有機アルミニウム前駆体を含むガス流を処理チャンバーからポンプする間における真空ポンプ内のアルミニウムの蒸着を抑制する方法において、塩素を真空ポンプの上流のガス流に供給して、前駆体と反応させて、その気相において無害でポンプを通過し得る塩化アルミニウムを形成する。
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多段真空ポンプ用のロータ組立体を提供する。ロータ組立体は、駆動軸と、ロータ構成部分と、駆動構成部分を有する。ロータ構成部分は、駆動軸上に配置され、駆動軸を回転させたときにポンプを中を通る流体を移動させるロータ要素を有する。駆動構成部分は、駆動軸に固定され、駆動軸からのトルクをロータ構成部分に伝達して、ロータ構成部分を回転させる。スリーブ要素が駆動構成部分又はロータ構成部分に一体に形成され、駆動構成部分とロータ要素との間隔をおくのに使用される。スリーブ要素は、駆動構成部分及びロータ構成部分の他の界面と相互作用して、ロータ要素と駆動軸との間の直交方向の位置合せを維持するための界面を有する。 （もっと読む）

２つのステータ部品（１０、１４）と、部品の間に液密シールを提供する、部品の間に配置されたシール（２０）を有する真空ポンプ。一実施形態では、シールは、弾性環状ボディ（２４）と、環状ボディに埋設された環状補強部材（２６）と、ＦＦＫＭエラストマーのコーティング（２８）と、を有する。 （もっと読む）

本方法は、ガス流を処理するための減少装置の効率制御のために記述される、その中でガス流の一部は、ガス流からのペルフルオロ種の除去のためのプラズマ減少装置から分流され、及び真空ポンプのためのパージガスとして減少装置から上流のガス流に戻される。これにより減少装置のエネルギー要求及びパージガスを補うためにガス流に加えられる不活性ガスの量、の両方とも減らすことができる。 （もっと読む）

本発明によるスクリューポンプ(10)は、流体入口(18)と流体出口(20)とを有するステータ(12)を備える。ステータ(12)は、第１の雌ねじ形ロータ(26)及び第２の雌ねじ形ロータ(28)を収容する。第１の雌ねじ形ロータ(26)及び第２の雌ねじ形ロータ(28)は、それぞれのシャフトに取付けられ、ステータ(12)内において、流体入口(18)から流体出口(20)まで移動する流体を圧縮するように互いに反対方向に回転するように構成される。雌ねじ部のピッチは、流体出口(20)に向かって増大する。
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マイクロ波ジェネレータと、このマイクロ波ジェネレータからマイクロ波エネルギーを受け取るガスチャンバーであって、その中でマイクロ波エネルギーを使用してプラズマが発生されるガスチャンバーとを備えたマイクロ波プラズマ除害装置を動作する方法において、ガスチャンバー内で吸収されないマイクロ波エネルギーの量を監視し、そしてその監視されたマイクロ波エネルギーに基づいて前記マイクロ波ジェネレータにより発生されるマイクロ波エネルギーの電力を調整するようにした方法。 （もっと読む）

ガス流を処理するための装置は、プラズマ除害デバイス（１０）を含む。ガス流から微粒子を取り除き、除害デバイスの入口の詰まりを阻止するために、湿式電気集塵装置（２０，２２）が、除害デバイス（１０）の上流に設けられる。除害デバイス（１０）内で発生した微粒子をガス流から取り除くための、追加の湿式電気集塵装置（２４）を、除害デバイス（１０）の下流に設けてもよい。
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プラズマリアクタ（１０）は、ガス入口（１８）及びガス出口（２０）を有するマイクロ波共振空胴（１２）と、マイクロ波放射を共振空胴に伝えるための導波管（１４）と、ガス入口（１８）からガス出口（２０）に流れるガスと反応するイオンを含むプラズマ流を、共振空胴内に注入するためのプラズマトーチ（４０）と、を含む。
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プラズマ除害デバイスは、デバイスによって処理されるべきガスを受け入れるためのガス入口と、ガス出口と、を有するガスチャンバを含み、ガスチャンバの内面の少なくとも一部が、ハロゲン化合物および水蒸気を含有するガスの処理中腐食に抵抗する導電性材料で形成され、あるいはコーティングされる。 （もっと読む）

プロセス室から排出されるガスの処理方法であって、排気ガスは、真空ポンプ（２０）に運ばれ、窒素パージガスは、排気ガスとともに排気するために排出ガスに加えられる。ポンプからのガス排気は、排気ガスを除害するための除害装置（２８）に運ばれる。排気ガスに加えられるパージガスの量は、排気ガスの除害を最適にするように、排気ガスの組成、またはプロセス室に供給されたガスの組成の変化に応答して調整される。
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