【課題】 感光性物質を塗布した透明なガラス基板を透過して下側に抜けた露光光が反射されてガラス基板側に戻されるのを防止する。
【解決手段】 感光性物質を塗布したカラーフィルタ基板７を上面１ａに載置し、該カラーフィルタ基板７上に予め設定された露光領域に対応する箇所に上下方向に貫通する開口部９を設けたステージ１と、前記ステージ１の上面１ａに平行な方向に該ステージ１に対して相対的に移動可能とされ、前記カラーフィルタ基板７の露光領域に露光光を照射して所定の露光パターンを形成する露光光学系２と、を備えた露光装置であって、前記ステージ１の開口部９の下方にて、前記露光光学系２の光路上に前記カラーフィルタ基板７を透過して下側に抜けた前記露光光を前記カラーフィルタ基板７側とは異なる方向に反射する反射ミラー５を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】電子回路基板上に形成された複雑で細い配線の断線を容易に補修することができる、配線補修材と、この配線補修材を用いた配線補修方法及び配線補修装置。
【解決手段】基材２と基材２に積層した熱溶融層３と熱溶融層３に積層した微粒金属層４からなる配線補修用積層材１の微粒金属層４を電子回路の断線部分に当接して後、
前記断線部分の上方の配線補修用積層材１にレーザ光を照射して、熱溶融層３にレーザ光を吸収させることによって、
基材２から熱溶融層３及び微粒金属層４を溶融離脱させて、熱溶融層３と微粒金属層４を前記断線部分に転写させた後、
前記断線部分に転写させた熱溶融層３にレーザ光を照射して該熱溶融層を熱分解することによって除去してから、微粒金属層４にレーザ光を照射することによって、微粒金属を融解し焼成することを特徴とする配線補修方法 （もっと読む）

【課題】 被露光体に形成された基準パターンに対する露光パターンの重ね合わせ精度を向上する。
【解決手段】 搬送手段５でカラーフィルタ基板８を所定の速度で搬送し、カラーフィルタ基板８の搬送方向Ａと直交する方向に並べて配置されたマイクロミラーデバイス２の複数のミラー要素にそれぞれ対応させて搬送方向Ａに先後して並べて配置した撮像手段３の複数の受光要素で投影レンズ４を介してカラーフィルタ基板８からの光を受光して、カラーフィルタ基板８上の露光位置Ｐ１の搬送方向手前側を撮像し、その画像の画像データに基づいて制御手段７でマイクロミラーデバイス２の複数のミラー要素を駆動制御し、該ミラー要素で光源１から入射する露光光に強度変調を与えて射出し、投影レンズ４で該強度変調された露光光をカラーフィルタ基板８上に投影し、カラーフィルタ基板８上に形成されたブラックマトリクスのピクセル上に露光パターンを露光する。 （もっと読む）

【課題】 小さなマスクを使用して広い露光領域を有する基板を、露光光を安定した状態で照射して効率的に露光でき、移動する基板の所定の露光領域に正確に露光する。
【解決手段】 基板搬送手段５によって一定方向に搬送されている状態の基板４に対して、露光ステーション（露光部）２でランプ（連続光源）９からの露光光を露光光学系３の光軸（光路）Ｓ上に設けたマスク１１の開口部１１ａを通して照射し、基板４上に開口部１１ａの像を転写する露光を行う際、基板４に予め形成されたピクセル（基準パターン）１８の側方エッジ（パターンエッジ）を、マスク１１に連動してその移動方向へ移動する撮像手段５で撮像して、基板４上の搬送方向イに直角な方向における基準位置を検出し、撮像手段５で撮像されたピクセル１８が撮像位置Ｆから露光位置Ｅに移動した時に、基板４上の基準位置にマスク１１の位置が一致するようにマスク１１を位置制御する。 （もっと読む）

