【課題】ルツボ内表面の気泡や不純物が少なく、シリコン単結晶の高い結晶化率を達成することができるシリカガラスルツボの製造方法および製造装置の提供。
【解決手段】本発明のシリカガラスルツボの製造方法は、モールド１０内に原料シリカ粉を供給してシリカ粉層１１を形成するシリカ粉供給工程と、複数本の炭素電極１３によるアーク放電でシリカ粉層１１を熔融するアーク熔融工程と、各炭素電極先端とモールド１０内に供給したシリカ粉層１１の被熔融表面との距離をそれぞれ等距離に設定して被熔融表面に吹きつけたアーク火炎により表面除去するファイヤーポリッシュ工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】廃ガラスを用いて、透明層を有するシリカガラスルツボを製造する方法を提供する。
【解決手段】単結晶又は多結晶シリコンインゴット製造用のシリカガラスルツボ１の製造方法であって、前記ルツボ１は、ルツボ形状のシリカ粉焼結体３に対して、前記シリカ粉焼結体３をルツボ内面側からアーク溶融させて前記シリカ粉焼結体３の厚さ方向の全部又は一部をガラス化させる工程を備え、（１）前記アーク溶融時にルツボ外面側から前記シリカ粉焼結体３を減圧することと、（２）前記アーク溶融時に前記シリカ粉焼結体３の内面に合成シリカ粉を散布することによってルツボ内面に合成シリカガラス層５を形成すること、のうちの少なくとも一方の手段を備えるシリカガラスルツボ１の製造方法。 （もっと読む）

【課題】シリコン融液への不純物の混入のおそれなく、シリカガラスルツボの座屈や沈み込みを抑制することができるシリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】シリコン単結晶の引き上げに用いるシリカガラスルツボであって、前記ルツボの壁３の外表面から内表面に向かって厚さ２ｍｍの領域３ｃのシリカガラスのラマンスペクトルでの４９２ｃｍ^−１におけるピークの面積強度Ｉ１と、６０６ｃｍ^−１におけるピークの面積強度Ｉ２の比Ｉ２／Ｉ１が０．６７〜１．１７であるシリカガラスルツボ。 （もっと読む）

【課題】内面を無気泡化させたシリカガラスルツボを製造する方法を提供する。
【解決手段】ルツボ形状成形体２を回転させながら減圧し、壁部４０２の内面側をアーク加熱によって溶融した状態にて、シリカガラスルツボ４に与える回転数を制御して、壁部の透明層４０５の表面近傍に存在する気泡が残存するシリカガラス層を底部４０１に向けて移動させ、底部の内面側をアーク加熱によって溶融した状態にて、シリカガラスルツボに与える回転数を制御して、該底部の透明層の表面近傍に存在する気泡が残存するシリカガラス層を底部の径方向外側に移動させて、シリカガラスルツボの透明層の気泡が残存するシリカガラス層を底部の径方向外側に集め、底部の内面側をアーク加熱によって溶融した状態にて、シリカガラスルツボに与える回転数を制御して、底部の透明層表面の無気泡層の一部を底部の径方向外側に移動させて、該無気泡層により気泡の集まった領域を被覆する。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶引き上げ中の高温下において沈み込みが抑制された石英ガラスルツボ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボ１０は、ルツボの外表面側に設けられた多数の気泡を含む不透明石英ガラス層１１と、ルツボの内表面側に設けられた透明石英ガラス層１２とを備え、不透明石英ガラス層１１は、ルツボ上部に設けられた第１の不透明石英ガラス部分１１ａと、ルツボ下部に設けられた第２の不透明石英ガラス部分１１ｂとを有している。第１の不透明石英ガラス部分１１ａの原料石英粉のＯＨ基濃度が第２の不透明石英ガラス部分１１ｂの原料石英粉のＯＨ基濃度よりも高いため、第１の不透明石英ガラス部分１１ａの比重は第２の不透明石英ガラス部分１１ｂの比重よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】長時間、高温に加熱しても、変形することが少ないシリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】本発明によれば、直胴部と、底部と、前記直胴部と前記底部をなめらかに接続する湾曲部とを有するシリカガラスルツボであって、前記シリカガラスルツボの壁は、内側から順に透明層及び気泡含有層を備え、前記直胴部の上端と下端の中間部分において、前記透明層の厚さに対する前記気泡含有層の厚さの比が０．７〜１．４であるシリカガラスルツボが提供される。 （もっと読む）

【課題】廃ガラスを用いて、透明層を有するシリカガラスルツボを製造する方法、及びその製造に適したシリカ粉を提供する。
【解決手段】シリカガラスルツボの製造工程で生じた廃ガラスを平均粒径が１００μｍ以下になるように粉砕してシリカ微粉５を形成し、前記シリカ微粉５を、平均粒径が５０μｍ以上になるように、ヘリウム雰囲気下で造粒する。前記粉砕工程で、平均粒径が１００μｍ以下になるように廃ガラスを粉砕してシリカ微粉５を作成するとともに、空気よりも離脱しやすいヘリウムの雰囲気下で造粒を行うことにより、シリカ微粉５内に気泡が残留しにくくなるので、前記造粒シリカ粉を用いれば、ルツボの内面側に透明層を有するシリカガラスルツボを容易に製造することができる。 （もっと読む）

【課題】シリカガラスルツボの座屈や沈み込みが抑制され且つ亀裂が入りにくいシリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】本発明によれば、シリコン単結晶引き上げに用いるシリカガラスルツボであって、前記ルツボの壁が、前記ルツボの内面側から外面側に向かって天然シリカガラス又は合成シリカガラスからなるノンドープの内面層、及び鉱化元素が島状に偏在した鉱化元素偏在領域が分散している鉱化元素偏在シリカガラス層を備え、前記鉱化元素偏在領域のガラス成分とその周辺のガラス成分は、鉱化元素がドープされた天然シリカガラスとノンドープの合成シリカガラスの組み合わせ、又は鉱化元素がドープされた合成シリカガラスとノンドープの天然シリカガラスの組み合わせであり、前記内面層は、前記鉱化元素偏在領域のガラス成分とは異なる種類のガラス成分からなるシリカガラスルツボが提供される。 （もっと読む）

【課題】シリカガラスルツボの結晶化容易性を正確に予測することを可能にするシリカ粉の評価方法を提供する。
【解決手段】本発明によれば、シリカ粉を融解温度１７００〜１９００℃で融解した後に冷却させてガラス化したサンプルを作成するサンプル作成工程と、前記サンプルを１４００〜１７５０℃で３０分以上保持した後に冷却するサンプル熱処理工程と、前記サンプル熱処理工程後のサンプルの不透明化の状態を評価するサンプル評価工程とを備えるシリカ粉の評価方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】マルチ引き上げにおいてシリカガラスルツボの座屈や沈み込みを抑制することができるシリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】シリコン単結晶引き上げに用いるシリカガラスルツボ１であって、前記ルツボ１の内表面に鉱化剤を備え、前記鉱化剤は、Ca、Sr、Ba、Ra、Ti、Zr、Cr、Mo、Fe、Co、Ni、Cu、及びAgのうちの少なくとも一つの原子を含み、前記内表面上での前記鉱化剤の濃度が１．０×１０^５〜１．０×１０^１７個／ｃｍ^２であるシリカガラスルツボ。 （もっと読む）