【課題】発光体の微弱発光領域以外の領域から照射される光、および外光が光学装置の観測窓に入射することを防止し、微弱発光領域から光学装置に入射する光の強度を相対的に増大させることによって、微弱発光領域の観測精度を上げる。
【解決手段】箱体１を備え、箱体の光学装置７に対向する面には、光学装置の視野より大きい面積を有する開口部２が形成される。箱体は、箱体の開口部と光学装置の観測窓８との間の空隙を、光学装置の視野を遮らないように包囲する遮光手段６を備える。箱体の内部に発光体１０の微弱発光領域１１を受け入れるための光取入口３が設けられる。箱体の内壁面の全体および前記遮光手段の内側面の全体が、光を反射させもしくは吸収するまたはその両方の機能を有する光減衰層によって被覆される。 （もっと読む）

【課題】第１の課題は、構成簡単にして正確に出力インピーダンスの非５０Ωの負荷側、たとえば、発生プラズマを用いて加工するプラズマ装置側のインピーダンスを求めることにあり、第２の課題はこのようにして求めたインピーダンスに基づき、モニター等のインピーダンス整合にかかわる諸制御を行うことができる装置を提供することにある。
【解決手段】出力インピーダンス５０Ωの高周波電源とこの高周波電源と出力インピーダンスの非５０Ωの負荷との間にインピーダンス整合装置が設けられ、さらにこの高周波電源のとインピーダンス整合装置間にセンサーが設けられ、このセンサーにおいて、高周波電源の電圧Ｖ（進行波電圧と反射波電圧）と進行波電流Ｉ_ｆの比である擬インピーダンスをパラメータとしてセンサーから見た出力側のインピーダンスを求める。 （もっと読む）

【課題】大気圧中において、プラズマ処理用のチャンバを用いることなくプラズマ処理を行うことができるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置が作動して、プラズマ放出口６から処理台１上の対象物４に対してプラズマが照射される間、ガス噴出口８から、プラズマ照射ヘッド２と処理台の間に形成された空間内に噴出されたガスが、プラズマ放出口からのプラズマによるプラズマ処理後のガスとともに、第１および第２のガス排出口７、９からガス排出管１７を通じて排出され、液体窒素トラップ１８を経て浄化された後、適宜ガス源２０から供給される新たなガスと混合され、再び送風手段１９からガス供給管１６を通じてガス噴出口８から空間内に噴出され、プラズマ照射ヘッド、処理台およびガス流のカーテンによって、プラズマ放出口を包囲する。 （もっと読む）

【要 約】
【課題】青色蛍光体と赤色蛍光体の発光強度低下を防止する。
【解決手段】真空槽内１１内に処理対象の基板１０を配置し、プラズマ発生源１２内に水素ガスを含有する処理ガスを導入し、マイクロ波によって処理ガスのプラズマを生成し、基板１０上の青色蛍光体、又は赤色蛍光体にプラズマを照射する。二価のＥｕ²⁺を有する青色蛍光体の場合、三価のＥｕ³⁺が二価のＥｕ²⁺に還元され、三価のＥｕ³⁺を有する赤色蛍光体の場合、結晶欠陥に水素が結合して結晶欠陥が修復され、発光強度が高くなる。プラズマを処理する際に３００℃以上の温度に昇温させておくと効果的である。 （もっと読む）

【課題】大気圧〜数Ｔｏｒｒの圧力下において、安定したプラズマ着火が可能なマイクロ波プラズマトーチを提供する。
【解決手段】誘電体からなる円筒状の放電管１と、放電管の一端開口を封閉する蓋体９と、蓋体を貫通して放電管内にその中心軸に沿ってのびるマイクロ波供給用アンテナ４と、放電管の外側を被覆するグランド電極２と、放電管内にプラズマ生成用ガスを供給するガス供給管３と、グランド電極の外面を被覆する誘電体の外被５を備える。アンテナには、その先端部から間隔をあけた位置にプラズマ遮断手段６ａ〜６ｃが設けられる。プラズマ遮断手段は誘電体からなり、プラズマ遮断手段と放電管との間、またはプラズマ遮断手段自体に、プラズマ生成用ガスを通過させるが、プラズマは遮断する通路が設けられる。 （もっと読む）

