【課題】フランジ部の外周面にのみ開口した複数対の凹部を設け、各凹部に作業者が手指を挿入できるようにし、専用の器具等を用いることなく炉内に対する運搬を容易に行うことができるようにする。
【解決手段】石英プロセスチューブ２の底部に形成されているフランジ部２０の外周面に、複数対の凹部２１を形成した。各凹部２１には複数の作業者の手指が挿入される。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の処理対象物の全面を効率よく冷却できるようにし、処理対象物に部分的な反りや変形を生じることなく冷却処理の短時間化を実現できる連続式焼成炉を提供する。
【解決手段】連続式焼成炉の冷却室１５に導入ダクト１及び排気ダクト２を設けた。導入ダクト及び排気ダクトは、冷却室の上側の内壁面で、炉幅方向Ｙの略全域にわたって開口している。導入ダクトは、搬送方向の上流側に向けて空気を吹き出す。排気ダクトは、搬送方向における導入ダクトの上流側で、冷却室内の空気を排気する。ローラ１６上を搬送される処理対象物１００の上方に、冷却された外気の流路が炉幅方向Ｙの略全域にわたって均一に形成される。処理対象物は、上面全体に渡って均一に空気に接触する。 （もっと読む）

【課題】ヒータの異常の発生を事前に予測することができる、熱処理炉のヒータの異常予測装置を提供すること。
【解決手段】熱処理炉１が密閉されていること、電力設定部１６による電力の設定値が最大値であること（通電制御部としてのサイリスタ回路６が最大出力であることに相当）、およびヒータ２の検出温度ｔが所定値ｔ１になっている、という３つの条件が満たされたときに、ヒータ２の抵抗値を測定し、検出抵抗Ｒを得る。正確で且つ安定した検出抵抗Ｒ（測定値）と所定の異常前兆範囲との比較に基づいて、異常の前兆を予測する。 （もっと読む）

【課題】直線状の平面形状のままで、搬送中の前後２個のトレイ間に中間扉を設置するための間隔を形成できるようにする。
【解決手段】ワークを積載したトレイ２００の搬送方向における浸炭ゾーン２３の上流側に搬送方向に沿ってパージ室２１及び昇温室２２をこの順に配置し、リフト機構２、プッシャ３，４を設けた。リフト機構２は、昇温室２２内でトレイ２００を降下させる。プッシャ３は、トレイ２００をパージ室２１から昇温室２２に向けて押圧する。プッシャ４は、トレイ２００を昇温室２２から浸炭ゾーン２３に向けて押圧する。プッシャ４はプッシャ３の下方に配置した。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で設備コストを低く抑えることができ、クリーンエアーではなくて、通常エアーを使用することができ、ランニングコストを低く抑えることができる徐冷炉を提供する。
【解決手段】徐冷炉は、頂壁２３および底壁２４を有する炉本体１２と、頂壁２３に設置されているヒータ３１と、底壁２４に設置されている冷却ユニット３２と、冷却ユニット３２内にエアーを供給する手段とを備えており、冷却ユニット３２は、ボトムヒータと互換可能な寸法に形成されて炉本体１２の底壁２４上面に炉本１２体幅方向に並ぶように敷設された複数の扁平箱形状冷却モジュール４１を有しており、各冷却モジュール４１内にエアー通路が形成されている。 （もっと読む）

【課題】高い耐摩耗性を有するとともに、剥離帯電が生じない基板ステージを提供する。
【解決手段】ステージ本体１１に形成された基板Ｗを載置するための載置面１２に、エンボス加工によって所定のエンボス形状Ｅを形成した上で、陽極酸化処理によってアモルファス状態のアルミナ皮膜Ａを形成する。アモルファス構造のアルミナ皮膜Ａは、緻密かつ強固である。このため、高い耐摩耗性を有するとともに、剥離帯電をほぼ防止することができる。 （もっと読む）

【課題】不良品の被加熱部材をその状態を悪化させることなく、良品の被加熱部材から分離することが可能な連続炉を提供する。
【解決手段】連続炉５０は、撮像部１２、制御部３０、および経路切換部１４を備える。撮像部１２は、熱処理部１０によって熱処理がされたガラスプレートの画像を撮像するように配置される。制御部３０は、予め記憶された正常なガラスプレートの画像である参照画像と、撮像部が撮像した検査対象のガラスプレートの画像とを比較することによって、検査対象のガラスプレートの良否を判定する。経路切換部１４は、制御部３０の判定結果に基づいて、不良品のガラスプレート２０を炉内搬送路を延長するように延びる第１の経路に搬送し、良品のガラスプレート２０を第１の経路とは別の第２の経路に搬送する。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率が高く、しかも長期間安定して稼働させることができる基板焼成炉の給排気システムを提供する。
【解決手段】炉体１０の排気口１４から排出された熱排気はファン２１によって循環経路２０に熱風の気流として送り出され、その気流がヒータ２２によって加熱された後に耐熱ＨＥＰＡフィルタ１３によって浄化されて吹き出し口１２から炉体１０の内部空間に再供給される。この循環過程において、ヒータ２２によって加熱された熱風の一部は排気管３０に流れ込んで触媒ユニット３１を通過する。再加熱直後の高温の排気気体が触媒ユニット３１を通過するため、排気気体中に含まれる有機物のほとんどが分解された後、排気気体は熱交換器５０に流入する。熱交換器５０にて排気気体と熱交換されて昇温した給気気体は循環経路２０に供給される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により、焼入油に浸漬しているワークを水平方向に揺動させることが可能な油焼入装置を提供する。
【解決手段】油焼入装置１０は、チェーンコンベア１８、コンベア昇降機構、およびコンベア駆動機構を備える。チェーンコンベア１８は、油槽２２の上方に配置されており、焼入室２５内に導入されるワーク２０を受け取り焼入室２５内でワーク２０を水平方向に搬送する。コンベア昇降機構は、チェーンコンベア１８を第１の位置および第２の位置の間で往復移動させる。第１の位置は、焼入室２５内に導入されるワーク２０を受け取るためにチェーンコンベア１８が配置される位置である。一方、第２の位置は、チェーンコンベア１８上のワーク２０が焼入油２２１に浸漬する位置である。コンベア駆動機構は、チェーンコンベア１８が第１の位置または第２の位置に存在するときに、チェーンコンベア１８に対して駆動力を供給する。 （もっと読む）

【課題】加熱槽の内壁面のうち少なくとも前面を構成する金属板にバイメタルを用いることで、装置の大型化やコストの高騰及び設計や調整作業の複雑化を伴うことなく、加熱槽の前面における厚さ方向の熱変形を防止し、加熱槽内の温度分布の均一化、熱損失の低減化を実現する。
【解決手段】加熱槽１の内壁面の前面部材４１を、高熱膨張材料の外面側材料４１１と低熱膨張材料の内面側材料４１２とを接合したバイメタルで構成した。一例として、外面側材料４１１はＳＵＳ３０４であり、内面側材料４１２はＳＵＳ４３０である。開口部２の開閉によって前面部材４１の外面側と内面側とに温度勾配を生じた場合にも、前面部材４１は厚さ方向に変形を生じることがない。 （もっと読む）