【課題】 試料表面に対してプローブが垂直にアプローチすることができ、特に凹凸の大きな構造や深溝構造の観察及び測定に適したカンチレバーとその製造方法を提供すること。
【解決手段】 ダイヤモンド基板上に熱化学加工を用いて形成した針状ダイヤモンドと、前記針状ダイヤモンドと一体に設けられた平板部とを含むプローブを備えるカンチレバーにおいて、前記針状ダイヤモンドの側面を一部除去して作製した第２の針状ダイヤモンドを備えており、前記第２の針状ダイヤモンドは、前記カンチレバーのプローブ取り付け面から垂直に伸びる線に対し、カンチレバーの取り付け角度分の傾斜角度θを有するように加工されている。 （もっと読む）

【課題】鉛が環境に与える悪影響を避けるために、白金製の坩堝を使用しながら鉛を含有せず、品質劣化も無く量産性に富み、且つ0.10dB以下のILを可能とするガーネット単結晶を提供する。
【解決手段】Bi置換希土類鉄ガーネット単結晶にPbを含有させず且つPtを含有させ、更に、Mn又は第2族元素の少なくとも1つの元素を添加すると共に、その含有量を2.54atppm以上4.0 atppm以下に設定し、且つ、Pt含有量を0.91atppm以上2.68atppm以下に設定する。 （もっと読む）

【課題】
サスペンション１枚で磁気回路部を支持する構造でもアームの本数と幅を減らす事無く振幅を拡大することの出来る振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】
サスペンションのアーム中間部に平面方向の折れ曲がり部を設けた構造とすることで、振幅の増加と振動特性の安定化とを両立し、予めサスペンションを前記磁気回路部の振動方向である伸縮方向に変形した状態で組み込むことにより、振動時に生じるサスペンションの金属疲労を軽減することが可能となった。加えて、これらの効果による部品全体での長寿命化によって自然環境に配慮した部品とすることができた。 （もっと読む）

【課題】鉛が環境に与える悪影響を避けるために、白金製の坩堝を使用しながら鉛を含有せず、品質劣化も無く量産性に富み、且つ0.10dB以下のILを可能とするガーネット単結晶を提供する。
【解決手段】Bi置換希土類鉄ガーネット単結晶にPbを含有させず且つPtを含有させ、更に、Mn又は第2族元素の少なくとも1つの元素を添加すると共に、Mn又は第2族元素の少なくとも１つの元素をM、Bi置換希土類鉄ガーネット単結晶中の、M濃度（atppm）を[M]、Pt濃度（atppm）を[Pt]と表したとき、[M]と[Pt]との関係式Δ


の値を-0.31atppm以上2.08atppm以下に設定する。 （もっと読む）

【課題】
使用者に対する水平方向の触感出力と、タッチパネルを用いた押圧以外の入力手段とを、単一の部品を用いて行う事の出来るタッチパネルを提供する。
【解決手段】
複合梃子型の変位拡大機構を検出兼駆動源としてタッチパネル側面に設けたことで、単純な振動出力だけではなく、接触箇所を介して進行波の出力ができると共に、タッチパネル本体の移動を変位拡大機構を介して検出することで、タッチパネル本体の移動による入力が可能となった。 （もっと読む）

【課題】
放熱性に優れ、過酷な連続使用においても安定した動作特性が得られる、より高性能なラジコン用サーボユニットを得る。
【解決手段】
ラジコン用サーボユニットの駆動モータにおいて、駆動モータ本体のロータの動作とは独立して回動する軸流ファン形状の部分を有するギヤ部品を、駆動モータ本体の出力軸と同軸上に配置し、駆動モータ本体とは別の第二のモータにより、ギヤ部品を回転させて送風動作させることにより、巻線コイルからの発熱を効率よく放熱する構造とする。 （もっと読む）

【課題】窒化物半導体層のエピタキシャル成長に用いるサファイア基板において、効率良く基板の反り形状及び／又は反り量を精密に制御することができ、且つ、成膜中に生じる基板の反りを抑制、それを用いて作製される窒化物半導体層成膜体、窒化物半導体デバイス、窒化物半導体バルク基板及びそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】サファイア基板の内部に、前記サファイア基板の研磨面側を通してパルスレーザを集光し、走査し、前記パルスレーザによる多光子吸収を利用して改質領域パターンを形成し、サファイア基板の反り形状及び／又は反り量を制御する。本発明により得られたサファイア基板を用いて窒化物半導体層を形成すると、成膜中の基板の反りを抑制し、基板の反り挙動を小さくすることができるため、膜の品質及び均一性が向上し、窒化物半導体デバイスの品質及び歩留まりを向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】
ガルバノスキャナに適用可能な、温度補償の効いた、高精度且つ高速応答性に優れるエンコーダの信号処理方法、エンコーダ装置及びサーボモータを提供すること。
【解決手段】
エンコーダ信号発生源から出力される２相正弦波信号のそれぞれを二乗する二乗算出手段と、二乗算出手段から出力される二乗した２相正弦波信号を加算する手段と、この加算手段の出力の平方根を演算する手段と、振幅の補正係数を演算する手段とによって、エンコーダ信号の振幅をゲイン調整する。
更に、２相正弦波信号を差動入力をもとに処理する増幅器により、一定の間隔で原波形に対する遅れ波形を形成し、検出対象の加減速時や負荷変動を受けている場合にも有効な逓倍信号を得る。 （もっと読む）

【課題】効率良く量産可能であり、走査プローブ顕微鏡において高分解能観察や高精度微細加工が可能な先端半径と、高アスペクト比構造観察に十分な長さの針をもち、且つ、先端の耐摩耗性に優れたダイヤモンド探針と、これを備えた走査プローブ顕微鏡用カンチレバー、フォトマスク修正用プローブ、電子線源を提供する。
【解決手段】反応性イオンエッチング等では作製困難な長さを有する針状ダイヤモンドを、熱化学加工法によって作製し、プラズマ中でエッチングもしくはマイクロ波プラズマＣＶＤ成長により先端部分を先鋭化することで、効率良く量産可能な先鋭化針状ダイヤモンド５を得ることができる。先鋭化針状ダイヤモンド５のうち少なくとも一本もしくは複数本を、走査プローブ顕微鏡用カンチレバーの探針として備える。 （もっと読む）

【課題】
薄型の構成で静かな駆動音と高い振動量を得る事が可能な振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】
梃子型の変位拡大機構を用いた駆動構造でサスペンションを斜め方向に配置した構成を用いたことで、駆動源である圧電素子の変位を最大限に拡大しつつ、サスペンションによって拡大した変位を振動方向の変位に変換する構造となり、薄型の構成でありながら圧電素子を駆動源としたことによる静かな駆動音と高い振動量を有する振動アクチュエータを得ることができた。 （もっと読む）