【課題】従来より反応効率が良く、ラジカルの発生量を容易に調節することができ、消費ガス量の低減を図ることができるマイクロ波プラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】外側導体２と、外側導体の内部空間４内に配置された内側導体３と、内管５及び外管６からなる二重管構造を有し、かつ外側及び内側導体を軸方向に貫通する放電管７と、放電管における内管の外管に対する軸方向の位置を調節する調節手段を有するキャビティ１を備える。第１の流量制御バルブ１８を備え、ガスボンベ１４から放電管の外管内に第１のガスを供給する第１のガス供給パイプ１６と、第２の流量制御バルブ１９を備え、放電管の内管内に第２のガスを供給する第２のガス供給パイプ１７と、マイクロ波発生源２１と、マイクロ波発生源からキャビティにマイクロ波を供給するマイクロ波供給路２２を備える。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波の電磁エネルギーを利用してプラズマを発生させる場合、高真空や高電圧を使用することなく、簡単な構成で放電管の軸方向に長い安定したライン状のプラズマを発生させること
【解決手段】マイクロ波を誘導する導波管１に対して、プラズマ発生用の放電管３をその全部または一部が導波管内へ入り込む状態に装着し、放電管の長手軸方向y’に沿って長いライン状のプラズマを発生させる装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 さらなる小型化を図り、マイクロストリップラインを単純な直線で形成できる方向性結合器を提供する。
【解決手段】 導波管５の側壁に、マイクロ波の進行方向に所定の間隔を隔てて２つの結合孔２Ａ，２Ｂを形成し、導波管５の側壁にプリント基板３を設け、プリント基板３の一方面に直線状のＭＳＬ４を形成し、他方面にそれぞれの一端がＭＳＬ４に接続され、他端が２つの結合孔２Ａ，２Ｂから導波管５内に突出する２本の探針１Ａ，１Ｂを設け、２つの結合孔２Ａ，２Ｂが設けられる間隔は、導波管５内に伝送されるマイクロ波の管内波長とＭＳＬ４上における、マイクロ波の波長との積をその和で割った値の１／２に選ばれる。ＭＳＬ４の両端に検波回路７Ａ，７Ｂを接続して、マイクロ波の進行電力と反射電力を検出する。 （もっと読む）

簡単な構造でありながら、プラズマやオゾンを高効率に発生し、取り扱いが容易な発生装置を得るようにする。 誘電体を介在しない電極１１、１２からなる電極部１０を構成する。この電極部１０に電荷を蓄積する電荷蓄積部としての消弧コンデンサ１３を直列に接続する。電極部１０と消弧コンデンサ１３との直列回路の両端に、交流電圧を印加して消弧コンデンサ１３を充放電させ、電極１１、１２間に自己消弧放電を生じさせてプラズマを発生させる交流電源１５を接続する。電極部の多極化を容易にするために、消弧コンデンサ１３と、これに接続される側の電極部１０の一方の電極１２とをユニット化する。ユニットは、電極部１０の一方の電極１２とコンデンサ１３の一方の電極とを兼用した浮遊電極と、浮遊電極の周囲に設けられた絶縁体と、絶縁体周囲に設けられた接地電極とから構成する。
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【課題】 小型で簡便な装置を用いて、安全かつ確実に殺菌を行うことができる低温殺菌法を提供する。
【解決手段】 ガスボンベ（ガス供給源）８と、ガスボンベ８から供給されたガスを励起して、高エネルギー粒子を含む温度非平衡状態のガスを発生させる高エネルギー粒子発生部１〜３と、高エネルギー粒子発生部１〜３で発生した温度非平衡状態のガスを外部の病原微生物に噴射させるガス噴出部４を備える。 （もっと読む）