検査試料の所定の深度にある画像エリアの画像を生成するための顕微鏡検査方法であって、それぞれ画像エリアの一部を、試料との相互作用により試料放射を発生させる合焦した照明用光線束で照明する複数の照明工程と、発生した試料放射を検出する検出工程と、検出した試料放射を基に画像を生成する評価工程とを含む方法が提供される。各照明工程中に第１および第２の検出工程を実施し、その第１の検出工程では焦点内および焦点外で発生した試料放射を検出し、第２の検出工程では、焦点内で発生した第１の検出工程より少ない割合の試料放射および焦点外で発生した試料放射を検出し、かつ評価工程において、第１の検出工程で検出した試料放射の焦点外の割合を減らすために、第２の検出工程で検出した試料放射を利用する。
（もっと読む）

位相が時間的に変化するパターンで対象物を照明可能な照明モジュール（１）と、パターンの位相変化中に対象物の複数の記録を実施する記録モジュール（４）と、記録から画像を生成する処理モジュール（５）とを備えた、対象物の画像を生成する装置が提供され、その際、照明モジュール（１）が、光ビーム（Ｓ１）を対象物の上で移動させ、ビームがスキャンしながらパターンを生じさせるように光ビームの強度を移動に同期して変調させる。
（もっと読む）

所定の測定時間の間、試料の一試料領域を、測定時間中位相が時間的に変化するパターンで照明し、それによって、相応に時間的に変化する位相が付加された試料光を発生させる照明モジュール（１）と、複数の記録ピクセル（１２）を有し、試料領域を記録する位置分解検出領域（８）、記録ピクセル（１２）と結合可能な２つの評価チャネル（１３、１４）、および両方の評価チャネル（１３、１４）と結合された評価ユニット（２５）を備える検出モジュール（４）と、測定時間の間、各記録ピクセルを、検出された試料光の位相と時間的に同期して、両方の評価チャネル（１３、１４）と交互に結合させ、それにより、検出された試料光を、互いに位相のずれた２つの成分に分割し、両方の評価チャネルに供給する制御ユニットとを備えており、その際、評価チャネルに供給された成分に基づいて、評価ユニットが試料領域の光学的断面画像を算出する、試料を深さ分解して光学的に検出するための装置が提供される。
（もっと読む）

【課題】広い温度範囲で適用可能な顕微鏡対物レンズを提供すること。
【解決手段】前面光学素子（８）、前面光学素子（８）から離間してかつ互いに離間して配置された複数の光学素子、ならびに調整ユニット（１１、１２）を備える顕微鏡対物レンズ（３）であって、対物レンズ（３）の焦点位置が前面素子（８）に対して光軸（ＯＡ）の方向に移動するようにおよび／または対物レンズ（３）の温度誘起による結像誤差が補償されるように、前記光学素子の少なくとも１つを、調整ユニット（１１、１２）によって光軸（０Ａ）に沿って移動させることができる顕微鏡対物レンズが提供される。 （もっと読む）

【課題】広い温度範囲で適用可能な顕微鏡対物レンズを提供すること。
【解決手段】
検査対象物（７）に供給源（２）からの照明放射が送られる際に通る照明ビーム経路と、照明ビーム経路の少なくとも一部を囲む部分検出ビーム経路とを備える対物レンズ（３）を備える顕微鏡対物レンズシステムであって、部分検出ビーム経路は、照明ビーム経路と共に、試料（７）から来る被検出放射が検出器（６）に向けて案内される際に通る検出ビーム経路を形成する顕微鏡対物レンズシステムが提供される。 （もっと読む）

