【課題】ルツボに起因する不純物汚染を招くことなく、かつ、ルツボ内に充填された単結晶原料融液の液面の振動を効果的に抑制することができ、シリコン等の半導体単結晶を歩留まりよく引き上げるのに好適なシリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】内表面側に透明シリカガラス層を有し、その外周に閉気孔を含む不透明シリカガラス層を有するシリカガラスルツボにおいて、厚さ方向の断面においてルツボ内表面から５００μｍの部分に、波長２４２ｎｍの励起光を照射したときのピーク波長３９０ｎｍの蛍光強度が、ローダミンＢの１０ｐｐｂエタノール溶液の波長５６０ｎｍにおける基準蛍光強度の０．１５以下であるような構成とする。 （もっと読む）

【課題】巻き付けドラムの形状を改良し、バーナで加熱されるガラス管の温度を均一にして、自動的にガラス管を均一な螺旋形状に加工することができるガラス管螺旋加工装置を提供する。
【解決手段】本ガラス管螺旋加工装置は、送りローラ機構により送られたガラス管を加熱する加熱手段と、加熱されて可塑性が与えられたガラス管が巻き付けられる回転巻き付けドラムを有し、この巻き付けドラムの表面にはガラス管が巻き付けられて収容され、断面がＶ字形状をなし、このＶ字形状の底部に溝空間が設けられた螺旋溝と、この螺旋溝を周方向に分割するように巻き付けドラムの回転軸方向に所定に間隔で複数条設けられた縦溝を設け、ガラス管を巻き付けドラムに巻き付けながら、巻き付けドラムを軸方向に移動して、ガラス管を螺旋加工する。 （もっと読む）

【課題】 ＣＺ法によるシリコン単結晶の引き上げ育成において、原料シリコン充填による石英ルツボの損傷を簡便に防止する方法を提供する。
【解決手段】 単結晶引き上げ用の原料シリコン１として、単結晶シリコン１ａを石英ルツボ１３ａの中央部領域に配置させ、この単結晶シリコン１ａを取り囲むように多結晶シリコン１ｂを石英ルツボ１３ａに充填する。ここで、原料シリコン１が石英ルツボ１３ａの中央部で盛り上がるように充填する。そして、単結晶シリコン１ａは、石英ルツボ１３ａの半径をｒとすると、石英ルツボ１３ａの円筒の中心軸から１／２×ｒの距離内に配置すると好適である。上記単結晶シリコン１ａおよび多結晶シリコン１ｂは、例えば大きさが数センチから数十センチの多数の破砕物あるいはロッド片で成ることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ルツボへの原料シリコン充填工程において、原料シリコンを収容するホッパーのバルブを吊下げるワイヤが切断されても、それに伴う諸部材のルツボへの落下を防止し、作業を中断させずに作業効率を向上することのできる単結晶引上装置を提供する。
【解決手段】ルツボへ原料シリコンＬを充填する充填手段を具備する単結晶引上装置において、充填手段は、原料シリコンＬを収容すると共に、底部に開口部が形成され、チャンバ内に係止されるホッパー本体１４と、開口部に対して開閉自在に形成され、開口部を開くことにより、ホッパー本体１４内の原料シリコンＬを下方のルツボに放出させるバルブ１７と、バルブ１７を上下動可能に吊下げる第一のワイヤ１９と、第一のワイヤ１９よりも所定寸法長く形成されると共に、第一のワイヤ１９の両端が夫々接続される箇所に、夫々の端部が接続される第二のワイヤ２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で小型かつメンテナンスが容易で維持コストを低減でき、セラミックス部材の表面を高純度に洗浄できるセラミックス部材の洗浄装置を提供する。
【解決手段】本セラミックス部材の洗浄装置は、周囲に洗浄液を噴射するノズルが複数設けられた洗浄槽と、この洗浄槽内に昇降自由に収容され、洗浄されるセラミックス部材が載置される載置台と、この載置台を支持しかつ、昇降させる昇降機構を備え、この昇降機構によりＳｉＣ膜被覆部材を昇降させながらノズルから噴射する洗浄液をセラミックス部材の表面全域に噴き付けることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ＣＺ法によるシリコン単結晶の引上げ育成において、ルツボ部材の損傷および脱ガスを低減させ、引上げ作業効率の向上を容易にする。
【解決手段】 カーボンルツボ１４は、底部１、その外周縁から上方に延出する円筒状の直胴部２から成る。底部１の中心部に円形の開口部１ａ、底部１の下面に環状出っ張り部１ｂが形成される。環状出っ張り部１ｂは、第１のテーパ周面３、平坦周面４、第２のテーパ周面５を有している。このカーボンルツボ１４は分割線６により分割された複数の分割片７から成る。そして、ルツボ受け皿１５はカーボン製の円盤体である。ルツボ受け皿１５の上面に突起部８が設けられ、その外周側に環状窪み部９が設けられる。環状窪み部９は、第１のテーパ周面３に接するテーパ周面、第２のテーパ周面５に当接する傾斜受け面１０を有する。 （もっと読む）

