ターボ分子真空ポンプ（５４）は、ハウジング（７０）と、軸受装置（６４）によって支持され、ハウジング（７０）に対して回転するロータ（５２）と、を含む。軸受装置（６４）は、複数の可撓性部材（８４）によって連結された内側環状部分（８６）および外側環状部分（８８）を含む弾性支持体（８０）によって半径方向および軸線方向の両方に支持された軸受（７２、７４、７６、７８）を含み、弾性支持体（８０）は、５０乃至５００Ｎ／ｍｍの範囲の半径方向剛性を有する。 （もっと読む）

本発明は、複数の処理チャンバから排出される排出ガスを燃焼するための装置に関する。本発明による装置は、燃焼チャンバ(24)に接続された複数の排出ガス用燃焼ノズル(22)を有する。各燃焼ノズル(22)は、それぞれの排出ガス(26)を受入れると共に、燃焼火炎を燃焼チャンバ内に形成するのに用いられる燃料(40)及び酸化剤(30)を受入れるための手段を有する。コントローラが、各燃焼ノズル(22)に供給される排出ガスの化学的性質を指示するデータを受取り、受取ったデータに応答して、各燃焼ノズル(22)に供給される燃料(40)及び酸化剤(30)の相対的な量を調整する。これにより、燃焼火炎によって分解すべき排出ガスの性質に応じて、各燃焼火炎の性質を選択的に変化させ、それにより、排出ガスの分解速度効率を向上させると共に、燃料消費を最適化する。
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【課題】少なくともアンモニアを含有する排気ガスを燃焼させるための装置及びその方法を提供する。
【解決手段】チャンバから少なくともアンモニア及び水素の様々な量を含む排気ガスが燃焼チャンバ（３６）に接続した燃焼ノズル（３４）に運ばれる、アンモニアを燃焼させる方法。チャンバ内に燃焼火炎を形成するための燃焼ガスが、チャンバに供給される。チャンバから排気されるアンモニア及び水素の相対量に応じて、水素が、排気ガスに加えられ、従って、排気ガスがアンモニアを含有する時に、火炎によって燃焼したガスは、少なくとも所定の量の水素を含む。 （もっと読む）

シランあるいは他のシリコン含有ガスを含有するガス流の処理方法が記載され、前記方法では、ガス流が、液体リングポンプあるいはスクリュー機構ポンプに導かれ、前記ポンプには、ポンプ内でシリコン含有ガスを酸化させるための酸化剤、および、液体リングを形成するための、あるいはポンプ内を間欠的に洗い流すための液体も供給される。前記液体およびシリコン含有ガスの酸化からの副生物を含有する液体流が、ポンプから排出される。 （もっと読む）

プロセスチャンバから排気される廃棄流から液体化合物を分離するための手段と、廃棄流から分離された液体化合物を収集するための手段と、廃棄流から収集された液体化合物を選択的に隔離するための手段と、ガス形態の化合物を廃棄流に戻すために、収集された液体化合物を蒸発させるための手段と、を有する、トラップデバイス。これにより、揮発性液体を廃棄流から隔離された規定場所で収集することができ、且つ望まれるときは、続く除害のためにガスの形態で廃棄流に戻すことができる。 （もっと読む）

本発明は、処理チャンバ(10)から廃棄物流れを引く真空ポンプ装置のポンプ機構(30)によって点火された火炎前面の伝搬を阻止するための装置に関する。燃焼チャンバ(55)は、ポンプ機構(30)から排出された廃棄物流れ排出物を受け入れるための入口と、燃焼チャンバ(55)内で廃棄物流れの可燃性成分を燃焼させるための火炎を発生させるための手段を有する、圧力検出器(45)は、廃棄物流れがポンプ機構(30)によって引かれる箇所における圧力を検出し、火炎検出器(95)は、燃焼チャンバ(55)内の火炎の存在を検出する。火炎前面は、一定の圧力よりも高い圧力において廃棄物流れによって持続させられる。コントローラ(50)は、検出された圧力が上記一定の圧力よりも大きいとき、又は、燃焼チャンバ(55)内に火炎が存在しないとき、処理チャンバ(10)への少なくとも１種類の処理流体の送出を規制する。
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本発明は、真空ポンプによって包囲体から引かれるガス流から種を取り除くためのトラップ装置に関する。トラップ装置は、ケーシング(28)と複数のカートリッジ(38)を有する。ケーシング(28)は、包囲体からガス流を受け入れるために包囲体に接続可能な入口(16)と、ケーシング(28)からガス流を排出するために真空ポンプに接続可能な出口(20)を有する。各カートリッジ(38)は、ケーシング(28)を通過するガスのための流路を構成するために、ケーシング(28)のそれぞれの孔(36)を通してケーシング(28)に取り外し可能に挿入可能である。各流路は、カートリッジ(38)の入口と出口との間に延び、各カートリッジ(38)は、その中を通過するガスから種をカートリッジ(38)内に集まる固体材料として取り除くための手段を収容する。
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本発明による真空ポンプ(100)は、第１のポンプセクション(106)と、その下流側に位置する第２のポンプセクション(108)と、第１のポンプ入口(120)と、第２のポンプ入口(122)を有する。第１のポンプ入口(120)を通って真空ポンプ(100)に流入した流体は、第１のポンプセクション(106)と第２のポンプセクション(108)の両方を通過してポンプ出口(116)に向かって流れる。第２のポンプ入口(122)を通って真空ポンプ(100)に流入した流体は、第２のポンプセクション(108)のみを通過してポンプ出口(116)に向かって流れる。第２のポンプセクション(108)は、少なくとも１段のターボ分子ポンプ送り段(109a,109b)と、その下流側に位置する雄ねじ形ロータ(109c)を有する。
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エジェクタポンプ(100)は、チャンバを有し、このチャンバは、ガス混合部分(108)及びディフューザ部分(112)を有する。入口(106)により、ガス流をガス混合部分(108)に移送させ、出口(114)により、ガス流をディフューザ部分(112)から移送させる。エジェクタポンプ(100)の作動流体を供給するために、プラズマ流をノズル(116)からチャンバのガス混合部分(108)に放出する。プラズマ流内に含まれる反応種がガス流の成分と反応して、ガス流のポンプ送りとガス流の低減処理を同時に可能にする。
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本発明は、包囲体を排気するためのポンプシステムに関する。本発明によるポンプシステムは、ポンプ機構(30)と、ポンプ機構(30)を駆動するモータ(32)と、モータ(32)を制御するコントローラ(36)を有する。コントローラ(36)は、モータ(32)の回転周波数の最大値及びモータ(32)内の電流の最大値を設定すると共に、包囲体の排気中、ポンプシステムの性能を最適化するために、回転周波数の最大値及びモータ(32)内の電流の最大値を独立に調整する。
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