【課題】多層膜の成膜により生じた反りを矯正すること。
【解決手段】単結晶基板２０と、単結晶基板２０の片面に形成された２つ以上の層を有しかつ圧縮応力を有する多層膜３０とを含み、単結晶基板２０をその厚み方向において２等分して得られる２つの領域２０Ｕ、２０Ｄのうち、少なくとも単結晶基板２０の多層膜３０が形成された面側と反対側の面側の領域２０Ｄ内に、熱変性層２２が設けられている多層膜付き単結晶基板、その製造方法および当該製造方法を用いた素子製造方法 （もっと読む）

【課題】酸化ガリウム単結晶の再現性を確保することができる酸化ガリウム単結晶の製造装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】酸化ガリウム単結晶の製造装置１は制御部５０を備えている。制御部５０は、所望する酸化ガリウム単結晶の重量を特定する。また、制御部５０は、特定された重量の酸化ガリウム単結晶の製造過程における酸化ガリウムを含む原料の蒸発量を算出する。そして、制御部５０は、特定された酸化ガリウム単結晶の重量と、算出された酸化ガリウム原料の蒸発量とに基づいて、所望する酸化ガリウム単結晶の重量を製造するのに必要な酸化ガリウム原料の重量を算出する。 （もっと読む）

【課題】酸化ガリウム単結晶毎のドーパント含有量の再現性向上を図ることが可能な酸化ガリウム単結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】例えば、ＥＦＧ（Ｅｄｇｅ Ｄｅｆｉｎｅｄ Ｆｉｌｍ Ｆｅｄ Ｇｒｏｗｔｈ）法による酸化ガリウム単結晶の製造において、酸化ガリウムを含む原料の融点と、原料に添加されるドーパント酸化物の融点との差が±３００℃内に設定されるドーパント酸化物を原料に添加した後、坩堝３内で溶融し、融液２に種結晶１０を接触させて融液２から酸化ガリウム単結晶１３を結晶成長させる。酸化ガリウムを含む原料の融点と、前記原料に添加されるドーパント酸化物の融点との差を±３００℃内に設定することにより、前記原料に対する前記ドーパントの蒸発量制御が容易となる。従って、結晶成長させる酸化ガリウム単結晶に含有されるドーパント含有量の制御が容易化される。 （もっと読む）

【課題】既存の育成炉を改造することなく用いて、融液に種結晶を接触させて結晶成長させるバッチ生産方式により、より大きいサイズの酸化ガリウム単結晶を効率良く量産できる酸化ガリウム単結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】酸化ガリウムを含む原料の密度を高密度化する高密度化工程と、高密度化処理された原料を坩堝内にて溶融し、１バッチ分の融液２を得る溶融工程と、融液２に種結晶１０を接触させることにより、融液２から酸化ガリウム単結晶１３を結晶成長させる結晶成長工程と、を少なくとも経て、酸化ガリウム単結晶１３を製造する酸化ガリウム単結晶の製造方法。 （もっと読む）

【課題】運転効率が高く、容易に小型化を図ることが可能な燃料電池用ダイアフラムポンプを提供する。
【解決手段】 第１ダイアフラム４４Ａにより吸入吐出を行う第１のポンプ室４１Ａと、第１ダイアフラム４４Ａと対向配置された第２ダイアフラム４４Ｂにより吸入吐出を行う第２ポンプ室４１Ｂと、孔６１を有し、第１ダイアフラム４４Ａと第２ダイアフラム４４Ｂとを連結するクランクシュー６２と、駆動モータと、駆動モータにより駆動されて、孔６１内で摺動可能に嵌合されてクランクシュー６２を直線往復動させるクランクシャフト７４と、を備え、直線往復動方向に沿って、第１のポンプ室４１Ａ、第１ダイアフラム４４Ａ、クランクシュー６２、第２ダイアフラム４４Ｂ及び第２ポンプ室４１を順に配置する。 （もっと読む）

【課題】
連結梃子型のレンズアクチュエータに関して、搭載するレンズ径の拡大を図る。
【解決手段】
従来は平行配置だった駆動源と背面板とを立体的に配置した構造を用いることで、ベース部上に於ける駆動源と背面板とが占める占有率が減少する。この為、減少した分のスペースを搭載するレンズ径に割り当てることで、アクチュエータを大型化することなく、レンズ径のみを拡大することができると共に、連結梃子形の変位拡大機構を用いている為、部品点数の減少に伴う省資源化によって環境に配慮した構造となっている。 （もっと読む）

【課題】
各々の部品が有する形状や特性を接合後も損なうことなく、かつ接合の信頼性が高く実用に耐えうる接合体を提供すること。
【解決手段】
接合されている２つ以上の精密部品のうち、少なくとも１つが非晶質相を主相とする合金からなる場合において、非晶質相を主相とする合金の結晶化温度以下の温度帯で溶解する、一般式（１）にて示される組成式によって構成された接合母材を接合界面に用いた精密部品の接合体及び非晶質相を主相とする合金からなる部材の接合界面側にＡｕ, Ｐｔ, Ｐｄ及びＮｉのうち少なくとも何れか１種を含有する箔層と、一般式（１）にて示される組成式によって構成された接合母材を接合界面に用いた精密部品の接合体
一般式（１）：Ａｕ_100-xＭ_x
但し、ＭはＳｉ，Ｇｅ，Ｓｎのうち少なくとも１種を必ず含む任意の元素群であり、ｘは原子％で、１７．５≦ｘ≦４０である。 （もっと読む）

【課題】
構造の小型化に伴う高回転化においても整流子での油膜を維持し、長寿命化が可能な整流子モータを提供する。
【解決手段】
整流子とブラシとをハウジング内部で独立して密閉し、潤滑油を封入することで、常に接点部が潤滑油に浸っている状態となる。このような構造を用いたことで、高回転での駆動に際して遠心力による油膜の剥離を防止すると共に、非駆動時に於ける接点部の防錆、密閉による潤滑油の酸化防止等の効果を得ることが可能となり、モータの長寿命化を通じて地球環境に配慮した構造とすることができた。 （もっと読む）

【課題】
小型のモータに搭載することが容易で摩耗粉の発生を低減させることが可能な接点構造を提供すると共に、低回転用から高回転用の広い範囲で、ブラシモータの接点寿命を改善する。
【解決手段】
接点ブラシの接点裏側に潤滑油を保持する構造を設けることで、接点ブラシ−整流子間に潤滑油を供給し続けることができ、摩耗粉の発生を抑えることが可能となった。この為、小径ブラシモータの駆動寿命を改善することによって環境に配慮した構造とすることができた。 （もっと読む）

【課題】小歯車が大歯車に対して廻ってしまうということを防止できるようにする。
【解決手段】有段減速歯車１は、周面に歯車が形成された第１の歯車となる樹脂製のスパー（大歯車）２と、スパー２より小径で周面に歯車が形成された第２の歯車となる金属製のカナ（小歯車）３とを備えている。スパー２の回転中心部にはスパー２の回転軸方向にスパー２を貫通する孔４が形成されている。カナ３の回転中心部からは軸状の圧入部５が延び出している。圧入部５の全体は、孔４内に圧入されている。さらに、カナ３の周面に歯車が形成された部分の一部６も孔４内に強圧入されて、スパー２に埋め込まれた状態にある。 （もっと読む）