【課題】 ガラス基板用フイルムの貼付を自動化する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 ロボットハンドで吸着保持されたガラス基板に、吸着板に垂れ下がった所定長のガラス基板用フイルムを貼り付けるフイルム貼付方法において、ガラス基板をフイルムに対して平行で近傍な位置にロボットハンドで配置し、フイルムのガラス基板と対向する面の反対側の面にエアーを吐出するフイルム幅と同等の長さの吹き付けノズルを水平方向に配置し、吹き付けノズルをガラス基板の上端の高さからガラス基板の下端の高さまで移動させながらフイルム表面にエアーを吹き付けることによりガラス基板にフイルムを貼り付けるフイルム貼付方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】良品質の露光像を短いタクト時間且つ低コストな装置構成で実現することのできる露光装置及び露光方法を提供すること。
【解決手段】光源装置５と、基板Ｋを載置するステージ３と、ステージに対し等速度で相対移動可能に設けられ且つステージの上部に平面視が相対移動の方向Ｘについて段違いに斜め列となる様に配置され各々ＤＭＤ７２により形成されるマーキング表示７２Ｍをレーザ光により基板上に照射するように構成された複数の露光ユニット７と、隣合う露光ユニットにおける一方の露光ユニットの露光終了位置Ｐ０から他方の露光ユニットの露光開始位置Ｐ１までの距離Ｄ１をステージと露光ユニットとが相対移動する毎に、基板上を最初に通過する露光ユニット７Ａから基板上を最後に通過する露光ユニット７Ｃへ向かう順序で、各露光ユニットが基板上に照射するレーザ光を切り替える切替手段６５，７５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 バンプ接合面の振動状態を容易に可変させることが可能な超音波接合方法および超音波接合装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 第１の発信器の発信周波数と、第２の発信器の発信周波数の位相を位相制御装置で制御し、第１の振動子に入力する基本発信周波数に対し位相制御された発振周波数を第２の振動子に入力し、ホーンのチップ吸着部に合成振動を発生させるようにした超音波接合方法および超音波接合装置を提供する。さらに、第１の振動子に入力する周波数と第２の振動子に入力する周波数は、バンプ付電子部品の接合時間および加圧荷重の経過に応じて変化させるとよい。 （もっと読む）

【課題】 ホーンに着脱可能な吸着部材を安価に構成するとともに、超音波振動を安定、かつ精度よくチップ部品に付与することのできる超音波接合ヘッドおよびこれを用いた装置を提供する。
【解決手段】 ホーン１７の先端中央に凹部２６が形成されており、当該凹部２６の中央にホーン先端から突き出る吸着領域である凸部３２を有する吸着部材１９が収納される。吸着部材１９の下部には、ホーン凹部２６の底面に向けてテーパー状に広がる側部を有し、当該側部の斜面が保持部材２８と当接し、当該保持部材２８をホーン凹部２６に締結することにより吸着部材１９の側部が挟み込まれてホーン１７の凹部２６に締結される。 （もっと読む）

【課題】 個人差、個人の状態差の影響を受けることなく、色むらの有無、程度などを精度よく検査する。
【解決手段】 モアレを除去できるように集光光学系３４の焦点を調節して撮像装置３５により基板３１を撮像し、撮像データに基づいて色むらの有無、程度などを検査する。 （もっと読む）

【課題】大型基板への成膜をプラズマエネルギーの利用効率良く且つ低コストの装置構成で実現することのできるプラズマＣＶＤ装置及びプラズマＣＶＤ方法を提供すること。
【解決手段】排気系７を備えた反応室２と、該反応室２内に基板Ｋを保持するための基板保持台４３と、薄膜を構成するための原料ガスを反応室２に導入するガス導入手段５，６と、反応室２内に設けられた絶縁性管状部材３２を挿通しループ状に形成した導電性電極３３からなるループアンテナＡＴと、該ループアンテナＡＴに高周波電流を供給するための電力供給手段１０とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】巻取体の取外しが容易に実施でき、更に該取外しの自動化にも好適な巻取装置を提供すること。
【解決手段】巻取軸５の一端を係合支持する支持部３３を備える第１フレーム３と、巻取軸５を回転駆動するための回転駆動手段６が設けられる第２フレーム４とが並列に立設し、一端が支持部３３に係合支持され他端が回転駆動手段６の回転駆動軸に連結されてなる巻取軸５を備える巻取装置１であって、第１フレーム３は巻取軸５と直交する水平方向に第２フレーム４から独立して並進可能とされ、第１フレーム３を巻取軸５と直交する水平方向に駆動する第１フレーム駆動手段２３を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】帯状ワークの表裏両面に品質の良い露光パターンを比較的省スペースの装置構成で形成することができる両面露光装置を提供すること。
【解決手段】帯状ワークＷを間歇的に垂直方向に搬送する第１間歇搬送機構３７Ｌと、第１間歇搬送機構３７Ｌにより搬送された帯状ワークＷの表側露光面にプロキシミティ露光を行う第１露光部３Ｌと、第１露光部３Ｌにより露光された帯状ワークＷを垂直方向に間歇的に搬送する第２間歇搬送機構３７Ｒと、第２間歇搬送機構３７Ｒにより搬送された帯状ワークＷの裏側露光面にプロキシミティ露光を行う第２露光部３Ｒとを備え、第１露光部３Ｌと第２露光部３Ｒとが互いに対向して垂直に立設していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液の滞留率が極めて少ない液置換特性に優れる液体移送用ポンプを提供すること。
【解決手段】吸込口３２及び吐出口３３を備えるシリンダ２と、シリンダ２の内部をその軸線Ｊ１に沿う方向に往復駆動可能に設けたプランジャ５と、シリンダ２とプランジャ５との間隙Ｇを封止する膜状封止部材６とを備え、プランジャ５を往復駆動して吸込動作と吐出動作とを交互に行うことにより吸込口３２から吸込んだ移送対象液を吐出口３３から吐出する液体移送用ポンプ１において、吸込口３２がシリンダ２の側面に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 本願発明は、上記に鑑み各店舗のホール管理装置を統合管理装置で一元管理し、数多い店舗のプログラム等を低コストで限られた時間内で効率よく更新できるホール管理システムを提供することを課題とするものである。
【解決手段】 遊技機と、該遊技機の台情報を収集する台情報ユニットと、一つ以上の該台情報ユニットが接続されたローカルコンピュータ、一つ以上の該ローカルコンピュータが接続され前記遊技機に関わる設定情報を管理するホール管理装置、一つ以上の該ホール管理装置と専用及び／又は公衆回線で接続された本部統合管理装置、とを少なくとも有するホール管理システムであって、前記本部統合管理装置にて、前記設定情報、前記ホール管理装置のプログラム、前記ローカルコンピュータのプログラムの少なくともいずれか一つを集中管理する。 （もっと読む）