【課題】応答速度が速く紫外線耐性を有する空間光変調手段を使用して露光速度を速くし、露光工程の工数を削減する。
【解決手段】被露光体６を上面に載置して保持するステージ１と、前記ステージ１の上方に配置され、光を放射する光源２と、前記ステージ１と前記光源２との間に配設され、電気光学結晶材料からなる細長部材の長軸方向に平行な側面に対向して一対の電極を設けた複数個の光変調素子を、その両端部を前記光源１からの光の入射端面及び射出端面として二次元的に配設し、前記各光変調素子の透過光を光変調して所定のパターンを生成して前記被露光体６上に露光する空間光変調手段３と、前記空間光変調手段３の各光変調素子を個別に駆動制御して前記所定のパターンを生成させる制御手段５と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】カートリッジ部材にニードル管を組み付けて形成されたインクカートリッジのニードル管にインクを充填する。
【解決手段】インクカートリッジ７のカートリッジ部材６を着脱可能に保持するカートリッジ保持部１と、前記カートリッジ保持部１に配設され、前記カートリッジ部材６が着脱される側に開口した穴部９を有し、該穴部９にニードル管５の後端開口部５ａを挿入して保持するコネクタ２と、前記コネクタ２の穴部９に供給管１１によって接続され、前記インクカートリッジ７のニードル管５に充填するインクを貯留するインクタンク３と、前記インクタンク３に圧縮空気を導入して、その空気圧により前記インクタンク３内のインクを、前記供給管１１を介して前記コネクタ２の穴部９に所定量だけ送出する充填量調整部４と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】作業装置におけるテーブルの位置決めを高精度に繰り返し再現させる。
【解決手段】作業装置におけるテーブル位置決め装置は、コントローラ（制御装置）２１でＹ軸リニアモータ（Ｙ軸駆動手段）９を作動させてテーブル４を移動させ、その位置のレーザ測長器１１による測定結果にもとづきテーブル４を所定位置に位置決めする装置であり、レーザ測長器１１がテーブル４の移動方向に直角な方向の中心位置と、その両側に配置されたＹ軸レーザ干渉計１５，１５ａ，１５ｂを備え、コントローラ２１が、両側のＹ軸レーザ干渉計１５ａ，１５ｂで測定した測定値にもとづきテーブル４のヨーイング角を算出すると共に、中心位置のＹ軸レーザ干渉計１５で測定したテーブル４の位置をヨーイング角にもとづいて補正し、この補正して求めた位置にテーブル４が位置決めされるようにＹ軸リニアモータ９を作動させる構成とされている。 （もっと読む）

【課題】修正材がニードル管の先端部で乾燥するのを防止すると共に欠陥修正作業を効率的に行なう。
【解決手段】基板面に形成されたパターンの欠陥部に、両端を開口し先端部を細く形成した細長状のニードル管１から該ニードル管１内に充填された修正材を吐出して前記欠陥部を修正する修正材塗布装置であって、前記ニードル管１の外周面を囲い該ニードル管１の中心軸に沿って進退可能に形成され、先端部内に修正材を保持し得る筒状のカバー部材２と、前記カバー部材２を支持して進退させる駆動手段と、を備え、前記カバー部材２を前進させて該カバー部材２の内部に前記ニードル管１の先端部１ａが収容された状態にて前記カバー部材２の先端部２ａ内に修正材を保持した際、該修正材によって前記ニードル管１の先端部１ａが覆われるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】被測定物上に測定点を指定してその測定点の高さを高速で測定する。
【解決手段】光源１と、対物レンズ２と、光源１と対物レンズ２とを結ぶ光路上に該光路に沿って変位可能に配設された集光レンズ３と、集光レンズ３がその変位範囲内の所定位置に配置されているとき、対物レンズ２による被測定物上の結像点と光学的に共役の関係に配設され、複数のマイクロミラーをマトリクス状に配列した測定点選択手段４と、集光レンズ３が上記所定位置の対物レンズ３側に配置されているとき、対物レンズ３による被測定物上の結像点と光学的に共役の関係に配設された撮像手段５と、光源１からの光ビームにて被測定物上の測定点で反射され、測定点選択手段４で反射されて戻る光を検出する光検出手段６と、集光レンズを変位させると共にその変位量を検出して出力する変位手段７と、被測定物の測定点の高さを求める制御手段１０と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】移動体の移動に伴って発生してケーブル保持部材から移動体に伝達される負荷や振動を可及的に軽減させ、移動体の運動、位置決め精度を向上させる。
【解決手段】ケーブル支持案内装置は、固定側端部（一端部）が固定部材１５ａに支持され可動側端部（他端部）Ｅ１がＸ軸スライダー（移動体）９に支持されており、ケーブル２６を支持してＸ軸スライダー９の移動方向に沿う面内で途中部を屈曲をしながら案内移動させるケーブル保持部材１４を備えると共に、Ｘ軸スライダー９に固定され、その移動方向に対して直交する一対の平面を有する係止体１７ｂを設けた第１の連結部材１７と、ケーブル保持部材１４の可動側端部Ｅ１に固定され、第１の連結部材１７の係止体１７ｂを挟んでその一対の平面に転動可能に当接された一対の球体２１，２１を有し、第１の連結部材１７に連動して移動する第２の連結部材１８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板面に形成されたパターンの欠陥修正を確実に行なうと共に修正時間を短縮する。
【解決手段】カラーフィルタ基板６面に形成されたブラックマトリクスのピクセルの欠陥部に修正材２７を塗布して欠陥部を修正する方法であって、前記ピクセルと同形状に形成され一面が平坦な樹脂製の小片２５を、前記平坦面２５ａを下にして塗布針２３の先端部２３ａに取り付ける段階と、前記小片２５の平坦面２５ａに前記修正材２７を付着させる段階と、欠陥ピクセル２８ａに前記小片２５を圧接して前記修正材２７を転写させる段階と、を行なうものである。 （もっと読む）

