【課題】表示基板に接続されたＴＡＢとＰＣＢとの相対的な位置ずれを防ぐＦＰＤモジュールの組立装置を提供する。
【解決手段】ＦＰＤモジュールの組立装置は、ＰＣＢ搬送部８４と、予熱用ヒータ９６Ａ，９６Ｂと、カメラ８５Ａ，８５Ｂと、本圧着部７６とを備える。ＰＣＢ搬送部８４は、ＰＣＢ１０３を保持して搬送する。予熱用ヒータ９６Ａ，９６Ｂは、ＰＣＢ搬送部８４に保持されたＰＣＢ１０３に接触してＰＣＢ１０３の予熱を行う。カメラ８５Ａ，８５Ｂは、ヒータによって予熱されたＰＣＢ１０３の位置を検出する。本圧着部７６は、カメラ８５Ａ，８５Ｂの検出結果に基づいてＰＣＢ搬送部８４により搬送されたＰＣＢ１０３と表示基板１０１に接続されたＴＡＢ１０２とを熱圧着する。 （もっと読む）

【課題】基板を汚染することなく非接触で保持する基板保持装置では、基板の自重によるたわみが発生したり、使用条件の中で回転動作の風圧による基板のたわみが発生するために、各種処理の障害になっている。
【解決手段】基板の上面を所望の面高さに保持したり、あるいは平面度を保持したりするために、基板上面に基板面の高さを測る非接触の変位センサを設置し、また、載せ台上面には複数の溝と障壁を設け、基板と乗せ台の間にエアーを供給してその圧力によって基板の変位を可能として、さらに、変位センサの出力をフィードバックすることで基板を任意の凸，凹形状に変形したり、平面化することを可能とする構造を持つ基板搭載装置。 （もっと読む）

【課題】FIB加工における加工効率を低下させずにリアルタイムでSEM観察を可能にする技術を提供する。
【解決手段】本発明では、FIBカラムとSEMカラムを備える複合荷電粒子線装置に、電子ビームを試料に照射したときに発生する後方散乱電子が試料室の構造物に衝突することによって放出される二次電子（本明細書では、三次電子という）を検出するSE3検出器を設けている。そして、この三次電子を用いてSEM像を生成し、そのSEM像によって、イオンビームによる加工の状態を観察することが可能なようになっている。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、本発明の課題は、離型処理が不要で、かつ繰り返し転写におけるパターンの転写精度が劣化しない微細構造体層を有するソフトスタンパである微細パターン転写用スタンパを提供することにある。
【解決手段】本発明は、支持基材１上に微細構造体層２を有する微細パターン転写用スタンパ３において、前記微細構造体層２は、複数の重合性官能基を有するシルセスキオキサン誘導体と、複数の重合性官能基を有する一種又は複数種のモノマ成分と、を主に含む樹脂組成物の重合体であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板上に遺伝子断片や抗体を固定する場合に、非特異吸着を抑制し、固定率を上げた、反応基板及びそれを備えた分析装置を提供する。
【解決手段】遺伝子断片の塩基配列を、酵素を用いた塩基伸長反応を用いて解析する分析装置に用いる反応基板であり、遺伝子断片が固定される磁性体の支持基体１０２と、非磁性体の基台１０１とを備え、非磁性体の基台１０１上に磁性体の支持基体１０２を配置する。この構成により、非特異吸着を抑制でき遺伝子断片の固定率を上げることができる。 （もっと読む）

【課題】静電吸着を用いたプラズマ処理装置において、試料の反り有無による吸着力の低下と処理する試料と下部電極の熱伝達に用いるヘリウムガスのもれを改善する手段を得る。
【解決手段】プラズマ処理装置において、プラズマ処理室内の電極表面の外周部に、内側よりも高く、静電吸着力を維持できる段差を設けることで、静電吸着力低下の抑制と電極の熱伝達に用いるヘリウムガスのもれを低減する電極を備えた。また、プラズマ処理を実施する前に試料裏面を窒素ガスブローもしくは水洗洗浄で試料の裏面に付いたゴミを除去することで、電極の熱伝達に用いるヘリウムガスのもれを低減する過程を設けた。 （もっと読む）

【課題】
ディスクなどの基板を洗浄する装置において、洗浄に要する純水の量を少なくし、且つ、装置を小型化して装置全体の床面積を小さくする。
【解決手段】
基板の両面に純水を供給しながらブラシを回転させて基板の両面をこすって洗浄するスクラブ洗浄ユニットと、スクラブ洗浄処理ユニットで洗浄処理された基板の表面を純水で洗浄するリンスユニットと、リンスユニットで洗浄処理された基板の表面を乾燥させる乾燥ユニットとを備えた洗浄装置において、スクラブ洗浄ユニットは、基板の両面に供給する純水に超音波を印加する超音波印加手段を有し、この超音波印加手段で超音波を印加した純水を基板の両面に供給しながらブラシを回転させて基板の両面をこすって洗浄するようにした。 （もっと読む）

【課題】試料の観察画像の回転を精度よく検出することのできる画像処理技術を提供する。
【解決手段】本発明に係る画像処理装置は、試料の測定箇所を含む広角画像データを介して、測定画像データと基準画像データの間の回転ずれを間接的に補正する。 （もっと読む）

【課題】ＡＣＦを電子部品の個体差に応じた長さにすることができ、電子部品に高精度に貼り付けることができるフラットパネルディスプレイの実装装置を提供する。
【解決手段】ＦＰＤモジュールの組立装置は、ＴＡＢの端部を撮像する撮像カメラ２６６と、切断位置決定部と、第１のカッター刃２６４Ａおよび第２のカッター刃２６４Ｂとを備えている。切断位置決定部は、撮像カメラ２６６の撮像結果に基づいてＡＣＦ３ａの切断位置を決定し、第１のカッター刃２６４Ａおよび第２のカッター刃２６４Ｂが決定された切断位置に応じて駆動され、ＡＣＦ３ａを切断する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ表面や表面近傍に存在する異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する異方性を有する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】光源１１からの光はビームスプリッタ１２で、略等しい仰角を有し、互いに略直交する２つの方位角からの２つの照明ビーム２１、２２となり、半導体ウェハ１００に照射され、照明スポット３、４となる。照明光２１、２２による散乱・回折・反射光の和を検出するとウェハ１００自身又はそこに存在する異物や欠陥が照明方向に関する異方性の影響を解消できる。これにより、異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能となる。 （もっと読む）