【課題】照明された試料を検出する際の顕微鏡の分解能を向上させる方法、およびこの方法を実施するための顕微鏡を提供すること。
【解決手段】本方法では、第１の位置において、照明パターン（Ｉ）が、好ましくはほぼ顕微鏡の達成可能な光学的分解能程度またはそれ以上の分解能で試料（Ｐ）上に形成され、検出と照明パターン（Ｉ）との間で少なくとも１回、顕微鏡の分解能限界より小さいステップで、有利には照明方向に対して垂直に、照明パターンの第１の位置から少なくとも１つの第２の位置への相対的変位が試料上で行われ、第１の位置でも第２の位置でも検出および検出信号の記憶が行われる。 （もっと読む）

検出光路と、少なくとも１つの第１の結像光学系（２、５）とを備えるレーザ走査顕微鏡又はスペクトル検出器であって、第１の結像光学系が、スペクトル分散されたプローブ光をフーリエ面に結像し、それにより、フーリエ面で、プローブ光の個々のスペクトル成分が空間的に互いに分離され、フーリエ面にはマイクロミラーアレイ（４）が設けられ、マイクロミラーの制御により、検出光線のスペクトル選択性偏向が行われ、検出器光線の有用光成分が検出器に達する、レーザ走査顕微鏡又はスペクトル検出器において、スペクトル選択を向上するために、少なくとも１つの第２のマイクロミラーアレイ（１５）が提供され、第２のマイクロミラーアレイへの第１のマイクロミラーアレイの１対１結像が提供されるか、または同じマイクロミラーアレイを光が少なくとも２回通過し、光学手段を通る第１の通過と第２の通過の間の光路内で、少なくともマイクロミラーアレイ上での第１の通過時と第２の通過時の光線の空間的なずれが生成される、レーザ走査顕微鏡又はスペクトル検出器。
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本発明は、ａ）それぞれ顕微鏡対物レンズを介してＴＩＲＦ法により試料が照明され、ｂ）構造の種々の移動位置で試料が構造化照明され、少なくとも１つの試料領域の画像をそれぞれ形成するために、ａ）及びｂ）による方法の試料光が検出され、ａ）及びｂ）にしたがって形成された試料画像が互いに計算され、好ましくは乗算され、新たな試料画像を形成するために結果が格納される、顕微鏡画像を形成するための方法および顕微鏡に関する。
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異なった露出時間または励起強度で単一画像を複数回撮影することで、暗い画像領域も明るい画像領域も良好なＳ／Ｒ比で別々に測定でき、拡張されたダイナミック・レンジを持つ全体画像へと計算することができる。しかしながら、連続撮影は複雑であり時間がかかる。本発明は、わずかな手間で短い時間内に拡張ダイナミック・レンジの画像を生成することを可能にする。この目的で、全体画像（２）を作成するために、異なった試料領域（Ｓ、Ｔ）について複数の評価方法（ＳＰＣ１、ＡＤＣ、２Ｄ−ＰＣ）の１つが、結果信号の１つに依存しておよび／または複数の並行した評価チャネルの１つからの１つの中間結果信号に依存して選択される。さまざまな信号評価から個々の領域ごとに選択をすることは、該当する領域のために最適なダイナミック・レンジを持つ信号評価を使用することを可能にする。これにより、結果としての画像は、個々の画素のダイナミック・レンジの集合和から生じる、拡張されたダイナミック・レンジを得る。
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本発明は試料領域（Ｐ）を照明する光のシートを生成する照明装置（１９）を含む顕微鏡に関し、シートは照明ビーム経路（３５）の照明軸（Ｘ）方向及び照明軸に対し直角に位置する横軸（Ｙ）方向に略平面状に延在する。顕微鏡は試料領域からの放射光を検出ビーム経路の検出軸（Ｚ）に沿って検出する検出装置（１）を備え、照明軸と検出軸、並びに横軸と検出軸は互いに対しゼロでない角度にある。照明装置は、照明光を追加的な照明ビーム経路（３６）へ偏向させ追加的な光のシートを生成する手段と、照明ビーム経路間で照明光を切替える切替え手段とを含み、２つの光のシートは同じ照明軸上の同領域を逆方向から照明する。切替え手段は１０ｍｓ未満の切替え時間を有する素早く切替可能な切替え素子を含み、面検出器の所定の積分時間及び切替え素子の切替え時間は、試料領域が積分時間中に各方向から少なくとも一度照明軸上で照明されるよう同期されている。
