フレームと、フレーム内に装着され、第１のモータ部および少なくとも１つの固定子軸受部を含む少なくとも１つの固定子と、少なくとも１つの固定子軸受部が実質的に非接触で磁力により支持する同軸スピンドルであって、その各駆動シャフトが回転子を含み、回転子は第２のモータ部および少なくとも１つの回転子軸受部を含み、少なくとも１つの回転子軸受部は少なくとも１つの固定子軸受部とインターフェース接続するように構成されている、同軸スピンドルと、を備える基板搬送アームのための駆動部。第１のモータ部は、所定の軸でスピンドルを回転させるように、第２のモータ部とインターフェース接続するように構成され、少なくとも１つの固定子軸受部は、少なくとも１つの回転子軸受部との相互作用を介して、同軸スピンドルに接続している基板搬送アームエンドエフェクタの少なくとも平準化を行うように構成されている。
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モーターを転流する方法には、モーターのステーターおよびモーターの作動コンポーネントを効果的に接続し、作動コンポーネントに対して少なくとも2つの巻線セットを配置し、およびこの少なくとも2つの巻線セットを独立して制御し、この少なくとも2つの巻線セットで作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方を行うことが含まれる。
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基板キャリアを加圧するための方法は、キャリアと一体構造のものであるチャンバおよび／またはキャリア内の基板カセットを加圧するステップと、チャンバからキャリア内へガスを放出することにより、キャリア内の圧力を維持するステップとを含む。
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制御された雰囲気を保持するために少なくとも１つの隔離可能なチャンバを形成するフレームと、少なくとも１つの隔離可能なチャンバのそれぞれに位置する少なくとも２つの基板支持体であって、それぞれ上下に積層され、それぞれの基板を支えるために構成されている、少なくとも２つの基板支持体と、少なくとも２つの基板支持体と連通可能に結合している冷却ユニットであって、少なくとも２つの基板支持体および冷却ユニットが、少なくとも２つの基板支持体上に位置する各基板のそれぞれに同時伝導冷却を与えるように構成されている、冷却ユニットと、を有する基板処理ツール。
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基板処理システムであって、基板の収納および搬送用に少なくとも１つの基板容器を保持する構成のロードポートモジュールと、基板処理チャンバと、チャンバ内の隔離された雰囲気を保持して基板処理チャンバとロードポートモジュールに結合する構成の隔離可能な移送チャンバと、駆動部がこの移送チャンバに固定されこの移送チャンバ内に少なくとも部分的に取り付けられる基板搬送機とを含み、この基板搬送機が、少なくとも１つの基板を支える構成の１つのＳＣＡＲＡアームを有し、ＳＣＡＲＡアームは、その基板の基板容器と処理チャンバとの間で少なくとも１つの基板をワンタッチのみで搬送するように構成され、第１アームリンクと、第２アームリンクと、少なくとも１つのエンドエフェクタとを備えており、これらはそれぞれ連続的に枢動可能に結合され、第１および第２アームリンクは異なる長さを有するシステム。
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直線的に配置された第一固定子と、第一アームに結合している第一回転子と、を有する第一シャフトレス回転モータと、直線的に配置された第二固定子および第二アームに結合している第二回転子を有し、第二アームが第一アームに連結している第二シャフトレス回転モータと、第一および第二アームのうちの少なくとも１つに結合している第一基板支持体と、を備える基板搬送装置であって、第一および第二固定子は、第一および第二アームならびに第一基板支持体が両固定子の内側にあるように、また、第一および第二シャフトレス回転モータと第一および第二アームのそれぞれの１つとの連結におけるモータ出力が、第一および第二アームの周辺に形成される合力であるように、構成されている
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基板搬送装置は、フレームと、該フレームに接続され、かつ少なくとも１つの独立して制御可能なモータを含む駆動部と、該フレームに接続され、かつ基板を支持および搬送するように分配されるアームリンクを備える少なくとも２つの基板搬送アームと、該少なくとも２つの基板搬送アームのうちの一方が実質的に収縮形状のままである間に、該少なくとも２つの基板搬送アームのうちの１つの伸長および収縮を生じさせるように、該少なくとも１つの独立して制御可能なモータおよび該少なくとも２つの基板搬送アームに連結される機械運動スイッチとを含む。
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処理ツールのための基板搬送装置を開示する。この装置は駆動部、可動アーム、およびエンドエフェクタを有する。可動アームは動作的に駆動部と連結している。エンドエフェクタは、処理ツール内で基板を保持、搬送する可動アームと連結している。この装置は、エンドエフェクタに連結して、エンドエフェクタ上で基板の慣性により基板を捕捉および心合わせできるように配置されている基板慣性捕捉エッジグリップを有する。
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プロセッサと、第１のセンサと、第２のセンサとを有する計測機器である。該プロセッサは、物理的量の計測を実施する計測信号を出力するように適合される。該第１のセンサおよび該第２のセンサは該プロセッサに接続され、物理的量の第１の計測および第２の計測をそれぞれ生じるように動作可能である。該プロセッサは、計測信号が第１の計測に依存し、第２の計測に依存しない第１の計測範囲を定義する。該プロセッサは、計測信号が第２の計測に依存し、第１の計測に依存しない第２の計測範囲を定義する。第１の範囲および第２の範囲は既定の遷移で交わる。第１の計測および第２の計測は該遷移では異なり、計測信号において実施される計測は、急激に変化することなく、該遷移に交差する。
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【課題】床面積当たり高いスループットを有する基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板搬送部２４と基板処理チャンバ２６、２７とを含む基板処理装置２２において、基板搬送部は、搬送チャンバ３２と搬送機構３４とを有する。搬送機構は、回転可能ドライバ４８と、ドライバに回動可能に接続して鉛直方向に回動するアーム５０と、関節を有する手首６４によってアームの端部に回動可能に接続されている基板ホルダ５２とを有する。アームは、基板ホルダ５２を鉛直方向に上下動できる。基板処理チャンバは、鉛直方向に２つの異なるレベルで搬送チャンバに固定接続している。 （もっと読む）