【課題】スペーサ分散液を安定して供給可能な方法及び供給管を提供する。
【解決手段】本発明の振動供給管６０ａは、カバー６１と配管本体６２とを有しており、カバー６１と配管本体６２との間の隙間６６に振動媒体液を配置した状態で、カバー６１に取り付けられた振動手段６５を振動させると、カバー６１が振動する。振動媒体液はカバー６１と配管本体６２に接触するので、カバー６１の振動は振動媒体液を介して配管本体６２に伝わり、配管本体６２の内部を流れるスペーサ分散液が振動し、攪拌される。配管本体６２には、振動媒体液で拡散された後の振動が伝わるので、配管本体６２の広い領域が振動し、また、振動手段６５振動は配管本体６２に直接伝わらないので、配管本体６２が局所的に強く振動することもない。 （もっと読む）

【課題】 異常放電、膜剥離若しくはそれらに起因して生じるターゲットノジュール成長の抑制又は発塵源の低減を図る成膜装置を提供することを目的とする。また、本発明は、カソード電極近傍の構造物に対する膜堆積速度を抑制することが可能な成膜装置を提供する。
【解決手段】 負電位を有するカソード電極の対向側に位置する基板に、放電現象により成膜を行うための成膜装置であって、前記カソード電極の外周側、且つ、前記基板側に、接地電位又は正電位を有するアノード電極として、回転自在に構成された少なくとも１本以上の柱状体を、前記カソード電極の外周方向に沿って軸支して配置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 面内均一性に優れたプラズマドーピング装置及びプラズマドーピング方法を提供する。
【解決手段】 プラズマ形成空間ＰとウェーハＷとの間にマスク部材５を介在させ、このマスク部材５に形成されているドーピング用開口５Ａを介してイオンをウェーハＷへ導入する。マスク部材５のドーピング用開口５Ａは、ウェーハＷの被処理面の一部の領域をプラズマ形成空間Ｐに露出させ、当該領域にのみプラズマ中のイオンを注入させる。ウェーハＷを支持するステージ４は、ステージ移動機構６，７によってマスク部材５に対して平行移動するよう構成され、これにより、ウェーハＷの全面に対してイオンを均一に導入することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】 一次冷却された鋳造物を更に冷却する過程で、例えばＮｄが結晶粒界に適度に偏析した非磁性のＲリッチ相を有するＮｄ・Ｆｅ・Ｂ合金鋳造物を形成させるための二次冷却を、均等に、かつ量産規模で行い得る希土類金属含有合金鋳造装置を提供すること。
【解決手段】 希土類金属含有合金鋳造装置１は、真空室５において、希土類金属含有合金の溶湯を溶解炉体１３からタンディッシュ１４を経由して冷却ロール１５へ注湯し形成される一次冷却された薄帯状鋳造品を二次冷却容器３１へ導入し、鋳造品を温度９００℃から６００℃までを１０分間以上の時間で徐冷し破砕する横型の二次冷却容器３１と、二次冷却の完了した薄片状鋳造品を二次冷却容器３１から受けて常温までを急冷する水冷ジャケット４９を備えた横型で回転式の三次冷却容器４１とからなる。 （もっと読む）

