【課題】半導体の微細化、プロセスの複雑化に伴いプロセスのマージンは減り、プロセスの条件出しが難しくなっているため半導体の開発初期においてはウェーハ全面において良品チップが存在しない場合があり、定点検査を実行する場合において、比較検査のための適切な基準画像を撮像することができないという課題を解決する技術を提供する。
【解決手段】複数チップの定点検査画像を用いて平均化画像を生成し、定点位置に対応する回路デザインに関する情報を用いて平均化画像を評価し、平均化画像を基準画像とするか否かを決定する。 （もっと読む）

【課題】位相制御にとって最適な信号を用いる機能を備えたプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】第１の高周波電源４からの第１の高周波電圧が供給されるコイル状アンテナ６１と、ウエハ１２が載置され第２の高周波電源２１からの第２の高周波電圧が供給される電極１４と、第３の高周波電源２５からの第３の高周波電圧が供給されるファラデーシールド６２と、前記第２の高周波電圧と前記第３の高周波電圧の位相差を制御する位相制御器２９とを備え、真空容器１の内壁面のプラズマ中を伝播してくる高周波の電位を検出する電圧検出手段と、真空容器１内のプラズマの発光状態を検出するプラズマ発光検出手段５２とを具備し、前記電圧検出手段により検出された高周波電圧とプラズマ発光検出手段５２により検出されたプラズマ光の組み合わせである信号源を用いて、同一周波数である前記第２の高周波電圧および前記第３の高周波電圧の位相差を制御する。 （もっと読む）

【課題】
ムービングマグネット型のリニアモータ対を移動ステージに利用する場合、このリニアモータ対に挟まれる空間の磁場が可動子の移動に伴って大きく変動する。
【解決手段】
リニアモータの可動子３の中央面１９を基準として鏡面対称となるように、４Ｎ組（Ｎは自然数）の磁石ペア１２を配置する。極性は、可動子中央線１９で隣り合う極性が同じで、離れるに従ってＮ極とＳ極とが交互となるように磁石ペア１２を配列する。このようなリニアモータを2組並行に配置してリニアモータ対を形成し、このリニアモータ対を用いてステージを駆動することで、例えば電子顕微鏡等の磁場環境に与える影響の少ない移動ステージを実現した。 （もっと読む）

【課題】
複数本の二次電子ビーム調整を、効率良く実施することのできる半導体検査装置および欠陥検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
被検査対象物に複数の照射光を照射する照射光学系と、前記照射光学系により照射され、該被検査対象物から放出される複数の光を検出する検出光学系と、前記検出光学系で検出した複数の光に基づく信号の強度を比較する比較部と、前記比較部で比較された結果に基づき該複数の光の位置と前記検出光学系における該複数の光の検出位置とのずれ量を算出する補正量算出部と、該複数の光に基づく信号を処理して該被検査対象物の検査を行う処理部とを備える演算処理部と、を備え、前記検出光学系は、さらに、前記補正量算出部で算出されたずれ量に基づき前記照射光学系を調整する制御部を有することを特徴とする検査装置である。 （もっと読む）

【課題】処理の結果得られる形状の変動の少ないプラズマ処理装置またはプラズマ処理方法を提供する。
【解決手段】真空容器内部に配置された処理室と、この処理室の下部に配置されその上面に処理対象のウエハが載置される試料台と、前記処理室内部を排気して減圧する排気装置と、前記試料台の上方に配置されて前記処理室に処理用ガスを導入する導入孔とを備え、前記ウエハの上面に配置された膜構造を前記処理用ガスを用いて形成したプラズマによりエッチング処理するプラズマ処理装置であって、前記膜構造が基板上にレジスト膜とマスク膜とポリシリコン膜と絶縁膜とを有して構成されたものであって、前記ウエハを前記試料台上に載せて前記マスク膜の下方に配置されたポリシリコン膜をエッチングする前に前記処理室内にプラズマを形成してこの処理室内部の部材の表面にＳｉを成分として含む皮膜を被覆する工程を行う。 （もっと読む）

【課題】記録トラックが作りこまれている記録媒体の記録トラックの偏心を補正可能なクランプ機構を実現する。
【解決手段】
直径が変化可能なリング状部材４と、このリング状部材４と係合するガイド部材３と、上下方向に可動なクランプ２とを有し、ガイド部材３の外面に形成された傾斜面は、リング状部材４の内面に形成された傾斜面と係合し、クランプが上下方向に移動することにより、ガイド部材３を介してリング状部材４に押圧力を与え、これによりリング状部材４の径を拡大してディスクをクランプする。リング状部材４及びガイド部材３は、クランプ２に対して、径方向の位置が移動可能な構造とする。 （もっと読む）

【課題】高感度にＲＯＩ領域の欠陥発生頻度や特性尤度の効率的なモニタリングをする。
【解決手段】ステージの連続移動に同期して、マトリクス状に配置した複数の電子線をステージ移動方向に間引いて回路パターンに照射し、発生する二次電子等を取得し、同一領域で取得した画像を加算平均することで高速にしかも高ＳＮの画像を取得し、取得画像より回路パターンの欠陥を判定する。ステージ移動と垂直方向への移動時に隣接領域ではなく、間引いて画像取得することで、ＲＯＩ領域のみ、又は回路パターン全体の欠陥発生頻度や特性尤度を効率的にモニタリングする。 （もっと読む）

【課題】異物の発生を抑制するとともに処理ガスを被処理基板中心部から導入することにより、エッチングレートを向上する。
【解決手段】真空容器１０１、該真空容器内に配置され被処理材である試料を載置して保持する試料載置用電極１０２、アンテナコイルを備え、前記真空容器内に供給された処理ガスに前記アンテナコイルを介して高周波電界を供給してプラズマを生成し、生成されたプラズマを用いて前記試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、前記試料載置電極の試料載置面に対向して電界透過窓およびアンテナコイルを備え、前記電界透過窓は放射状に形成した複数の流路を備え、処理ガスを前記透過窓に形成した流路の外周側から供給して内周側から真空容器内に給気するとともに、前記試料載置電極の外周の前記真空容器内周側を通して排気する。 （もっと読む）

【課題】原子間力顕微鏡による検査時間（タクトタイム）を大幅に短縮化し、検査用探針の高さを一定に保持して磁気力顕微鏡、走査型ホールプローブ顕微鏡又は走査型磁気抵抗効果顕微鏡による検査を正確かつ高速に行なえるようにする。
【解決手段】磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置を算出するために、Ｘ軸，Ｙ軸それぞれ１ライン分に相当する領域の表面形状を原子間力顕微鏡を用いてスキャンすることによって、その傾き等を算出し、その算出結果に基づいて、磁気力顕微鏡による実効トラック幅の測定時における磁気ヘッドの浮上高さを決定するようにした。すなわち、磁気力顕微鏡のカンチレバー手段の磁性探針によるスキャン測定領域の半分以下の小さな領域を原子間力顕微鏡を用いた磁気ヘッドの記録部表面のスキャン測定領域として、原子間力顕微鏡による検査時間（タクトタイム）を大幅に短縮化できるようにした。 （もっと読む）

【課題】低温接合が可能な導電性粒子を含有した接着性樹脂による接合では大きな加圧力が必要になるため、従来の接合装置では脆弱な太陽電池セルが割れてしまう。
【解決手段】予め太陽電池セルを平坦に押し伸ばした後に、本圧着部の本圧着刃で加圧加熱することで、本圧着時に太陽電池セルに加わる衝撃を緩和する。 （もっと読む）