【課題】被露光体上に設定された複数の露光領域の外部にて隣り合う露光領域の間の部分が露光されるのを防止する。
【解決手段】カラーフィルタ用ガラス基板１を搬送するステージ５と、フォトマスク１６を保持するマスクステージ６と、フォトマスク１６に露光光を照射する光源７と、フォトマスク１６に照射する露光光の輝度分布を均一にするフォトインテグレータ８と、フォトマスク１６に照射する露光光を平行光にするコンデンサーレンズ９と、フォトインテグレータ８の端面像をコンデンサーレンズ９の手前側に結像する結像レンズ１０と、結像レンズ１０の結像位置近傍に配設され、カラーフィルタ用ガラス基板１の移動により複数の露光領域がフォトマスク１６の下側を順次通過するのに同期して露光光の照射及び遮断切換えをするシャッタ１１と、を備え、シャッタ１１は、隣り合う露光領域の間の部分の幅に応じて遮光部２４の幅を変更可能な構成とした。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単であり、揮発性成分を含む溶液の微小量を適量に安定して供給する液体材料供給装置を提供する。
【解決手段】揮発性成分を含む液体材料を収容する容器２１と、一端が毛細管部分であるディスペンサノズル２２と、このディスペンサノズル２２の毛細管部分を容器内２１に出し入れ可能にするディスペンサノズル移動手段２３と、前記ディスペンサノズル２２の圧力を正圧または負圧または大気圧にする圧力調整手段６と、を備える液体材料供給装置であって、容器２１が、ディスペンサノズル２２の毛細管部分を前記液体材料に浸漬可能な深さを有することを特徴とする液体材料供給装置。 （もっと読む）

【課題】ワークをテーブル上に載置する際に、ワークの位置ずれや変形を防止してテーブル上面にワークを正確に載置させると共に、装置の構造を簡単にする。
【解決手段】ローディング装置と作業装置のテーブルとの間でワークを受け渡しする装置は、上面にワークを載置するワーク載置面を有しワーク載置面に開口する複数のピン孔が設けられたテーブルと、シリンダ装置で上下動される支持板によって昇降されて上端部が各ピン孔を通してテーブルの上面に出没される複数の昇降ピン１３とを備え、各昇降ピン１３の上端部に基部ケース１５とこれに螺着されたピンケース１６とからなる保持筒１７が着脱可能に取り付けられ、ワーク当接部材１４が昇降ピン１３に対して上下動可能に保持筒１７内に挿入され、かつ保持筒１７内のバネ１８によって常時上方へ付勢された状態で、上端部を保持筒１７から上方へ突き出して設けられた構成とされている。 （もっと読む）