【課題】シリカガラスルツボの製造中に、正確なヒューム発生量の測定を可能とし、内表面の特性の低下を防止できるとともに、原料熔融状態の制御がリアルタイムで可能なシリカガラスルツボの製造装置及びシリカガラスルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】シリカ粉をモールド１０内に供給してシリカ粉層を形成し、このシリカ粉層１１をアーク放電によって加熱熔融してシリカガラスルツボ５０を製造する装置であり、シリカガラスルツボの外形を規定するモールド１０と、複数本の炭素電極１３及び電力供給手段４０を具備するアーク放電手段と、モールド１０内において発生するヒューム８０の量を検出するヒューム量測定部３０が備えられてなる。 （もっと読む）

【課題】アーク加熱によって回転モールドの碗状内面に成形された石英粉成形体を加熱溶融して石英ガラスルツボを製造するための石英ガラスルツボ製造装置において、気泡の効率的な除去を可能としながらも、回転モールドから石英ガラスルツボを容易に取り出せるようにする。
【解決手段】回転モールド１０の碗状内面１０Ａのうち、その上端開口縁１０Ｃを画成する円環帯状の上端開口縁部分１１Ａの熱伝導速度を、当該上端開口縁部分１１Ａを除く碗状内面１０Ａの残部１２Ａよりも高く設定する。また、回転モールド１０を、碗状内面１０Ａの残部１２Ａをなすモールド本体１２と、碗状内面１０Ａの上端開口縁部分１１Ａをなす開口縁部材１１とにより構成し、開口縁部材１１をモールド本体１２に対して着脱自在とする。 （もっと読む）

【課題】単結晶引き上げクリーンルーム内での清浄度低下の防止を図る。
【解決手段】原料粉末をルツボ成形用のモールド１０内に成形し、その成形体１１をアーク溶融により加熱溶融して石英ガラスルツボを製造する方法であって、
アーク溶融をおこなう炭素電極１３として、石英ガラスの結晶化促進剤を含有する電極を用いて前記石英ガラスルツボ内側表面に結晶化促進剤含有層を形成する。 （もっと読む）

【課題】クリーンな環境下にて、石英ガラスルツボを堅固に挟持し、確実に移動させることのできるハンドリング装置。
【解決手段】水平方向に延びるビーム２、及び、ビーム２の中心軸線方向に対し直交する方向にビーム２から突出し、少なくとも一方がビーム２の中心軸線方向に移動可能である一対のアーム３を具えるフレーム４の、一対のアーム３に組み付けられた、石英ガラスルツボ５の胴部５０をルツボの径方向に挟持する相互に対向する一対の挟持手段６、各挟持手段６に隣接して設けられ、石英ガラスルツボ５をルツボの中心軸線方向に挟んで掛止するルツボの中心軸線方向に近接離間可能な一対の舌片からなる掛止手段７、並びに、挟持手段６及び掛止手段７をアーム３に沿って往復運動させる駆動手段８を具える石英ガラスルツボ５のハンドリング装置１である。 （もっと読む）

【課題】包装済ルツボのハンドリングを人手に頼ることなく機械を介して実現する、包装済ルツボのハンドリングに適したクレーン装置を提供する。
【解決手段】包装済の石英ガラスルツボを配置した吊り上げ場所の上方と梱包用コンテナを配置した吊り降ろし場所の上方との間の経路上を往復動可能に、かつ該経路から前記吊り上げ場所および吊り降ろし場所のそれぞれにおいて前記経路に対して昇降可能に設置されるクレーン装置であって、前記昇降方向に延びる４本のアームを有し、該４本のアームを四角形の頂点に配置するとともに、該四角形の対角線上のアーム対を相互に進退可能に設け、各アームは先端に前記アームの進行方向に延びる爪を有するものとする。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスルツボ内への異物侵入を、ルツボの実際の使用時期まで確実に回避し、汚染されない状態でルツボを使用できるようにするための石英ガラスルツボ装着用蓋および石英ガラスルツボの取り扱い方法を提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボ１の開口部２に装着する蓋３であって、前記開口部２の外周端２ａに密着するフランジ部４を有する蓋３を、ルツボ１に装着する。単結晶シリコンを製造する際し、蓋３を装着して出荷されてきたルツボ１は、蓋３を外してからルツボ１内に多結晶シリコン１０を装入し、直ちに、ルツボ１の開口部２に蓋３を装着する。その後は、蓋３の装着によってルツボ１の内部を外界と遮断した状態のまま保管することによって、多結晶シリコンの溶融を行うまでの待機期間を、ルツボ１内の原料シリコンが汚染されない状態に保持する。 （もっと読む）

