【課題】アーク放電時に安定なアークを形成することができ、電極の局部的な欠落などを生じることがなく、ルツボ内表面に黒異物や凹部を生じない性状に優れた石英ガラスルツボを製造することができるアーク放電装置と、これを備えた石英ガラスルツボ製造装置、およびその用途を提供する。
【解決手段】アーク放電によって石英粉を加熱溶融する高純度炭素電極を備えたアーク放電装置において、各炭素電極の密度が１.３０g/cm³〜１.８０g/cm³であり、電極各相に配置した炭素電極相互の密度差が０.２g/cm³以下であることを特徴とするアーク放電放置であり、好ましくは、各炭素電極が粒子径０.３mm以下、さらに好ましく０.１mm以下の炭素粒子によって形成されており、電極各相に配置した炭素電極相互の密度差が０.１０g/cm³以下であるアーク放電装置とその用途。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶引上げに用いる石英ガラスルツボであって、単結晶収率の高い石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】ルツボ湾曲部１１の内壁面の曲率Ｒ１を１００〜２４０mmとすることにより液面低下時の急激な液面面積の変化を抑制し、さらに、ルツボ湾曲部１１の肉厚Ｗの変化量を０.１mm/cm〜１.２mm/cm、好ましくは、０.２mm/cm〜０.５mm/cmとすることによりルツボ湾曲部１１の熱分布を均一にする。これらの方法により、シリコンの多結晶化をおさえ、単結晶収率を高める。 （もっと読む）

【課題】結晶化促進剤を含有せずに結晶化し易い石英ガラスによって形成した石英ガラス部材、特にシリコン単結晶の引き上げに用いる石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】結晶化促進剤を含有せずに易結晶化性を有する石英ガラスによって形成したことを特徴とする石英ガラス部材であって、好ましくは、結晶質石英を１７１０〜１７８０℃の温度で加熱溶融してガラス化することによって易結晶化性を有するようにした石英ガラスによって形成した石英ガラス部材、および石英ガラスルツボ、この石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の引き上げ方法。 （もっと読む）

【解決課題】シリカ粒子中のイオン性の高い不純物を短時間に除去することができる精製効果に優れた処理方法と装置および精製シリカ粒子を提供する。
【手段】シリカ粒子を流動状態にし、高温下で流動状態のシリカ粒子に精製ガスを接触させてシリカ粒子の不純物成分を除去する精製方法において、流動状態のシリカ粒子を磁場領域内に位置させて、シリカ粒子の移動により生じる電場によってシリカ粒子に電圧を印加した状態にして精製ガスと接触させることを特徴とするシリカ粒子の精製方法であり、好ましくは、流動状態のシリカ粒子を、１０ガウス以上の磁場領域内に位置させて、１０００℃以上の温度下で精製ガスと接触させるシリカ粒子の精製方法。 （もっと読む）

【課題】 ルツボ内表面の結晶化促進剤含有層が剥離し難く、高温下でのルツボ強度が高く、安定にシリコン単結晶の引き上げを行うことができる石英ガラスルツボを提供する。
【手段】 ルツボ内表面に結晶化促進剤を含有する石英ガラス層（以下、結晶化促進剤含有層）が形成されており、該結晶化促進剤含有層の層厚が１mm〜２mmであり、ルツボ内表面部分の結晶化促進剤の濃度が１０ppm以上〜１００ppm以下であり、ルツボ内表面から深さ方向に沿って結晶化促進剤の濃度が次第に減少する連続的な濃度勾配を有し、好ましくは結晶化促進剤含有層の境界領域における結晶化促進剤の濃度が５ppm以下であることを特徴とする石英ガラスルツボとその製造方法。 （もっと読む）

【課題】球状容器や湾曲底部を有する筒状容器、例えば石英ガラスルツボ等を安定に吊り上げることができ、かつ容器への装着および取り外しが容易な吊り具を提供する。
【解決手段】筒状容器２０を包み込む筒状シート１１、該筒状シート底部の絞り固定手段、該筒状シートの上側に延びる吊りベルト１４を有し、筒状容器を包み込んだ筒状シートの底部を該容器胴部の横幅以下に絞り固定して該筒状容器を吊ることを特徴とする吊り具１０であり、好ましくは、筒状シートの底部に、該底部の周囲を巡る紐１５が設けられており、該紐を筒状容器胴部の横幅以下に結び止めする絞り固定手段が形成されており、さらに筒状シートの胴部に該胴部の周囲を巡るリング状の補強材１６が設けられている吊り具。 （もっと読む）

【課題】 シリコン単結晶引上げ終了時の使用済みルツボの取り出しが容易な石英ガラスルツボを提供する。
【手段】 外表面の全面または一部、好ましくはルツボ側壁の外表面に結晶化促進剤を含有し、高温下で外表面が結晶化するシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボにおいて、ルツボ外表面の結晶層の厚みが０.５〜２mmとなるように形成されていることを特徴とする石英ガラスルツボであり、引上げ終了後の冷却時にルツボ外層がサセプターに密着しても小さく破損するので、工具などで破砕する必要がなく、高価なサセプターを損傷する虞がない。 （もっと読む）

【課題】 シリコン単結晶引上げの高温使用下において機械的強度に優れ、引き上げ初期の転位発生がほとんど無く、単結晶化率の高い石英ガラスルツボとその製造方法を提供する。
【手段】 回転モールド法による石英ガラスルツボの製造方法において、結晶化剤を含有するシリカ粉を用い、このシリカ粉をアーク溶融する工程で、アーク電極とモールドの間に電圧をかけて結晶化促進剤をルツボ内表面に移動させ、かつルツボを１２００〜１６００℃の温度下に１０分以上保持することによって、厚さ１〜１０μmのルツボ内表面が結晶化促進剤を含有し、かつ結晶化度が８０〜９５％の半結晶層である石英ガラスルツボを製造する。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶引上げの高温使用下において機械的強度に優れ、引き上げ初期の有転位発生がほとんど無く、かつ単結晶化率の高い石英ガラスルツボを提供する。
【手段】シリコン単結晶引き上げに用いる石英ガラスルツボであって、ルツボ底部を除くルツボ直胴部に、ルツボ内層とルツボ外層によって結晶化促進層を挟み込んだ構造を形成し、ルツボ底部には結晶化促進層を設けないことを特徴とし、例えば、結晶化促進層を有する部分が、ルツボ上端部から直胴部長さの５％以上の範囲であり、結晶化促進成分としてアルミニウム、またはアルカリ土類金属を５０〜５００ppm含有し、結晶化促進層の厚さが１mm以上である石英ガラスルツボ。 （もっと読む）

【課題】 高温下での粘度が高く、かつ高純度の石英ガラスルツボとその製造方法を提供する。
【手段】 石英粉のガラス化の際に、高電圧を印加して金属不純物を除去する高純度石英ガラス材の製造方法において、アルミニウムとリチウムを含有した石英粉を用い、アルミニウムによってガラスの粘度を高める一方、リチウムによって電気抵抗を下げて精製効果を高めることを特徴とし、例えば、回転モールド法による石英ガラスルツボの製造方法において、少なくともルツボの外周部分にアルミニウム濃度５〜４５ppmおよびリチウム濃度がアルミニウム濃度の２％以上の石英粉を用いて製造されたルツボであって、１５００℃での粘度が９.６×１０⁹ポイズ以上であることを特徴とする石英ガラスルツボとその製造方法、およびこの石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の引き上げ方法。 （もっと読む）