【課題】 小さなマスクを使用して広い露光領域を有する基板を、露光光を安定した状態で照射して効率的に露光する。
【解決手段】 基板搬送手段５によって一定速度で一定方向に搬送されている状態の基板４に対して、ランプ（連続光源）９からの露光光を露光光学系３に設けたマスク１１の開口部１１ａを通して照射し、基板４に開口部１１ａの像を転写する露光を行う際、基板４に予め形成されたピクセル（基準パターン）１８を撮像手段６で撮像し、撮像されたピクセル１８が撮像位置Ｆから露光開始位置Ｋに移動した時、マスク１１を基板４の搬送に同期させて進行方向イへの移動を開始させると共に露光光の基板４への照射を開始させ、ピクセル１８が露光停止位置Ｊに移動した時、露光光の基板４への照射を停止させると共にマスク１１の移動を停止させて露光開始位置Ｋに戻し、この動作を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】 被測定物上の測定点を任意に選択可能として被測定物上の測定点の高さを高速で測定する。
【解決手段】 対物レンズ３の焦点位置と光学的に共役の関係に配置され、光源２からの光ビームが被測定物１方向に反射するように傾く複数のマイクロミラー１０_{（１，１）}〜１０_{（ｍ，ｎ）}をマトリクス状に配列した測定点選択手段４と、被測定物１上に集光された光ビームの集光点からの反射及び散乱光を測定点選択手段４を介して検出する光検出手段５と、被測定物１を対物レンズ３に対してその光軸方向に相対的に変位させてその変位量を検出する変位手段６と、測定点選択手段４の各マイクロミラー１０_{（１，１）}〜１０_{（ｍ，ｎ）}を個別に駆動すると共に、光検出手段５で検出された光の輝度及び変位手段６で検出された被測定物１の変位量のデータから最大輝度値を示す変位量を被測定物１の高さとして求める制御手段７とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 レーザ光のビーム形状を多様に迅速に変更可能とし、ビーム形状の変更されたレーザ光を繰り返しワークに照射して所定の加工個所を能率よく、正確に加工する。
【解決手段】 加工エリア４０に内接する矩形の初期加工エリア４０Ａに対応させて各スリット板Ａ〜Ｄを開閉移動して形成した合成スリット１６を通してレーザ光Ｌ_１ をワークに照射することにより、初期加工エリア４０Ａを整形加工した後に、対向する一対のスリット板Ａ，Ｃを円弧部４０ａの半径ｒにもとづく単位開閉量の整数倍だけ閉じ、スリット板Ｂ，Ｄを単位開閉量の整数倍だけ開いて形成した合成スリット１６を通してワークにレーザ光Ｌ_１ を照射する操作を繰り返すことにより、初期加工エリア４０Ａの外側の円弧部４０ａを含む後続加工エリア４０Ｂを、該円弧部４０ａを段階的に輪郭形成しながら整形加工する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタについて、黒色領域を挟んだ少なくとも２つの有色彩領域に及ぶ欠陥を、有色彩の修正材料の混合を生じることなく修正する方法を実現するものである。【解決手段】有色彩フィルタ２Ｂ，２Ｃと、有色彩フィルタ２Ｂ，２Ｃを区切る黒色フィルタ２Ａとからなるカラーフィルタ２について、その黒色フィルタ２Ａを挟んで有色彩フィルタ２Ｂ，２Ｃに及ぶ欠陥を含む所定の範囲２１内の有色彩フィルタ２Ｂ，２Ｃおよび黒色フィルタ２Ａを除去し、ついで、所定の範囲２１内に黒色の修正材料を供給した後、黒色フィルタ２Ａの幅であって、有色彩フィルタ２Ｂ，２Ｃの厚みと同等の厚みを有する新たな黒色フィルタ部分を形成し、ついで新たな黒色フィルタ部分によって区切られた所定の範囲２１内に所定の有色彩の修正用材料を供給する。 （もっと読む）

【課題】 ディスペンサの吐出口で導電性物質含有液体が乾燥することがなく、電子回路基板の配線の断線部に導電性物質含有液体を確実に塗布して導電性薄膜を形成し、かつ断線部に形成された導電性薄膜を基板上に密着させる。
【解決手段】 ＴＦＴ基板（電子回路基板）１上に形成された配線３の断線部３ａに、不揮発性溶媒に導電性物質を分散させてなる導電性物質含有液体７を、ディスペンサ４によって断線部３ａを間にして対向する配線３の端部３ｃ，３ｃどうしを接続するように塗布した後に、塗布した導電性物質含有液体７を連続発振レーザ光Ｌａの照射によって加熱して断線部３ａに導電性薄膜７ａを析出させ、しかる後に、導電性薄膜７ａの全体を覆うようにＵＶ硬化樹脂（紫外線硬化樹脂）８を塗布すると共に、この塗布したＵＶ硬化樹脂８をＵＶ光（紫外線光）を照射して硬化させる。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単なオートフォーカス装置により、被測定物に対して撮像手段を最適フォーカス位置に迅速に合わせる。
【解決手段】オートフォーカス装置１は、被測定物７に対向した対物レンズ８Ａを介して、前記被測定物７を撮影する第１の撮像手段９Ａと、この撮像手段９Ａとフォーカス方向に一定距離αだけ隔てた位置に配置されて被測定物を撮影する第２の撮像手段９Ｂと、測定物７の表面に所定のパターンを投影するためのパターン投影手段３と、被測定物７からの反射光を対物レンズ８Ａを介して前記第１の撮像手段及び第２の撮像手段に導くハーフミラー（光学系）１１及び１２と、撮像手段９Ａ及び撮像手段９Ｂの画像データに基づいて被測定物７の明るさに関するデータの分布を求める制御手段６と、制御手段６の指令によって駆動され、対物レンズ８Ａをフォーカス方向に移動させる移動手段５Ａとを備えている。 （もっと読む）