【課題】フッ化物処理施設及びＣａＦ₂ケークの処分の、費用の低減を図ることを目的とする。
【解決手段】ガス流を、無機フッ化物を生じさせるためにＦ₂と反応する物質の加熱状態の床が収納された反応チャンバまで運ぶステップと、反応チャンバを少なくとも部分的に排気してガス流を減圧状態で反応チャンバに運び込んだり、反応チャンバから運び出したりするステップとを有する。 （もっと読む）

エンクロージャを排気するための真空排気装置が提供される。装置は、排気されるべきエンクロージャの出口に、固定部材を用いて連結可能な入口を有するターボ分子真空ポンプを含む。固定部材の各々は、入口の第１の孔及び出口の第２の孔を貫通する。細長い、円周方向に延びるキャビティが、圧縮可能なインサートを収容するために、これらの孔の１つから延び、または孔の１つに隣接して設けられる。かくして、ターボ分子真空ポンプの故障中、ターボ分子真空ポンプによって固定部材に伝達されるエネルギは、インサートの変形によって吸収される。かくして、この方法でエネルギの一部を吸収することにより、入口の出口からの分離が防止される。
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可燃性ガスを含むガス流を排出するためのシステムは、固体酸化イオン伝導膜（２０）と、ガス流を、減圧で、膜の一方の側に引くための真空ポンプ（３６）と、を含む。膜の他方の側は、酸化ガスに暴露しており、反応性酸化種が膜に浸透し、可燃性ガスと反応して少なくとも水蒸気を生成するように電位差が膜に加えられる。ガス流は、続いて真空ポンプ（３６）に受け入れられる。真空ポンプは、ガス流を水に暴露する排気機構を有していてもよく、水蒸気は、ガス流から凝縮される。変形例として、凝縮器（１４）を、ガス流から水蒸気を凝縮するために、ポンプと膜の間に設けてもよい。
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【課題】ガスをポンピングする方法、特に、水素のような軽量ガス及び凝縮性化学種を含むガス流をポンピングする方法を提供する。
【解決手段】凝縮性化学種と軽量ガスとを含有するガス流をポンピングする方法及びそのための装置。本方法は、吸気段と吸気段の下流側の排気段とを含む多段真空ポンプにガス流を搬送する段階、及び軽量ガスよりも重いパージガスを吸気段の上流側又は吸気段でガス流に付加して、排気段から吸気段に向って軽量ガスが移動するのを抑制すると共に、ポンプ内の凝縮性化学種の凝縮を抑制する段階を含む。 （もっと読む）

マイクロ波プラズマ反応装置（１０）であって、反応チャンバと、反応チャンバの内部に配置されたマイクロ波共鳴キャビティ（１４）と、マイクロ波放射を共鳴キャビティに導くための導波管（１６）であって、収束性のテーパ部分を有してなる導波管と、共鳴キャビティの内部にプラズマを開始及び持続させるために、マイクロ波放射から、共鳴キャビティの内部に電磁定在波を形成するための手段と、ガス入口及びガス出口を有してなる共鳴キャビティと、ガス入口からガス出口へ流れるガスと共に、共鳴キャビティから運ばれたプラズマを収容すべくガス出口から延びてなる導管手段と、を備えていることを特徴とする反応装置。 （もっと読む）

多結晶シリコンのエッチング処理からの排気ガスを処理する方法が開示され、ガスを処理するために、プラズマ減少装置を使用する。装置は、ガスを受けるガス入口と、ガス出口とを有してなる、ステンレス鋼のガスチャンバを備えている。ガスは、含ハロゲン化合物及び水蒸気を含有するので、チャンバは、チャンバの内部の表面に水が吸着されるのを阻止する温度に加熱され、それにより、ガスチャンバの腐食を阻止する。次に、ガスは、処理のためにガスチャンバに運ばれて、ガスの処理中には、チャンバの温度は、前記温度よりも高温に維持される。 （もっと読む）

熱伝導真空計は、ホイートストーンブリッジ回路の１つの辺（２０）におけるフィラメント（１２）と、ブリッジ回路の斜め向かいの辺（１６）における可変デジタルポテンシオメータ（２８）と、ポテンシオメータの抵抗を調整してブリッジの電圧（Ｖ_O）を制御し、使用中、フィラメント（１２）の温度を所定の値又は所定の値あたりに維持するための制御装置（３０）とを含む。 （もっと読む）

多段真空ポンプが、多段ロータ組立体を収容したステータを有し、各段は、噛み合い形ルーツ式ロータコンポーネントを含み、ポンプの入口段におけるロータコンポーネントの先端部半径は、ポンプの出口段におけるロータコンポーネントの先端部半径よりも大きい。
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【課題】ナノ構造体の生成方法及び装置を提供する。
【解決手段】ナノ構造体の生成方法は、ナノ構造体を生成するためにナノ構造体の成分を含むガスを一つ以上の中空陰極反応装置に通す段階と、ナノ構造体を収集し、次いで副産物を、酸化ガスと一緒に一つ以上の中空陰極反応装置に通して排気ガスから除去する段階と、を含む。 （もっと読む）

【解決手段】処理チャンバ（１２）からガスの形態である爆発材料の流体流れを輸送するフォアライン（foreline）（１０）の内部において、固形爆発材料の蓄積を阻止する方法であって、爆発材料と反応させて非爆発材料を形成するために、源（１６）から流体流れに酸化剤を供給し、酸化剤の処理チャンバ内への移動を阻止する。 （もっと読む）