電子部品の製造において用いられるレチクル用検出／クリーニング装置であって、検出／クリーニング装置がクリーニングユニットを有し、その中にクリーニングチャンバーが構成されている。圧縮液体クリーニング媒体の導入用の少なくとも１つのガス供給がクリーニングチャンバーへ通じる。ガスをクリーニングチャンバーから放出する少なくとも１つの吸引手段がクリーニングチャンバーから通じる。クリーニングチャンバーはレチクルを導入し且つ取り除く少なくとも１つの第１開口部を有する。半導体製造で用いられる品物の汚染を検出する検出ユニットが設けられる。検出ユニットは検出手段を有し、その中へレチクルが検出ユニットの１つの送り側から導入され得る。クリーニングチャンバーの第１開口部と送り側は互いに反対側にある。送り装置はクリーニングユニットと検出ユニットとの間のレチクルを交換するために設けられる。
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基板搬送装置（10）が提供される。該装置はケーシング（11）及びドア（13）を有する。該ケーシングは調節された環境を内部に形成する。該ケーシングは少なくとも１つの基板（s）を該ケーシング内に保持すべく、内部にサポート部（12、14）を有している。該ケーシングは基板搬送開口部を画定し、かかる開口部を介して基板搬送システムがケーシング内の基板にアクセスする。該ドアは、ケーシング内の基板搬送開口部を閉鎖すべくケーシングに結合している。ケーシングは迅速に交換する構成要素を形成する構造を有し、よって基板搬送システムを退避せしめることなくケーシング内の基板のローディングとは独立して該装置からの基板を他の基板と交換することが可能となる。
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基板処理装置（10）が提供される。該装置はケーシング、ロードポートインターフェース（I）及びキャリア保持ステーション（16）を有している。ケーシングは内部に基板を処理する処理デバイス（12）を有している。ロードポートインターフェース（I）は基板を処理デバイス（12）内にローディングするケーシングに結合されている。キャリア保持ステーション（16）はケーシングに結合されている。キャリア保持ステーション（16）は少なくとも１つの基板搬送キャリア（C）をロードポートインターフェース（I）において保持する。キャリア保持ステーション（16）は基板搬送キャリア（C）のキャリア保持ステーション（16）からの交換用の迅速交換セクションを提供すべく配置されている。
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基板移送システムの実施例が提供される。該システムはガイドウエイ及び少なくとも１つの移送車両を有している。該移送車両は少なくとも１つの基板を保持し、ガイドウエイに支持されてそこに沿って移動することが可能である。該ガイドウエイは車両用の少なくとも１つの移動レーンと移動レーンからオフセットした少なくとも１つのアクセスレーンとを有し、よって該車両は選択自在に移動レーンにアクセスしたり移動レーンから離れたりすることが可能となる。
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抵抗加熱の熱損失式の圧力計において、異なるデューティ・サイクルで感知素子と補償素子との間で電流が切り替えられる。その結果、感知素子が補償素子に比べて加熱される。固定抵抗が、少なくとも補償素子に直列に配置される。感知素子の抵抗が補償素子と固定の抵抗素子との合成抵抗に一致する温度まで、感知素子を加熱するように、電流源が電流を加える。 （もっと読む）

フレームと、少なくとも１つの処理モジュール（３６）と基板搬送装置（３４）とを含む基板処理装置（１０）に関する。該基板処理モジュール（３６）は、該フレームの外部に接続されている。該基板搬送装置（３４）は、第１のチャンバと該フレームの外部の該処理モジュールとの間で基板を搬送するべく該フレームに接続されている。該フレームはその中に形成されている第２の一体的なチャンバ（２８，３０）を有する。該フレームの該第２の一体的なチャンバ（２８，３０）は幾つかの所定の構成から選択可能な構成を含む。該フレームに対する該第２の一体的なチャンバ（２８，３０）の構成は、該基板処理装置の所定の特性に応じて選択される。
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基板搬送装置は駆動セクションと該駆動セクションに作動自在に結合されたスカラアームとを有し、該駆動セクションは該スカラアームを作動する。該スカラアームは上方アームと少なくとも１つの前方アームとを有している。該前方アームは該上方アームに作動自在に搭載されてその上に基板を保持することが可能である。該上方アームは実質的に剛性であって該上方アームの所定の形態の変更を調整することが可能である。
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電子源を気体分子から隔離している電離真空計は、電子を発生する電子源と、電子と気体分子の衝突により生成されるイオンを捕集する捕集電極と、電子源を気体分子から隔離する電子窓とを含む。電離真空計は陽極空間を形成し、および陽極領域内に電子を保持する陽極を有する。電離真空計は複数の電子源および／または捕集電極を有する。捕集電極は陽極空間内または陽極空間の外側に置く。電離真空計は質量−電荷比に基づいてイオンを分離するマスフィルタを有することができる。電離真空計は、圧力を測定するベアード−アルパート型または気体の種類を決定する残留ガス分析計である。 （もっと読む）

【課題】ダクト付きの単一のバルブ・アセンブリであって、前記バルブ・アセンブリを、内側ダクトおよび外側ダクトを有する同軸接続によって、クライオポンプに接続するパージ弁ポートを備えた統合化クライオポンプ・バルブを提供する。
【解決手段】加圧気体との接合部が、内側ダクトを介して加圧気体の供給源をクライオポンプに接続している。粗引き弁ポートによって、前記バルブ・アセンブリの外側ダクトを粗引き真空ポンプに接続でき、逃がし弁ポートによって、前記バルブ・アセンブリの外側ダクトを排気筒に接続できる。 （もっと読む）

【課題】非反応性の冷媒を用い、従来よりも低い温度を達成できる冷却システムを提供する。
【解決手段】第１冷媒サイクルおよび第２冷媒サイクルを備える冷却システム。第１冷媒サイクルが第１冷媒を有し、第２冷媒サイクルが極低温成分の混合物を含む第２冷媒を有する。また、第２冷媒サイクルが非反応性成分を含む第２冷媒を有する。第２冷媒は、フルオロカーボン、クロロフルオロカーボンおよびヒドロカーボンを含まない。第２冷媒の少なくとも一部が、第２冷媒サイクルにおいて凝縮される。 （もっと読む）