第１ポンピングステージと第２ポンピングステージは、入口から出口までの流路を形成し、この流路は、第１入口に入った分子が第１及び第２ポンピングステージを通って出口まで流れるように、且つ第２入口に入った分子が中間ステージ容積及び第２ポンピングステージを通るように配置されており、
第１及び第２ポンピングステージの各々は、ターボ分子サブステージ及び分子吸収サブステージを備えている。 （もっと読む）

【課題】スクロール圧縮機の軌道スクロールと固定スクロールの間の軸線方向の隙間設定及び／又は角度方向の位置合わせを容易にする。
【解決手段】スクロール圧縮機（40）は、ハウジング（12）と、軌道スクロール（26）と、固定スクロール（41）を有する。駆動シャフト（14）は、偏心シャフト部分（18）を有し、偏心シャフト部分（18）の回転により、固定スクロール（41）に対する相対軌道運動を、軌道スクロールに付与する。軌道スクロール（26）に対する固定スクロール（41）の隙間設定のために、軸線方向スペーサ（42）が、固定スクロール（41）とハウジング（12）の間に配置される。スクロール圧縮機（40）を組立てて試験し、シム調整を行うことが望ましい場合、固定スクロール（41）を取外し、選択された軸線方向スペーサ（42）を適所に配置し、固定スクロール（41）を再び組立てる。 （もっと読む）

【課題】粉末処理能力が改善されているルーツ形ポンプを提供すること
【解決手段】ルーツ真空ポンプのステータは、一対の噛み合うロータを収容するように構成されており、そのステータは、圧送気体に同伴された固体物質をステータを通して出口に向けるように方向付けするように構成された方向付け部材または偏向部材を備える。すなわち、ステータは、圧送気体に同伴された固体物質すなわち粉末をポンプの外またはポンプの出口にまっすぐ向けるように方向付け手段、即ち偏向手段を有する。方向付け手段は、弧状面と出口との間に配置されたチャネルを備え、前述のチャネルは、下死点部の手前で弧状面とつながる部分を備え、ロータの回転軸線から離れるようにポンプの出口に向けて延びている。したがって、圧送気体に同伴された粉末は、ポンプ室から効率よく排出され、固体物質によりポンプが急停止する可能性が減少する。 （もっと読む）

防弾ブランケットに囲まれた真空ポンプ。 （もっと読む）

本発明は、真空圧送機構（１２）と、真空圧送機構（１２）を駆動するためのモータ（１４）を備える真空圧送システム（１０）に関する。真空圧送システムの一定期間にわたる累積負荷を決定するための手段（１６）が設けられており、該決定するための手段は、期間にわたってモータの特性をモニタすることにより累積負荷を決定するようになっている。累積加重が予め決定された量を超えたときにメンテナンス作業を開始するための手段（１８）が設けられている。
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【課題】ポンプの作動中、ポンプの表面に堆積物を形成する。ポンプの作動停止時に、堆積物はポンプ内で凝固する。これら堆積物により、ポンプが焼き付いて、再始動が妨げられるようになる。
【解決手段】本発明の真空ポンプは、ロータ要素及びステータ要素と、前記要素を包囲していて、圧送流体を受け入れる入口を有するハウジングとを備え、ハウジングのまわりに放射方向に位置した複数のポートを有する。要素表面に付着している堆積物に作用して前記堆積物を前記要素表面から除去できるようにする流体を、前記表面に衝突するように押し流される体積の中に直接に、前記ポートを介して前記ハウジング内へ注入する手段を有する。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプを提供すること。
【解決手段】真空ポンプ１０は、シャフト１４による回転のために取り付けられた真空ポンプ機構１２と、シャフトを回転させるためのブラシレスモータ１６とを含む。真空ポンプ機構１２は、複数のポンプ段を含むターボポンプ機構１８と、少なくとも１つのポンプ段を含む分子ドラッグポンプ機構２０とを含む。シャフト１４は、軸受２２によって回転に対して支持される。モータ１６は、シャフト１４に対して固定された永久磁石ロータ２４を含む。ロータ２４は、４つの極を有し、ステータ２６は、重ならないステータコイルを有する。 （もっと読む）

水素、亜酸化窒素若しくは炭化水素ガスなどの燃料ガスのみ又は燃料ガスと酸化ガスの両方を含むガス流を処理する方法が記載されている。前記ガス流は、複数のポンプ段階を有する真空ポンプ配列を介して運ばれる。最後のポンプ段階の直前又は直後に、ガス状の酸化剤を前記ガス流に加えて前記燃料ガスを酸化させる工程が行われる。このようにして前記ガス流を処理することにより、前記燃料ガスの制御不能な燃焼のリスクを最小限にすることができる。 （もっと読む）

本発明は、クラムシェル形の多段真空ポンプに関する。真空ポンプは、互いにシール連結される２つのハウジング構成要素（１２）を有し、ハウジング構成要素により、ポンプの入口領域から出口領域まで長手方向に延びる列をなすチャンバが形成される。２つのハウジング構成要素の間の連結部において、真空ポンプ内への流体の移動及び真空ポンプからの流体の移動を防止するために、シール手段（３０）が、２つのハウジング構成要素間に配置される。別々の細長いチャネルの列が、シール手段（３０）とチャンバ（１４、１６、１８、２０、２２）の列の間に設けられ、細長いチャネルは、真空ポンプの作動中、チャンバの中を通る流体からシール手段（３０）を保護するように機能する。
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真空ポンプは、２つのステータ部品と、この部品間に流体密封シールを与えるため該部品間に配置されたシールとを含む。シールは、環状補強部材を収容する環状プラスチックチューブを含み、このチューブは、FKMエラストマー及びFFKMエラストマーの１つから形成されたスリーブで少なくとも部分的に取り囲まれている。 （もっと読む）