【課題】被写体に対して均一に光を照射することによって最適の照明が可能な撮影用ライトを提供する。
【解決手段】本発明の撮影用ライト１は、板状の基板２上に、面状発光部３０を有する有機ＥＬ素子３が複数配列されている。各有機ＥＬ素子３Ｒ、３Ｇ、３Ｂは、赤、緑、青の３原色で発光する機能を有している。各有機ＥＬ素子３Ｒ、３Ｇ、３Ｂは、制御回路４に接続され、それぞれ独立して点灯させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で、異常放電などを引き起こすことなく、１枚のガラス基板から複数枚のパネルを安定に調製することを可能にする、基板へのスパッタ薄膜の形成方法および当該方法を実施するための搬送キャリアを提供すること。
【解決手段】 搬送キャリアを、四角形状の枠体と、枠体の対向する枠辺と枠辺の間に、枠体との間で絶縁した状態で、その両端を枠体の各枠辺と弾性部材を介して連結することでテンションを付加して架設した薄体状部材とから構成し、複数本の薄体状部材に、基板が搬送キャリアに載置されている状態を形成するための保持部材としての機能、および／または、基板における２つ以上のスパッタ薄膜形成領域を画定するためのマスク部材としての機能を担わせる。 （もっと読む）

【課題】 原料フィルムの成膜面に対してマスクパターンを高精度に形成することができる巻取式真空成膜装置を提供する。
【解決手段】 真空チャンバ１１と、原料フィルム１２の巻出し部１３及び巻取り部１５と、原料フィルム１２に密着しこれを冷却するキャンローラ１４と、原料フィルム１２に金属膜を蒸着させる蒸発源１６と、原料フィルム１２の成膜面に、金属膜の蒸着領域を画定するマスクパターンを形成するマスク形成ユニット２０とを備え、このマスク形成ユニット２０において、原料フィルム１２へ上記マスクパターンを印刷塗布する版胴３２を、シームレススリーブ印刷版で構成する。 （もっと読む）

【課題】 基材上に形成されたポリ尿素膜のポーリング処理を、基材を損傷することなく、また、ポリ尿素膜に絶縁破壊を生じさせずに確実に行うことができる有機圧電焦電体膜の形成方法を提供する。
【解決手段】 ジアミンと、ジイソシアナートとを蒸着重合することにより、基材上にポリ尿素膜を形成し、前記ポリ尿素膜を、８０℃〜１３０℃の温度で加熱するとともに磁場を印加して、前記ポリ尿素膜にポーリング処理を施すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
探針の針圧を低くして被測定試料の変形を避け、しかも探針の走査速度を高くしても上記の問題を解決して正確な測定を比較的短い時間で行うことのできる試料の表面形状の測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】
探針を被測定試料の表面に接触させて被測定試料の表面形状を測定する方法において、被測定表面上における探針の垂直方向変位に基いて、探針の速度及び加速度の少なくとも一つをリアルタイムでモニターして、探針のとびを検出し、とびを検出したら探針のとびを抑える力を増して表面形状を測定することから成る。また、試料の表面形状の測定装置は、探針の垂直方向の変位を検出する検出手段の出力信号に基き探針のとびを検出すると共に探針のとびの検出に応じて針圧付加手段を制御して探針の針圧を漸減させる制御手段を有する。 （もっと読む）

【課題】柱状結晶膜を成膜する。
【解決手段】本発明の成膜装置１は、遮蔽部材５を有しており、入射角度θｘが２０°を超える蒸気は遮蔽部材５に付着し、入射角度が２０°以下の蒸気が基板１１表面に到達するように、遮蔽部材５の形状や位置と、蒸着源２０の位置が定められている。成膜材料２５にハロゲン化Ｃｓを用いた場合には、入射角度θｘが２０°以下であれば、基板１１表面に柱状結晶が成長するので、本発明によれば、基板１１と蒸着源２０との間の距離を大きくしなくても、柱状結晶の膜を成膜することができる。 （もっと読む）

【課題】 高周波電力強度が電極面方向において均一になるようにし、基板面方向における膜厚分布を均一にすることができるプラズマ成膜装置を提供すること。
【解決手段】 内部が真空排気される真空チャンバ１と、真空チャンバ１内に設置され、成膜対象物２０が支持される第１電極３と、複数種の成膜ガスを混合するガスミキシングボックス８と、真空チャンバ１の壁の一部を構成して第１電極３に対向しており、ガスミキシングボックス８内で混合された成膜ガスを真空チャンバ１内に導入するためのガス導入口１２が形成された第２電極２と、第１及び第２電極３、２間に高周波電界を生じさせて真空チャンバ１内に成膜ガスのプラズマを生成させる高周波電源１８とを備え、ミキシングボックス８は、第２電極２上に絶縁物１７を介して設置され、混合ガスのガス出口１１を第２電極２のガス導入口１２に直結させている。 （もっと読む）

【課題】
大面積基板に均一な膜厚及び膜質分布で成膜できるプラズマ処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】
電極の離間した複数の位置に複数のパルス変調された高周波電力を供給する高周波電力供給手段が設けられ、複数のパルス変調された高周波電力をそれぞれ電極表面上に全体的に伝播するように構成される。 （もっと読む）

【課題】接続が確実な接続部品を提供する。
【解決手段】この表示装置用パネルは、基板の所定領域上に配置され、複数のスペーサを結集させる結集装置を有しており、該結集装置は正ｎ角形の頂点上に配置されたｎ個の突起を有し、突起にスペーサが接触したときの、突起中心と前記スペーサとの間の隙間の幅ｑと、スペーサの直径Ｌと、正ｎ角形の一辺の長さＤとの間には、下記関係にある(ｎ＝３，４，５，６)。


スペーサが結集装置の突起間に結集することによりスペーサの基板への固着性が増し、スペーサの移動が防止でき、パネルの強度が増す。 （もっと読む）

【課題】 異常放電、膜剥離若しくはそれらに起因して生じるターゲットノジュール成長の抑制又は発塵源の低減を図る成膜装置を提供することを目的とする。また、本発明は、カソード電極近傍の構造物に対する膜堆積速度を抑制することが可能な成膜装置を提供する。
【解決手段】 負電位を有するカソード電極の対向側に位置する基板に、放電現象により成膜を行うための成膜装置であって、前記カソード電極の外周側、且つ、前記基板側に、接地電位又は正電位を有するアノード電極として、回転自在に構成された少なくとも１本以上の柱状体を、前記カソード電極の外周方向に沿って軸支して配置したことを特徴とする。 （もっと読む）