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本発明は試料領域（Ｐ）を照明する光のシートを生成する照明装置（１９）を含む顕微鏡に関し、シートは照明ビーム経路の照明軸（Ｘ）方向及び照明軸に対し直角に位置する横軸（Ｙ）方向に略平面状に延在している。顕微鏡は試料領域からの放射光を検出ビーム経路の検出軸（Ｚ）に沿って検出する検出装置（１）を更に備え、照明軸と検出軸、並びに横軸と検出軸は互いに対しゼロでない角度に向いており、検出装置は、検出ビーム経路内に検出レンズ系（２）をさらに含む。本発明による顕微鏡の検出装置（１）は、光学検出素子をさらに含み、光学検出素子は、検出レンズ系（２）のフロントレンズから空間的に離れており、検出装置とは独立に調節することができ、光学検出素子は、検出イメージフィールドのサイズを連続的に変化させること、および試料領域（Ｐ）における検出の焦点面を連続的に移動させることのうちの少なくとも一方のために用いられる。
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本発明は試料領域（Ｐ）を照明する光のシートを生成する照明装置（１９）を含む顕微鏡に関し、シートは照明ビーム経路の照明軸（Ｘ）方向及び照明軸に対し直角に位置する横軸（Ｙ）方向に略平面状に延在している。顕微鏡は試料領域からの放射光を検出ビーム経路の検出軸（Ｚ）に沿って検出する検出装置（１）を更に備え、照明軸と検出軸、並びに横軸と検出軸は互いに対しゼロでない角度に向いている。検出装置は、検出ビーム経路内に配置された検出レンズ系（２）と、検出ビーム経路を２つのビームサブ経路（１４、１５）に分割する分割手段とを含み、空間分解面検出器（４）又は（４’）がそれぞれのビームサブ経路内に配置され、面検出器に検出すべき光を結像させることができ、分割手段は、空間分解面検出器に対して無限遠領域（１２）に近接してビーム経路内に配置された少なくとも１つのダイクロイックビームスプリッタ（１３、４０）を含む。
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本発明は試料領域（Ｐ）を照明する光のシートを生成する照明装置（１９）を含む顕微鏡に関し、シートは照明ビーム経路の照明軸（Ｘ）方向及び照明軸に対し直角に位置する横軸（Ｙ）方向に略平面状に延在している。顕微鏡は試料領域からの放射光を検出ビーム経路の検出軸（Ｚ）に沿って検出する検出装置（１）を更に備え、照明軸と検出軸、並びに横軸と検出軸は互いに対しゼロでない角度に向いている。照明装置は、回転対称光ビームを生成する手段と、所定の時間間隔で横軸に沿って試料領域を光シートスキャナのように走査する走査手段とを有する第１の光のシート生成手段を含み、光のシートを生成する少なくとも１つの非点収差レンズを含む第１の非点収差的に作用する光学素子（２７）を有する第２の光のシート生成手段を含む。顕微鏡は光のシートを生成するために第１又は第２の光のシート生成手段の何れか又は両方を共に選択する選択要素を更に有する。
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【課題】検出器装置の感度を向上させることを目的として、落下光を検出器の受光領域上で焦点を結ばせるために、球状の素子を備えたレンズアレイの形態の光偏向素子を用いることが知られている。このようなレンズアレイの製造は、特に製造数が少ない場合、製造コストが高い。新規の光偏向素子を用いることによって、検出器装置の感度の向上を容易に、かつ費用対効果が高い状態で実現する。
【解決手段】本検出器装置は、落下光が検出器の受光領域３０４上で偏向して角度を変える光入射面３０５ｂを有する光偏向素子３０５を備える。光偏向素子の光入射面３０５ｂは互いに傾斜しており、平坦な面として形成されている。本検出器装置は、顕微鏡、特にレーザ走査型顕微鏡において、特に、試料から放出される光を検出するのに適している。 （もっと読む）

広視野顕微鏡では、これまでは低い光強度しか有さない比較的弱い光源を使用していた。その際、瞳平面内への合焦は、光源の出力を非常に大きな試料領域へと分散させるので、必然的に試料内での光強度を低くする。しかしながら、非常に高い強度を必要とする広視野技術もあり、例えばＰＡＬ顕微鏡検査である。本発明は、試料内の照明光強度を少しの手間で柔軟に調整できるようにする。このために、光源としてレーザ（２）が使用され、かつ照明用ビーム経路内に、中間画像平面内での照明光のビーム断面の調整を変えられる可変光学系（１０）が配置され、その際、ビーム断面が異なっても照明光の発散度は同じである。これにより、顕微鏡の視野の大きさを柔軟に変えることができる。こうして試料（５）内のレーザ照明光の強度を、大きな変域内で変化させることができる。
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