【課題】 石英粉体中に有色異物、特に鉄系ごみ、有機物系ごみ、カーボン系ごみのような淡い色の有色異物が含まれる場合であっても、精度良く検出することができる石英粉体原料中に含まれる有色異物の検出装置および検出方法を提供する。
【解決手段】 この発明の検出装置１は、石英粉体の原料を一定量ずつ連続供給するための原料供給手段２と、該原料供給手段２から連続供給された前記石英粉体原料Ｑを搬送するベルト搬送手段３と、所定波長の光を発する第１発光手段４と、前記第１発光手段４から発する光を散乱光に変換した上で、ベルト搬送手段３で搬送される前記石英粉体原料Ｑに対し照射する光拡散照射手段５と、前記石英粉体原料Ｑのカラー画像を連続撮影するカラー撮像手段６とを具え、前記光拡散照射手段５からの散乱光を前記石英粉体原料Ｑに対して照射することにより、前記カラー撮像手段６で撮影したカラー画像の濃淡を明確化して、前記石英粉体原料Ｑ中に含まれる有色異物を検出することにある。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶中にＳｉＯガスの気泡が取り込まれることによる空洞欠陥の発生を防止することが可能な石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボ１０は、天然石英ガラス層からなる外層１１と、合成石英ガラス層からなる内層１２とを備え、合成石英ガラス層は、ルツボ底部の中心からルツボ口径の５０％以内の領域に形成された第１の合成石英ガラス層１２ａと、第１の合成石英ガラス層１２ａの形成領域を除いた領域に形成された第２の合成石英ガラス層１２ｂとを含んでいる。前記第１の合成石英ガラス層１２ａは０．５ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の厚さを有しており、第１の合成石英ガラス層１２ａに含まれるＯＨ基の濃度が１００ｐｐｍ以下である。このように合成石英層をできるだけ薄く且つ高い粘度で構成した場合には、ルツボ底部の内表面の凹みが防止され、気泡の発生が抑制される。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶中にＳｉＯガスの気泡が取り込まれることによる空洞欠陥の発生を防止することが可能な石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボ１０は、外層が第１の天然石英ガラス層１１、内層が合成石英ガラス層１２からなる二層構造を有し、さらにルツボの底部１０Ｂの内表面には第２の天然石英ガラス層１３が形成されている。そのため、ルツボの直胴部１０Ａ及び湾曲部１０Ｃは二層構造であるが、ルツボの底部１０Ｂは三層構造となっている。第２の天然石英ガラス層１３は、石英ガラスルツボ１０の底部の内表面のみに形成された層であり、そのＣａ濃度は０．５ｐｐｍ以下である。第２の天然石英ガラス層１３の内表面に形成された傷は、第２の天然石英ガラス層１３の融解と共に早期に消滅するので、ＳｉＯガスの発生を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶中にＳｉＯガスの気泡が取り込まれることによる空洞欠陥の発生を防止することが可能な石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ１０は、多数の気泡を含む不透明石英ガラス層１１からなる外層と、実質的に気泡を含まない透明石英ガラス層１２からなる内層とを備えている。ルツボ直胴部１０Ａ及び湾曲部１０Ｃの内表面の少なくとも一部は、深さ５０μｍ以上４５０μｍ以下の多数の傷が形成された凹凸面１２ａであり、ルツボ底部１０Ｂの内表面のうち、底部１０Ｂの中心から一定範囲内の領域は、実質的に傷が形成されていない平滑面１２ｂである。ルツボ直胴部１０Ａの内表面に形成された傷を起点として発生したＳｉＯガスの気泡はほぼ垂直に浮上するため、引き上げ中のシリコン単結晶に取り込まることなく、炉内空間に放出される。 （もっと読む）

【課題】内表面全体の研磨処理を行うことなく、透明層における気泡量を低減したシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの新たな製造方法を提供する。
【解決手段】石英原料粉から形成したルツボ形状成形体に対して内面から外面方向に減圧を与え、かつルツボ形状成形体を回転させながらアーク溶融することにより、内面側は透明層であり、外面側は気泡層である石英ガラスルツボを形成する工程、石英ガラスルツボの壁部内面をアーク溶融によって再溶融して壁部内面の透明層に存在する気泡を壁部内面の底部方向に移動させる底部方向移動工程、および石英ガラスルツボの底部内面をアーク溶融によって再溶融して底部内面の透明層に存在する気泡を底部内面の外周方向に移動させる外周方向移動工程を含み、壁部内面と底部内面が形成する透明層のコーナー部に気泡を集積した石英ガラスルツボを得る。底部方向移動工程と外周方向移動工程は、どちらを先に実施してもよい。 （もっと読む）

【課題】径小薄肉化により切断除去を余儀なくされる部分を減少して、原料コストを低減することができる石英ルツボ製造用モールドを提供する。
【解決手段】回転しているモールド１内壁に石英粉４を張り付けた状態で加熱溶融して石英ルツボを製造する際に用いるモールド１において、石英ルツボの上部領域に対応する、モールド１の上部開口部の内周壁に、内径がモールド内径よりも小さくかつ石英ルツボ内径よりも大きいリング状の断熱性バリアー材７を設置する。 （もっと読む）

【課題】大型化したシリコン単結晶の製造（引き上げ）においても、溶融シリコンの局所的な温度のばらつきを抑制して、均質なシリコン単結晶を製造（引き上げ）できる石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】シリコン単結晶引上用石英ガラスルツボであって、ルツボ内表面側から外表面側に向けて、少なくとも透明層、半透明層および不透明層を有し、透明層は、気泡含有率が０．３％未満であり、半透明層は、気泡含有率が０．３％〜０．６％の範囲であり、不透明層は、気泡含有率が０．６％超である石英ガラスルツボ。 （もっと読む）

【課題】電極汚染物のルツボ内混入防止を図る。ルツボからの単結晶引き上げへの影響を低減する。引き上げ単結晶特性の良好な石英硝子るつぼを提供する。低コストで電極汚染物の低減を図る。
【解決手段】アーク放電によって被溶融物を溶融するための炭素電極１３の製造方法であって、電力供給前に前記炭素電極表面を前記被溶融物１１と同種の摩擦体により摩擦処理する摩擦処理工程を有する。前記摩擦処理工程が、前記炭素電極先端を成形する研削工程後に行う。 （もっと読む）

【課題】ルツボの外周部分を焼結層で構成するのに適するカーボン製モールドを有する石英ルツボの製造装置を提供する。
【解決手段】回転モールド法により石英ルツボを製造するためのカーボン製モールドを有する石英ルツボ製造装置であって、前記カーボン製モールドは、熱伝導率が１２５W/(m・K)以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アークの安定と加熱範囲の制御を向上し大口径ルツボの製造に適応可能とする。
【解決手段】モールドの回転軸周りに配設した電極のアーク放電によってモールド内に成形した石英粉成形体を加熱溶融して石英ガラスルツボを製造する方法において、
電極をリング状に配置した電極構造を用い、アーク加熱中の少なくとも一定の時間、前記電極先端と前記石英粉成形体表面との水平方向距離Ｗの前記石英粉成形体開口半径Ｒに対する比Ｗ／Ｒの値が、０.００２〜０.９８の範囲に設定される。 （もっと読む）