【課題】被修正体に傷等を発生させずに、同被修正体の欠陥部分に修正用液体を効率よく簡便に供給することにより、同欠陥を修正する修正方法を提供する。
【解決手段】揮発性溶媒を含まないカラーフィルタ修正用インク２２を内蔵するディスペンサーのノズル１３の先端部外周に当該インクの液滴を形成した後に、当該ディスペンサーのノズル１３の先端部を、カラーフィルタ２の被修正面に対し接触角度が鋭角となるように当接させて、ついで、前記ディスペンサーノズル１３から前記修正用インク２２を少なくとも同ノズルの端部分が同修正用液体によって覆われるように前記被修正面に供給して、同被修正面を修正する。 （もっと読む）

【課題】 複数の異なる液体材料を迅速に交換してそれぞれの塗布すべき所要箇所に能率良く供給し、液体材料の塗布作業を効率的に行う。
【解決手段】 液体材料供給装置は、異なる液体材料が個々に充填された複数のディスペンサ２６を有して支持体に支持された液体材料吐出部７と、各ディスペンサ２６内の液体材料にガス圧を印加してディスペンサ２６の先端から微少量の液体材料を吐出させる圧力印加機構と、支持体とカラーフィルタ（被吐出体）Ｗを固定したテーブルとをＸ，Ｙ，Ｚ軸方向に相対的に移動させて、液体材料吐出部７をカラーフィルタＷの液体材料塗布位置Ｐへ移動させる駆動装置とを備え、液体材料吐出部７には、複数のディスペンサ２６の１つを選択してその先端部をカラーフィルタＷ上の所定の液体材料吐出位置（液体材料塗布位置）Ｐに移動位置決めさせるディスペンサ交換機構２７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 構成が簡単であり且つ高速のオートフォーカスを実現しようとするものである。
【解決手段】 被測定物７に対向して備えられた対物レンズ８を介して被測定物７の像を撮像する撮像光学系１と、該撮像光学系１を前記対物レンズ８の光軸方向に変位させる駆動機構４と、前記撮像光学系１で撮像された前記被測定物７の像に基づいて前記駆動機構４を駆動制御する制御手段５とを備えたオートフォーカス装置であって、前記対物レンズ８の光軸方向で結像位置が異なる形状の三つの投影パターンを前記被測定物７の測定面に前記対物レンズ８を介して投影する投影光学系２を備え、前記制御手段５により前記撮像光学系１で取得された前記三つの投影パターンの各投影画像の大小を比較し、該各投影画像の大小関係が所定の関係となるように前記撮像光学系１の変位を制御するものである。 （もっと読む）

【課題】多層平板状被検査体の各層別の明るさに関するデータの分布を求めることにより、異物等の欠陥の存在する層を特定する。
【解決手段】平面視において欠陥の位置が確認されている被検査体２の同欠陥を含む被測定部位に光を照射し、被検査体２に対向したＣＣＤカメラ６を被検査体２に接近させながら、ＣＣＤカメラ６によって、前記被測定部位の各層の鉛直方向の画像データを連続的に取込み、この画像データに基づいて同被測定部位の各層の鉛直方向の明るさに関するデータの分布を求め、前記各層の明るさに関するデータの分布と、予め求められている基準検査体の被検査体２の被測定部位に対応する部位の各層の鉛直方向の明るさに関するデータの分布とを比較し、欠陥が存在する被検査体２の層を特定する。 （もっと読む）

