。
【解決手段】焼入装置１０は、焼入炉１、油槽２、引上げコンベア３、放射温度計８を備えている。焼入炉１は、ワークを加熱する。油槽２は、焼入炉１で加熱されたワークが浸漬される冷却油を収容する。引上げコンベア３は、間欠動作によって油槽２内から外部にワークを引き上げて受渡し位置７に搬送する。放射温度計８は、焼入炉１と油槽２との間においてワークが通過するシュート４内における温度を赤外線の放射量に基づいて測定する。放射温度計８の検出温度が所定の温度以上となった時を基準に引上げコンベア３の始動タイミングを決定する。 （もっと読む）