【課題】冷媒の凍結を防止することにより、信頼性の高い極低温冷却システムを提供する。
【解決手段】少なくとも５０℃の差がある沸点を有する少なくとも２つの冷媒を含む冷媒混合体を使用することにより極低温を達成する冷却システムにおいて、最低温度を有する冷媒を加温する、制御されたバイパス流れを利用して、冷媒の凍結を防止し、さらに温度を制御する。この制御機能によって、極低温冷却システムをより高い信頼性で動作させることを可能にする。 （もっと読む）

【課題】熱損失型真空計２００の全圧力レンジにわたりほぼ完全な温度補償を達成する方法および装置を提供する。
【解決手段】センサレッグＲＳと温度補償レッグＲ２とが直列に接続されているか、またはセンサレッグＲＳと固定抵抗レッグとが直列に接続されており、センサレッグＲＳ両端の電圧を測定する。さらに、温度補償レッグＲ２のサブレッグ１２４の両端の電圧も測定する。温度補償レッグＲ２は、直列に接続された温度補償サブレッグ１２４および温度安定サブレッグ１２２を有してもよい。サブレッグは、１つまたは複数の温度検知素子および／または温度安定素子を有してもよい。 （もっと読む）

半導体被加工物処理システムは、処理被加工物のための少なくとも1つの処理装置と、第1搬送システムと、第2搬送システムと、第1搬送システムと第2搬送システムとの間における1つ以上のインターフェースと、を有し、第１搬送システムと第2搬送システムの各々が、実質的に等速度である1つ以上のセクションを有し、キュー部において等速度セクションに通じている。
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【課題】ツールに組み合わせられた真空環境における真空質問題の原因を特定する方法を提供する。
【解決手段】真空環境のデータを集めて保存する工程と、真空環境における異常を特定する工程と、異常が発生した可能性が高い時点におけるツール構成部品の動作状態を判別する工程と、異常が発生した可能性が高い時点における真空環境の状態、および異常が発生した可能性が高い時点のツール構成部品の動作状態に基づいて、真空質問題の原因を判別する工程とを備える。 （もっと読む）

基板処理装置には、基板搬送装置が備えられている。搬送装置は、処理装置の位置合わせを自動化するのに用いられる。一態様においては、搬送装置上の通しビーム検知器は、処理装置の構成部品を水平にするのに使用される。別の態様においては、搬送装置上の通しビーム検知器は、一平面内における基板ステーションの位置及び角度方向を算出するのに使用される。さらに別の態様においては、搬送装置は、基板配置上の基板を繰り返して載置し、コスト関数を形成し、そしてコスト関数を最小化し基板配置装置の位置を数値的手法を利用して算出することによって基板配置装置の正確な位置を自己教示する。
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基板搬送装置は、駆動部、コントローラ、アッパーアーム、フォアアーム及び基板保持部を有している。アッパーアームの近い方の端は、ショルダージョイントにおいて駆動部に回転可能に取り付けられている。フォアアームの近い方の端は、エルボージョイントにおいてアッパーアームの遠い方の端に回転可能に取り付けられている。基板保持部は、リストジョイントにおいてフォアアームの遠い方の端に回転可能に取り付けられている。アッパーアームとフォアアームの長さ（ジョイント中心からジョイント中心まで）は等しくない。基板搬送アームは、少なくとも２つの基板保持エリアに基板を搬送できるように構成されている。搬送の間、搬送装置の駆動部は搬送エリアに対して不動である。アッパーアーム、フォアアーム及び基板保持部は、それぞれに対して独立して回転可能である。
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基板搬送装置は、フレーム、駆動部、及び関節アームを有している。かかる駆動部は、多数の異なる交換自在なモータモジュールから選択され、配置するのに選択自在な少なくとも１つのモータモジュールを有する。各モータモジュールは、異なる予め決められた特性を有している。関節アームは関節接続部を有している。アームは、関節結合のために、駆動部に接続されている。アームは、各々が予め決められた構造特性を有する多数の異なるアーム構造から選択自在な構造を有している。アーム構造の選択は、駆動部における配置のために、少なくとも１つのモータモジュールの選択によりなされる。
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基板ロードデバイスは、フレーム、カセット支持部、及びユーザーインターフェイスを有している。フレームは基板プロセス装置に接続されている。フレームは搬送開口部を有しており、かかる搬送開口部を経て、基板はデバイスとプロセス装置との間を搬送される。カセット支持部は、フレームに接続され、少なくとも１つの基板保持カセットを保持する。ユーザーインターフェイスは、情報を入力するために形成され、フレームにマウントされ、ユーザーインターフェイスはフレームに一体化されている。
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搬送装置と、少なくとも１のセンサで、上記搬送装置及びコントローラと接続したセンサとを含む基板処理装置である。上記搬送装置は処理装置の処理ステーション間で基板を搬送するようになされている。上記センサは、上記搬送装置により搬送された基板を検知することが可能である。上記センサは、基板を検知すると少なくとも１の信号を送信するようになっている。上記コントローラは上記センサと通信可能に接続し、互いに角度をなし、所定の位置にある少なくとも２の方向に基板のアライメント（位置関係）を確定するようになっている。上記コントローラは少なくとも１の信号であって、基板上の２以下の場所を識別する少なくとも１の信号からアライメント（位置関係）を確定し基板間の半径の差異からは無関係である。
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状態監視及び障害診断システムは、１つ以上の構成要素の選択された変数の時間履歴を獲得するデータ収集機能と、時間履歴の指定された特徴を算出する事前処理機能と、特徴を評価して１つ以上の構成要素の状態の１つ以上の仮説を生成する分析機能と、１つ以上の仮説から１つ以上の構成要素の状態を判断する推論機能と、を含む。
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