【課題】シリコン融液の湯漏れ監視及び種結晶の着液検出を行うと共に、長時間の引き上げに耐え得る石英ガラスルツボの強化並びにシリコン単結晶の不純物濃度の低減を図る方法を提供する。
【解決手段】ワイヤーの先端に取り付けられた種結晶を石英ガラスルツボ内のシリコン融液に着液させると共に、ルツボ側をマイナス極、ワイヤー側をプラス極とする電圧Ｖ１を印加しながらその電圧の変化を監視することで種結晶の着液状態を検出する工程Ｓ１３、Ｓ１４と、その後の温度調整期間Ｓ１５において、ルツボ側をプラス極、ワイヤー側をマイナス極とする電圧Ｖ２を印加することで石英ガラスルツボの内表面を失透させる工程と、温度調整期間Ｓ１５の終了後、ルツボ側をマイナス極、ワイヤー側をプラス極とする電圧Ｖ３を印加しながら種結晶を徐々に引き上げることによりシリコン単結晶を成長させる工程Ｓ１６〜Ｓ２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】シリコン原料を短時間で溶融でき、且つ、不透明石英ガラス層の経時的な変態によってシリコン単結晶の製造歩留まりを向上させることが可能な石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】 石英ガラスルツボは、外表面側に設けられた多数の気泡を含む不透明石英ガラス層１１と、内表面側に設けられた実質的に気泡を含まない透明石英ガラス層１２とを備えている。不透明石英ガラス層１１に含まれる気泡の径分布は、直径が１０〜３０μｍの直径を有する気泡が１０％以上３０％未満、４０〜９０μｍの直径を有する気泡が４０％以上８０％未満、９０μｍ以上の直径を有する気泡が１０％以上３０％未満である。不透明石英ガラス層１１中の比較的小さな気泡は引き上げ工程の初期の段階からルツボの伝熱性に寄与し、比較的大きな気泡は長時間の引き上げ工程を経ることによって膨張し、引き上げ工程の後半でルツボの保温性に大きく寄与する。 （もっと読む）

【課題】単結晶引き上げ時の熱膨張が少なく、高い単結晶歩留りを得ることができる石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボは、アルゴン雰囲気２０torr下において温度１５００℃で１０時間加熱する基準加熱条件下でのルツボの壁部、コーナ部及びボトム部の各部位の膨張率が何れも８％以下であり、ルツボ各部位相互の膨張率差が５.５％以下であり、ルツボ内表面から外表面までの全壁厚方向の気泡含有率が０.０５％以上〜０.４％以下であることを特徴とし、例えば、石英粉を加熱溶融して石英ガラスルツボを製造する際に、１８００℃以上で５分以上加熱してガラス化し、かつルツボ内表面から外表面までの全壁厚方向の気泡含有率を０.０５％以上〜０.４％以下に調整することによって、ルツボ各部位の熱膨張を抑制する。 （もっと読む）

【課題】ルツボ原料粉のルツボ内面への侵入までを回避できる方途を与えることによって、石英ガラスルツボ内への異物侵入を、ルツボの実際の使用時期まで確実に回避し、汚染されない状態でのルツボの取り扱いを可能にする方法を提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボ１の開口部２に装着する栓３であって、開口部２の内周端２ａに密着する周縁取付け部４を有する栓３を、ルツボ１に装着する。また、栓３において、少なくとも内面の金属成分の付着量は0.05ng／cm^２以下である。 （もっと読む）