ルミネセンス顕微鏡検査方法が記載され、この方法において、特定のルミネセンス放射（Ｆ）を放出させるための励起用放射（Ａ）によって試料（２４）を励起し、その際、ルミネセンスを発する試料（２４）は、励起用放射出力を上昇させることにより、励起用放射出力の閾値（１９）にあたる最大値（１８）まで励起性が上昇した第１のルミネセンス状態（５）から、試料（２４）の励起性が第１の状態（５）比べて低減された第２のルミネセンス状態（６）に移行可能であり、その際、試料（２４）は、閾値（１９）より高い励起用放射出力を照射することによって第２の状態（６）に移行可能であり、この試料（２４）は、少なくとも１つの閾値（１９）より高い出力極大を有する励起用放射分布で、励起用放射（Ａ）の照射が行われることによって、ある部分領域では第１の状態（５）に移され、隣接する部分領域では第２の状態（６）に移され、ルミネッセンスを発する試料（２４）の画像は、第１の状態（５）にある試料領域および第２の状態（６）にある試料領域を含んでおり、それにより、画像が、励起用放射分布より高い空間解像度を有するようになる。さらに走査型レーザ顕微鏡が提供され、この顕微鏡は、照明用放射線源（１０５）から放出された照明用放射線経路（Ｂ）内の照明用放射を試料（１０３）に向けるビーム・スプリッタ（１１３）を備えており、ビーム・スプリッタ（１１３）は、試料（１０３）で鏡面反射された照明用放射を検出器機構（１０４）へは通過させず、そのために照明用放射線経路（Ｂ）の瞳内に配置されており、かつビーム・スプリッタ面（１２２）上の、光軸（ＯＡ）の突破点（１２５）を中心とする円上にある少なくとも３つの点（１２３ａ〜ｄ）で照明用放射のためにミラー・コーティングされたビーム・スプリッタ面（１２２）を有することによって、部分的にミラー・コーティングされており、これにより、試料（１１３）一面に周期的に分布する照明スポット（１２６）の形の干渉パターン（１２８）が試料（１０３）内に生じる。
（もっと読む）

【課題】照明光および／または試料光をそのスペクトル構成および／または強度に関して調節可能に変化させるための方法および装置を提供する。
【解決手段】本方法および装置では、第１偏光手段（Ｐｏｌ１）によって、異なる偏光の放射成分への空間的分離が実施され、第１分散手段（Ｄｉｓｐ１）によって、少なくとも１つの放射成分のスペクトル・空間的分割が行われ、スペクトル・空間的に分割された放射成分の少なくとも１つの部分の偏光状態が変えられ、照明光および／または検出光の反射が実施される。 （もっと読む）

【課題】スキャナの偏向制限を誤って設定しても、スキャナが過電流によって過熱したり、そのため破損したりすることを防止する。
【解決手段】レーザ走査型顕微鏡、好ましくはライン走査機能を持つ顕微鏡において、少なくとも１つのガルバノメータ・スキャナ５１を用いて、照射光をサンプルに沿って案内する顕微鏡であって、スキャナが機械的な偏向制限機能を備え、電流増加を測定する手段５２，５４が設けられ、スキャナ５１の電圧が、閾値に達した場合、閾値以下となるまでスイッチ・オフされ、有利には、スキャナのスイッチ・オン／オフを表示する光学的および／または音響的表示装置が設けられる顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】試料において励起および／または逆散乱および／または反射される、１つまたは複数の波長を含む光放射をさまざまな光出口に向けて制御するための装置を提供する。
【解決手段】光放射の互いに異なる偏光された成分への分離が行われ、励起放射および／または検出放射の成分は、好ましくは通常にまたは異常に屈折率を変える、好ましくは複屈折の、好ましくは音響または電気光学的媒体を用いることによってその偏光に関して影響を受ける。 （もっと読む）

【課題】連続スキャン・モードでサンプルを撮影するとき、そのサンプルが受ける負荷を軽減すること。
【解決手段】走査しつつサンプル上を案内される照射光分配機能を持ち、走査から生じて検出されるサンプル光から該サンプルの像が撮影されるレーザ走査型顕微鏡であって、該サンプルが毎秒画像Ｘ枚のフレーム率で走査され、機器パラメータ設定モードでは、走査速度が等しい状態で、好ましくはサンプル保護のため、スキャナ１８による走査時のフレーム率を小さくしてＸ，Ｙ＞１の比率Ｘ／Ｙとするレーザ走査型顕微鏡。 （もっと読む）