真空ポンプが駆動シャフトとシーグバーンポンプ機構とを備える。このシーグバーンポンプ機構は、駆動シャフト上に配置されたロータ要素と、駆動シャフトの周囲でありかつロータ要素の近傍に配置された環状のステータ要素とを備え、ステータ要素は、ロータ要素の方向へ延びるとともに複数の螺旋状の流路を定める複数の壁を備える。ステータ要素は複数のセクションを含み、これらのセクションの周囲に配置された弾性部材などの手段によりセクションが互いに接触し、この結果、ステータ要素のセクション間のガスの漏れを防ぐ。弾性部材はまた、ステータのセクション及びポンプ機構の周囲に配置されたケーシング間にシールを形成することもできる。
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真空ポンプが、ハウジングと、軸を中心にハウジングに対して回転するために軸受装置により支持された駆動シャフトと、ハウジング上に装着されたステータ部品及びこのステータ部品に軸方向に近接して駆動シャフト上に装着されたディスク状のロータ部品を含むポンプ機構とを備える。軸受装置が、複数の可撓性部材で連結された内側及び外側環状部分を含む弾性支持体により径方向及び軸方向の両方向に支持された軸受を含むことにより、軸受の内側レースと弾性支持体の外側部分との間に固定関係が存在して、ポンプ機構のロータ部品とステータ部品との間の軸方向の間隙を決定するようになる。
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第１及び第２のチャンバから排気された廃棄流を搬送する装置が提供される。本装置は、第１のチャンバから排気された廃棄流を受け入れる入口と出口とを含む第１の導管手段と、第２のチャンバから排気された廃棄流を受け入れる入口と出口とを含む第２の導管手段とを備える。第１及び第２の導管手段の出口は共に接続される。第１の導管手段は、第２のチャンバから排気された廃棄流の成分が第１のチャンバに向かって移動するの阻止するために、第１の導管手段の出口に向かって搬送されているガスの音速チョークを発生させる手段を備える。 （もっと読む）

モータが、固定要素と、固定要素に対して回転可能な回転要素とを備える。固定要素は、ハウジングと、ハウジング内に配置されたモータステータとを備える。回転要素は、軸受部に支持されたシャフトと、モータステータに対して回転するためのシャフト上に配置されたモータロータとを備える。潤滑油供給装置が、軸受部を潤滑するための潤滑油を供給する。固定要素の１つが、潤滑油供給から潤滑油を受け取るための環状チャネルを回転要素の１つと共に定め、モータの固定要素と回転要素との間に熱伝導経路を形成する。１つの実施形態では、シャフト及びハウジングにより環状チャネルが定められる。別の実施形態では、モータステータ及びモータロータにより環状チャネルが定められる。 （もっと読む）

ガスを燃焼させる方法は、ガスを燃焼チャンバ（４４）に連結された燃焼ノズル（４２）に運ぶステップと、燃焼ノズルの回りに口火を形成するためにガスをチャンバ（４４）に供給するステップと、を含む。口火を形成するために、水素を燃焼ノズルの回りに延びる第１の複数の開口（５６）を通してチャンバに供給し、酸化剤を燃焼ノズルの回りに延びる第２の複数の開口（６８）を通して水素とは別々にチャンバに供給する。
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フッ素化ガスをガス流(1)から除去するための方法であって、フッ素化ガスを含有するガス流(1)を燃焼領域(2)に運ぶ工程、該フッ素化ガスを該燃焼領域(2)で分解する工程、該フッ素化ガスの分解生成物と反応することのできるカルシウム塩(4)を該ガス流に同伴させ、該フッ素化ガスの分解生成物と反応させてフッ化カルシウムを形成する工程、及び該フッ化カルシウムの塩を該ガス流から除去(10)する工程を含む方法。 （もっと読む）

ステータ部品と、少なくとも１つのロータ部品と、を有する乾式真空ポンプ。ポンプの中を通る腐食性ガスおよび研磨粒子に対するポンプの耐性を改善するために、ステータ部品および／または前記少なくとも１つのロータ部品が、オーステンパダクタイル鋳鉄で形成される。 （もっと読む）

捩り弾性ギアは、外縁面に複数の歯（１４）、及び複数のスロット（１６，１８）を有するギア本体（１０）を含む。スロットは、ギア本体に中心ハブ（２０）と、歯が配置されるリム（２４）と、リムをハブに連結する複数のスポーク（２２）と、ハブに対するリムの角変位を制限するためのハブから径方向に延びる複数のフィン（２６）とを規定する。
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真空排気システムは、チャンバの出口からガス流を受け入れるための一次前方ラインと、チャンバを排気する第１真空ポンプと、チャンバを排気する第２真空ポンプと、一次前方ラインから第１真空ポンプまでガスを搬送するための第１の二次前方ラインと、一次前方ラインから第２真空ポンプまでガスを送出するための第２の二次前方ラインと、第１及び第２の二次前方ラインのうちの選択された一つを一次前方ラインに選択的に接続するための弁手段とを含む。使用間、真空ポンプの状態を監視する。両方の真空ポンプが普通に作動しているときは、弁手段は、一次前方ラインからの第１反応体リッチなガスを第１の二次前方ラインに方向転換し、一次前方ラインからの第２反応体リッチなガスを第２の二次前方ラインに方向転換するように制御され、それによって、真空ポンプ内で第１及び第２反応体が混ざるのを防止する。しかしながら、真空ポンプの一方の状態が、現在のチャンバ内での加工中に真空ポンプの一方が故障しそうなことを示す場合、弁手段は、第１反応体リッチなガスと第２反応体リッチなガスの両方を他方の真空ポンプに方向転換するように制御され、それによって、チャンバ内の一回分の基板の潜在的なコスト高を予防する。
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パージガス流を排気装置に供給し、且つ、測定するための装置を記載する。装置は、ガス入口（１０６）と、各々、ガスを排気装置のそれぞれのポートに供給するための複数のガス出口（１１０）と、を有するマニホールド（１０４）と、入口と出口との間の流量セレクタ（１２０）と、を含み、流量セレクタは、様々なサイズの複数の間隔を隔てた孔（１３０）を有し、且つ、流量セレクタへの、および流量セレクタからの、ガスの流量を変化させるために、且つ、ガス流量を入口と整合された孔の前後で測定できるように、第１の組の孔が入口および出口と整合される第１の位置から第２の組の孔が入口および出口と整合される第２の位置までマニホールドに対して移動することができる。 （もっと読む）