【課題】 被検査用表示パネルの点灯状態の異常を効率的に検査しようとする点灯検査装置を提供する。
【解決手段】 各種の検査パターンを発生すると共にそのうちから選択された検査パターンの画像信号を出力するパターン発生手段２と、液晶表示パネル９を位置決めして載置し、液晶表示パネル９を駆動して検査パターンの画像を表示させる検査用駆動部３と、液晶表示パネル９に表示された検査パターンの画像を撮像する撮像手段４と、液晶表示パネル９に表示される検査パターンの画像信号を蓄積する第１の画像メモリ５と、撮像手段４で撮像した画像の画像信号を蓄積する第２の画像メモリ６と、第１及び第２の画像メモリ５，６にそれぞれ蓄積された両画像データを比較して両画像信号の不一致部分を検出する排他的論理和演算回路７と、排他的論理和演算回路７の出力に基づいて液晶表示パネル９の点灯状態の異常を判定する判定手段８とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成により、２種類の特性の異なるパルスレーザを容易、確実に発生させる。
【解決手段】 パルスレーザ発振器１は、対向配置された全反射ミラー２と出力ミラー３との間にレーザ媒質４を設置してなるレーザ共振器５と、前記レーザ媒質４を励起させる半導体レーザ（ＬＤ）６と、全反射ミラー２と出力ミラー３との間に設置されたＥＯ−Ｑスイッチ８およびＡＯ−Ｑスイッチ９と、ＥＯ−Ｑスイッチ８およびＡＯ−Ｑスイッチ９をそれぞれ駆動するＥＯ−Ｑスイッチドライバ１６およびＡＯ−Ｑスイッチドライバ１７と、ＥＯ−Ｑスイッチドライバ１６とＡＯ−Ｑスイッチドライバ１７とを切換スイッチ１８ａによって切り換えて動作させると共に、前記半導体レーザ６を動作させるコントローラ１８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 吐出対象物の欠陥部への吐出材の充填を可能にしようとするディスペンサ及び欠陥修正方法を提供する。
【解決手段】 カラーフィルタ基板の欠陥部を修正するためのカラー紫外線硬化樹脂４を収容する容器１と、該容器１の先端に取り付けられ前記カラー紫外線硬化樹脂４を前記欠陥部に吐出させる吐出針２と、前記容器１内のカラー紫外線硬化樹脂４に正圧を付与して該カラー紫外線硬化樹脂４を前記吐出針２から吐出させる吐出制御手段３とを備えるディスペンサであって、前記吐出針２は、加熱軟化させたガラスパイプを引き伸ばして針先を針本体部よりも細い形状に形成したものである。 （もっと読む）

【課題】結合レンズの一対によって１回に撮り込まれる被検査体の像における少なくとも２以上の検査部位を別々にCCDカメラ等によって撮像して得られたデータを比較することにより、簡便に欠陥を検知する。
【解決手段】被検査体に対向した対物レンズと該対物レンズの光軸上に配置された結像レンズと、該結合レンズの光軸上に配置され、この光軸を２つに分割するスプリッタと、該スプリッタによって分割された前記光軸上にそれぞれ配置された撮像手段を有する検査装置であって、この撮像手段の受光面と被検査体との光学的距離が互いに等しくなるように配置され、且つ、該撮像手段の受光面の光軸が前記分割された光軸と同軸でないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 欠陥部の修正作業が迅速、容易に行え、欠陥部の修正に使用する材料の無駄な消費や廃棄物の発生を少なくする。
【解決手段】 カラーフィルタ２の着色層２ａに、平面視で、着色層２ａの欠陥部Ｅを含んでそれより広い領域にわたって昇華性を有するマスキング剤ｆ２を塗布し、欠陥部Ｅを含む着色層領域のマスキング剤ｆ２をパルス発振レーザ光（第１のレーザ光）Ｌａを照射して除去した後に、該マスキング剤を除去された着色層除去領域Ｋに修正インクｆ１をインクジェット装置によって塗布し、この着色層除去領域Ｋに塗布された修正インクｆ１を連続発振レーザ光（第２のレーザ光）Ｌｂを照射して加熱、硬化させることにより、修正インクｆ１の成膜２ａ１を形成して欠陥部Ｅを修正すると共に、着色層２ａ上の残留マスキング剤ｆ２を加熱昇華させて着色層２ａから除去する。 （もっと読む）

【課題】 塗布処理の効率を低下させることなく吐出部材の乾燥を防止しようとする塗布装置を提供する。
【解決手段】 インクタンク３に貯留された修正インク７に正圧を作用して、該修正インク７を前記インクタンク３に取付けた塗布針８からカラーフィルタ１９に吐出する塗布装置１であって、前記塗布針８の外側面に接触させて設けられ、塗布針８内の前記修正インク７を冷却又は凍結及び加熱又は解凍させる冷却加熱手段５と、該冷却加熱手段５の駆動を制御する制御手段６とを備え、前記冷却加熱手段５の駆動により、前記修正インク７の吐出待機時に前記塗布針８内の修正インク７を冷却又は凍結させ、吐出時に該塗布針８内の修正インク７を加熱又は解凍するものである。 （もっと読む）