【課題】 可撓性基材に薄膜を形成してフレキシブルプリント基材とするために、配線の微細化に支障となる接着剤を必要とせずに、製造コストを高めることなく、可撓性基材に高い密着性で薄膜を形成し、更に、得られたフレキシブルプリント基材に皺やカーリング等が生じない製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】 真空槽内において可撓性基材上に金属薄膜層を形成するためのフレキシブルプリント基材の製造装置であって、前記真空槽は、前記可撓性基材の搬送方向に、プラズマ処理手段と、シード層形成手段と、金属薄膜層形成手段と、加熱圧延手段とを順に備え、前記シード層形成手段と、前記薄膜層形成手段とを、前記可撓性基材を巻回して搬送するとともに前記可撓性基材を加熱するためのメインローラーの周方向に沿って設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 デバイスの小型化を図れるとともに、流路を流れる試料の空間的なモニタリングが可能なマイクロ流路デバイスを提供する。
【解決手段】 微小な流路２０を流れる試料に光を入射し、その出射光を検出して試料を分析又は処理するためのマイクロ流路デバイス１１において、流路２０から出射する光を集光するマイクロレンズ４０が、当該流路２０の形成位置に沿って複数形成する。これら複数のマイクロレンズ４０で集光された出射光に基づいて、吸光光度分析法や蛍光分析法等の光学的検出方法による試料の検出を行うことにより、当該流路２０を流れる試料の時間的、空間的なモニタリングが可能となり、例えば、試料中の特定物質の分離の様子や試料の濃度変化、反応速度等が容易に把握できる。また、マイクロレンズ４０を本体３０の表面に直接形成しているので、デバイスの小型化、薄型化が図れる。 （もっと読む）

【課題】 超高真空を保持することが必要な空間に容易かつ簡単に取り付けることができるスパッタイオンポンプを提供すること。
【解決手段】 外周側を広幅、内周側を狭幅とした楔形の３個の凸部２ｆを１２０度間隔に配置した輪郭形状の壁によって画成され、底面が開口された本体２と、その内壁に同一形状に形成されたカソード電極３と、カソード電極３内に配置され、両端の開口がそれぞれカソード電極３の面に平行に切断された輪切りパイプ体４ｂとされ、その内周側がカソード電極３の内周側とほぼ同一の円周上にあるアノード電極４と、円周内の中心部に天井面側から垂下されアノード電極４の引出部と取付部とを兼ねる支持棒７と、凸部２ｆの外側の間に形成される凹部に接して設置された横断面がほぼ扇形で柱状の３本の磁石８とからなり、磁石８のＳ極が隣り合う磁石８のＮ極と対向して配置されているスパッタイオンポンプ。 （もっと読む）

【課題】 全芳香族ポリエステルの成形体およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 下記式（１）で示される繰り返し構造単位からなる全芳香族ポリエステル膜。自己縮合性の原料モノマーを真空中で蒸発させ、蒸着重合法によって基板表面上に下記式（１）で示される繰り返し構造単位からなる全芳香族ポリエステルの膜を形成することを特徴とする全芳香族ポリエステル膜の製造方法。該製造方法により得られることを特徴とする全芳香族ポリエステル膜。


（式中、Ａｒは、


を表す。） （もっと読む）

【課題】装置コストを大幅に低下させ、かつ設置面積を大幅に小とすることのできる真空装置を提供する。
【解決手段】ロードロックチャンバ１ａ，１ｂ及びバッファチャンバ２を排気する第１の主ターボ分子ポンプ系５と、プロセスチャンバ１０ａ，１０ｂを排気する第２の主ターボ分子ポンプ系６０とを備え、これら第１、第２の主ターボ分子ポンプ系５，６０を構成するターボ分子ポンプ６ａ〜６ｃ及びターボ分子ポンプ１２ａ，１２ｂのそれぞれの背圧を低下させる補助ポンプ５０を共通の１個のポンプで構成する。 （もっと読む）

【課題】スペーサ分散液を安定して吐出可能な印刷装置を提供する。
【解決手段】本発明の印刷装置１は配管やバルブのように、スペーサ分散液が流れる流路の外壁面には発振手段６５ａ〜６５ｃが取り付けられており、発振手段６５ａ〜６５ｃを動作させ、流路の壁面を振動させると、流路内のスペーサ分散液に直接振動が伝わり、スペーサ分散液が攪拌される。流路のうち、特に供給室２２の外壁面に発振手段６５ｃを取り付け、供給室２２の壁面に振動が伝わると、供給室２２内部でスペーサ粒子が沈降しないので、内部フィルター３０の目詰りがおこらない。 （もっと読む）