本発明は、スクロール型圧送機構体を有するスクロール型圧縮機であって、スクロール型圧送機構体は、周回スクロールプレートから固定スクロールに向かって軸方向に延びる周回スクロール壁を備えた周回スクロール及び固定スクロールプレートから周回スクロールに向かって軸方向に延びる固定スクロール壁を備えた固定スクロールを有する。スクロール型圧縮機は、偏心シャフト部分を備えた軸方向に延びる駆動シャフトを有し、偏心シャフト部分の回転により、固定スクロールに対し相対的に周回運動が周回スクロールに与えられて流体が圧送機構体の入口から出口に圧送されるようになっている。周回及び固定スクロール壁のうちの一方の軸方向端部は、スクロール壁の軸方向端部と、対向関係にあるスクロールのスクロールプレートとの間を封止するために入口から出口までスクロール壁に沿って直列に配置された第１の封止装置及び第２の封止装置を有し、第１の封止装置は、第１の封止装置に特有の封止要件に従って選択された第１の封止特性を有し、第２の封止装置は、第２の封止装置に特有の封止要件に従って選択された第２の封止特性を有し、第１の封止特性は、第２の封止特性とは異なる。
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本発明は、２つのスクロール（２０，２２）を有するスクロールポンプ（１０）に関し、スクロール（２０，２２）は、スクロールの相対的周回運動時に流体を入口（２４）から出口（２６）に圧送するよう協働可能である。各スクロールは、スクロールベース（３０，３６）を有し、螺旋スクロール壁（２８，３４）がこのスクロールベースから対向したスクロールのベースに向かって全体として軸方向に延びている。ポンプは、スクロール壁の一方又は両方の軸方向端部を含む先端部シール構造体を有し、この軸方向端部は、一方又は両方のスクロール壁と対向スクロールのスクロールベースとの間で一方又は両方のスクロール壁を横切る圧送流体の通過に抵抗するよう先端部シール（５０８）を位置決めする。先端部シール構造体は、入口と出口との間で一方又は両方のスクロールの第１の螺旋領域（５０７）に沿って対向スクロールのスクロールベースに向かう先端部シールの軸方向運動を制限する。
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本発明は、２つのスクロール（２０，２２）を有するスクロール型ポンプ（１０）に関し、２つのスクロールは、スクロールの相対周回運動時に流体を入口から出口に圧送するよう同時に作動可能である。各スクロール（２０，２２）は、スクロールベース（３０，３６）を有し、スクロール壁（２８，３４）がスクロールベースから、対向したスクロールのベースに向かって全体として軸方向に延びている。スクロール壁の一方又は各々の少なくとも第１の部分の軸方向端面（２９，３５）には複数個のポケット（３８）が形成され、ポケットは、スクロール壁の高圧側からスクロール壁の低圧側への流体の漏れを分断するために第１の部分に沿って分布して設けられている。
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スクロール圧縮機は、それぞれのスクロール・プレート（４２、４８）とそれぞれのスクロール壁（４４、５０）とを有する２つのスクロール（４０、４６）を備える。スクロール壁は、スクロール同士が相対軌道運動したときに、ある体積（５２、５４）の気体がスクロール間に閉じ込められて入口（３１）から出口（３３）にポンプ輸送されるように噛み合っている。入口と出口との間の流路（５６）の第１の部分（６２）に沿ったスクロール・プレート間の閉じ込め体積の軸方向の大きさ（Ａ）は、流路の第２の部分（６４）に沿った閉じ込め体積の軸方向の大きさ（Ｂ）より小さく、かつ第１の部分は、流路に沿って第２の部分より入口に近い。 （もっと読む）

本発明は、ステータに対して回転可能に軸線シャフトに取り付けられた全体として円板状のロータを有する再生式ポンプ機構を備えるポンプを提供する。ロータは、各々に一連の異形凹部が同心円の状態で形成された第１及び第２の表面を有し、ステータの表面に形成されていて、ロータの第１又は第２の表面のうちの一方に向いたステータチャネルが京成されている。各同心円は、ポンプの入口と出口との間に延びる気体流路区分を形成するようにステータチャネルの一部と整列し、ロータは、流路区分を小区分に分割し、気体が出口に向けて流れると同時に小区分、チャネル又はロータ側に沿って流れるようになっている。この結果、圧送される気体は、ロータの両面に沿って平行に流れる。従って、この構成は、ロータの両側の気体圧力をほぼ均一又は均等にすることができる。
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再生式ポンプ輸送機構体を有する真空ポンプに用いられるのに適した真空ポンプロータが開示される。ロータは、全体として円板状の形態を有し、ロータは、真空ポンプのステータに対して回転可能に軸方向シャフトに取り付け可能である。ロータは、ロータ特徴部が設けられた互いに反対側の第１及び第２の表面を有し、各ロータ特徴部は、ポンプロータとステータとの間に形成されていて、気体を互いに反対側の第１及び第２の表面に沿って入口から出口まで同一の半径方向にポンプ輸送するポンプ段の一部分を構成している。導管が、ポンプ段の複数の部分を互いに連結し、ロータの互いに反対側の側部に生じるかもしれない圧力不均衡状態を補償するよう設けられている。
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本発明は、再生式ポンプ輸送（吸込み吐出し）機構体を有するポンプを提供する。ポンプのロータは、ステータに対して回転可能に軸方向駆動シャフトに取り付けられた全体として円板状のポンプロータを有し、ポンプロータは、表面内に設けられると共に気体を入口から出口にポンプ輸送するための流路の少なくとも一部分を構成するロータ特徴部を有する。ロータ特徴部は、ポンプ輸送機構体のポンプロータとステータとの間に形成されている。ポンプロータ及びステータは、ポンプ作動中、ロータとステータとの間の軸方向隙間を制御する軸方向気体ベアリング構造体を有する。かくして、ポンプのこの構成により、ロータに設けられた気体ベアリングが提供され、それによりポンプロータ及びステータコンポーネント相互間の軸方向隙間の制御具合を向上させることができる。
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腐食性の流体をポンピングするための複数段の真空ポンプであって、第１の流路の材料は、この第１の流路の下流の第２の流路の材料よりも耐腐食性に劣る材料である。 （もっと読む）

可燃性流体流に点火するための種火装置１０が開示される。この種火装置は、燃料と空気／酸素の混合物を含む燃料ガス１４を種火装置内に受け入れるための注入口１２を有する。点火手段１６は、例えば火花点火器や点火用電極であり、燃料ガス１４に点火するために設けられる。略環状の導管１８は、環状部に沿って開口し、円周方向の開口２０を形成する。導管１８は注入口から前記円周方向の開口まで燃料ガスを輸送する。前記円周方向の開口２０から流出した燃料ガスが点火されると、連続した環状の種火が前記導管の半径方向に向けて生成される。
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本発明は処理室（１０）からの排気ガス流（１２）の処理方法を提供する。この方法は、処理室（１０）からの排気ガスを真空ポンプ装置（１１、２２）または大気圧管を用いて輸送するステップと、排気ガスを除害装置（１４）の除害区域（１８）で除害するステップと、除害されたガスを冷却材の相変化によって冷却区域（２４）で冷却するために、液体（２６）のような冷却材を除害区域の下流に注入するステップとからなる。
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