【課題】細胞等の初期付着性に優れ、かつ、十分な機械的強度を有し、骨親和性および骨誘導性に優れた多孔質構造を有するリン酸カルシウム系骨補填材を提供する。
【解決手段】β‐リン酸三カルシウムの多孔質球状粒子を骨格とした多孔体表面の少なくとも一部にβ‐リン酸三カルシウムの針状粒子が接しており、前記多孔体は、球状の気孔が全体にわたって連通した多孔質構造を有し、気孔率が６５％以上８５％以下、平均気孔径が１５０μｍ以上３００μｍ以下、各気孔間の連通部の平均孔径が３０μｍ以上１００μｍ以下である骨補填材を用いる。 （もっと読む）

【課題】チョクラルスキー法によってルツボからシリコン単結晶を引上げる単結晶引上装置において、育成する単結晶が大口径であっても、単結晶中のカーボン濃度を低減することのできる単結晶引上装置及び単結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】ルツボ３の上方からルツボ内に不活性ガスを供給するガス供給手段１３、１４、１７と、ルツボ内を通過した不活性ガスを炉体外に排気する排気手段１８、１９と、単結晶Ｃの周囲を包囲するよう上部と下部が開口形成され、単結晶Ｃに対する輻射熱を遮蔽する輻射シールド６とを備え、輻射シールド６は、ルツボ３との間に隙間Ｌを形成すると共に、隙間Ｌの最小寸法がルツボ内の溶融液面面積の１０％以上３５％以下となるよう配置され、ガス供給手段１３、１４、１７によりルツボ３内に供給された不活性ガスは、隙間Ｌを経由して排気手段１８、１９により排気される。 （もっと読む）

【課題】チョクラルスキー法によるシリコン単結晶引上げにおいて、ネッキング工程での転位の導入を抑制し、無転位化率の向上を図り、大口径かつ高重量の無転位シリコン単結晶インゴットの生産性を向上させることができるシリコン種結晶を提供し、また、大口径かつ高重量の無転位シリコン単結晶インゴットの生産性を向上させることができるシリコン単結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】バルク微小欠陥密度が１×１０⁹／ｃｍ³以上であるシリコン種結晶を用いて、原料シリコン融液に前記種結晶を着液させ、ネック径５ｍｍ以上７ｍｍ以下、ネック長５０ｍｍ以下のネック部を形成した後、シリコン単結晶を引き上げる。 （もっと読む）

【課題】基板の片面を研磨する片面研磨装置において、平滑性に優れ、欠陥の無い基板を得ることができ、且つ研磨後の基板を装置から容易に取り出すことのできる片面研磨装置を提供する。
【解決手段】基板を下方に保持する保持定盤１と、上面に研磨布８を有する研磨定盤９とを具備し、前記保持定盤１に保持された基板Ｇを前記研磨布８に圧接しつつ、基板Ｇを回転させて該基板Ｇの研磨処理を行なう片面研磨装置１００であって、前記保持定盤１は、定盤本体３と、前記定盤本体３の下方に平坦状態で支持された弾性を有するプレート４と、前記プレート４の下面に貼着され、基板Ｇを吸着する吸着シート６とを備える。 （もっと読む）