【課題】複数台の画像処理装置を用いて欠陥レビューないし欠陥分類を実行する欠陥レビュー装置において、１台の画像処理装置が故障しても欠陥レビューを継続可能な欠陥レビュー装置を実現する。
【解決手段】複数台の画像処理装置間を統括制御する画像処理制御部を設け、複数台の画像処理装置間で常に生存信号を送受信する。生存信号に何らかの障害が検出された場合（タイムアウトなど）、複数台の画像処理装置間で実行している画像処理について、画像処理制御部が画像処理を実行する画像処理装置の再割り当てを行う。
【効果】障害が発生しても欠陥レビュー装置の動作を継続させることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、上記の問題点を鑑み、材料やイオンビーム照射角度に依存しない加工をする手法を提供することを目的としている。
【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は、イオンビームを試料に照射して試料を加工する加工装置において、前記イオンビームに対し、試料を回転傾斜させる試料傾斜回転機構を備え、当該試料回転機構は、試料をイオンビームに対し回転させる回転軸と、当該回転軸に対して直行し、前記試料をイオンビームに対して傾斜させる傾斜軸を備え、前記試料の回転と傾斜を同時に行うことを特徴とする加工装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】分注機構により試料，試薬を反応容器に分注し、攪拌機構により攪拌した後、分光光度計により吸光度を測定する自動分析装置において、分析異常が発生したときの原因究明を容易にする。
【解決手段】所定量の試料を分注するサンプルプローブ，所定量の試薬を分注する試薬分注プローブ，該サンプルプローブ，該試薬分注プローブにより分注された試料と試薬を混合する反応容器，該反応容器中の混合液を攪拌する攪拌機構、を備えた自動分析装置において、分析結果を表示する表示画面に、サンプルプローブ，試薬プローブ，撹拌機構，反応容器の少なくともいずれかのボタンを表示し、該表示画面上に表示されたいずれかの分析結果を指定して、該ボタンを押下した場合に、サンプルプローブ，試薬プローブ，撹拌機構，反応容器を介して当該分析の結果に影響を与える可能性のある分析項目に関する情報を表示するように制御する。 （もっと読む）

【課題】分岐後のレーザ光のそれぞれについて、その加工箇所でレーザ光の特性を測定できるようにする。
【解決手段】第２スクライブ線Ｐ２及び第３スクライブ線Ｐ３の加工時には、その加工部から加工残渣６１が薄膜面から発生するので、この加工残渣が膜面へ再付着しないように、エアパージ・残渣吸引手段６０ａ〜６０ｄを用いて膜面側（ガラス基板１の裏面側）からエアパージすると共にその残渣を吸引除去している。レーザ光の状態を検査する際に、エアパージ・残渣吸引手段６０ａ〜６０ｄを退避移動させた後に、レーザ状態検査手段２８をそのエアパージ・残渣吸引手段６０ａ〜６０ｄの退避移動前の位置に移動させて、ワーク１の加工面に向かうレーザ光４１〜４４を観察してレーザ光４１〜４４の状態を検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】少なくとも２種類以上の電気的欠陥を１回の検査で従来よりも高い確率で捕捉可能な検査条件で検査を実行可能な荷電粒子線装置ないし荷電粒子線による検査方法を実現する。
【解決手段】被検査試料上の同一箇所を複数回走査し、一次荷電粒子ビーム走査時の光学条件あるいは出力される画像信号から画像を形成する際の画像形成条件を上記２種類以上の電気的欠陥を捕捉可能な画像を可能な条件に調整する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、自動分析装置本体の大きさや部品数を変えず、ユーザが分析したい複数の試料（検体）をいつでも設置可能な操作環境を提供する機能を目的としている。
【解決手段】試料を架設するサンプルディスクが２重以上の同心円構造であり、分析動作中に、それぞれのサンプルディスクに新たな試料が設置されたことを、検知した場合は、当該新たな試料が設置されたサンプルディスク側を駆動して分析を実行するように制御する制御機構を備えた自動分析装置。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィーの工程で必要とされるホットスポット検査において、広い観察面積を短時間で観察できる高解像度の検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】複数本の電子線１１８で試料１１９上を走査し、それぞれの電子線から放出される２次電子１２０を同一の検出器１１２で取り込むことで、ＳＥＭ画像は複数本の電子線間の相対距離に依存した、位置がずれた画像（ゴースト画像）となる。前記相対距離を調整し、画像処理部１０４で位置ずれを復元することで、画素サイズが大きくても高感度なホットスポット検査装置を実現することができ、広い面積を短時間で観察できる。 （もっと読む）

【課題】
コンクリート軌道表面の凹凸に影響され難くかつ段差等の軌道の急峻な位置変化に対して対応可能でかつ検測車両の走行状態で高低狂い、通り狂い等の測定を行うことができるコンクリート製軌道の軌道狂い測定方法および測定装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、検測車両の走行状態におけるコンクリート製軌道の軌道狂い測定において、距離検出器から得られるデジタル値の測定信号の測定値に対してコンクリート表面の凹凸を除去する幅を設定したメディアンフィルタ処理を行い、メディアンフィルタ処理により得られた測定値に基づいてモノレールの軌道狂い量の算出を行うものである。 （もっと読む）

【課題】２次元センサの画素サイズに合わせて、検出対象の核酸が固定化された微粒子を基板上に格子状に配列した核酸分析用反応デバイスを提供する。
【解決手段】本発明の核酸分析用反応デバイスは、基板１０１上に流路を形成する反応チャンバーを備え、基板１０１上で微粒子１０３に固定された核酸を検出する核酸分析用反応デバイスであって、基板１０１上に配列した微細構造体１０２によって検出対象の核酸が固定化された微粒子１０３が配置されている。 （もっと読む）

【課題】トップテーブルの小型化と、トップテーブル質量の軽量化を実現しつつ、かつ長尺の反射体を必要とせず真空試料室の小型化が可能な真空内処理装置ないし荷電粒子線装置を実現する。
【解決手段】測長に使用する一対の干渉計および反射体の両者が可動となるようステージを構成し、かつステージが持つ複数の移動軸のうち上記一対の干渉計および反射体によって測長が行われる方向とは交差する移動軸と平行な方向に対して、上記一対の干渉計および反射体が互いに対向する状態を保ったまま移動できるようにステージを構成する。 （もっと読む）