【課題】マルチ引き上げにおいてもシリコンインゴットの結晶性の悪化を抑制することができるシリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】シリコン単結晶引き上げに用いるシリカガラスルツボ１であって、前記ルツボ１の壁が、前記ルツボ１の内面から外面に向かって合成シリカガラス層、天然シリカガラス層、不純物含有シリカガラス層及び天然シリカガラス層を有するシリカガラスルツボが提供される。前記不純物含有シリカガラス層は、前記ルツボ１の底部３３での厚さが前記ルツボ１の側部での厚さよりも薄いか、前記ルツボの底部には形成されない。また、前記不純物含有シリカガラス層は、前記ルツボ１の側部３１およびコーナー部３２において、前記ルツボ１の壁の厚さの３０％〜７０％の厚さである。 （もっと読む）

【課題】シリコンインゴットの引き上げの時間が極めて長い場合でも内倒れや座屈を効果的に抑制することができるシリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】シリコン単結晶引き上げに用いるシリカガラスルツボ１であって、前記ルツボ１の壁が、前記ルツボ１の内面から外面に向かって、気泡含有率が０．５％未満である透明シリカガラス層と、気泡含有率が１％以上５０％未満である気泡含有シリカガラス層と、気泡含有率が０．５％以上１％未満であり且つＯＨ基濃度が３５ｐｐｍ以上３００ｐｐｍ未満である半透明シリカガラス層を備えるシリカガラスルツボ。 （もっと読む）

【課題】モールド上部の断熱性（保温性）を向上させて、アーク加熱時の均熱性および熱効率を向上させることにより、石英ルツボ上部の径小薄肉化により切断除去を余儀なくされる部分を減少して、原料コストを低減する。
【解決手段】円筒状の直胴部と、すり鉢状の底部と、これらを連接するコーナー部とをそなえる石英ルツボ製造用モールドにおいて、該モールドの円筒状直胴部の上端から少なくとも１／５の上部領域を、高断熱構造とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、石英ルツボにシリコン原料融液が連続的又は断続的に供給され、前記シリコンルツボ内でシリコン原料融液の液面高さ位置が実質的に一定の状態となる場合であっても、内壁の侵食に起因した石英ルツボの破損を抑制できる単結晶引上げ用ルツボ及び単結晶引上げ方法を提供することにある。
【解決手段】前記石英ルツボ２０が、側壁外周の所定の高さ位置Ｈに、石英材料からなる側壁補強部２２を設けて前記側壁部分を厚肉側壁部２３とし、シリコン単結晶５の引上げ時、石英ルツボ２０が加熱されて軟化し、前記厚肉側壁２３部が前記黒鉛ルツボ３０の内壁面３０ａ形状に対応して変形することで、石英ルツボ２０の前記厚肉側壁部２３が内面側に部分的に迫り出してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶の引上げ中に、石英ガラス製ルツボの減肉判定を容易かつ正確に実施できる石英ガラス製ルツボを提供する。
【解決手段】上面に開口した縁部を有する円筒状の直胴部と、すり鉢状の底部と、それらを連接するコーナー部とを備える石英ガラス製ルツボ１であって、少なくとも直胴部の内壁面の水平線上、１箇所または２箇所以上に凹部２または窪み群３を設ける。凹部の幅は、１〜５００μmとし、その深さは、１μm以上とする。 （もっと読む）

【課題】石英ルツボにシリコン原料融液が連続的又は断続的に供給された場合であっても、内壁の侵食に起因した石英ルツボの破損を抑制できる単結晶引上げ用ルツボ及び単結晶引上げ方法を提供する。
【解決手段】石英ルツボ２０は、側壁２１の外周に、石英材料からなり、その上端部の高さ位置が、前記石英ルツボ２０の側壁の下端から測定して、前記側壁の上端までの距離の60〜90％の範囲にあり、その下端部の高さ位置が、前記石英ルツボ２０の側壁の下端から測定して、前記側壁の上端までの距離の5〜30％の範囲にある側壁補強部２２を設けて、前記側壁部分を厚肉側壁部２３とし、シリコン単結晶の引上げ時、石英ルツボ２０が加熱されて軟化し、前記厚肉側壁２３部が前記黒鉛ルツボ３０の内壁面３０ａ形状に対応して変形することで、石英ルツボ２０の前記厚肉側壁部２３が内面側に部分的に迫り出してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスルツボ内への異物侵入を、ルツボの実際の使用時期まで確実に回避し、汚染されない状態でのルツボの取り扱いを可能にし、多結晶シリコンやドーパント等を充填する工程において、内面が汚染されない状態での石英ガラスルツボの取り扱いを可能にし、更に、石英ガラスルツボ内にドーパント等を充填する工程を容易とする方法を提供する。
【解決手段】椀状の底部１０１、及び、底部１０１から延在し、底部１０１から離間する側に開口した周壁部１０２からなる有底円筒状の石英ガラスルツボ１を密閉するための蓋３であって、石英ガラスルツボ１の蓋３は、石英ガラスルツボ１の周壁部１０２の開口側の縁部２に着脱自在であり、かつ、ドーパントをルツボ１内に挿入するための、開閉可能な挿入部７を具える。 （もっと読む）

【課題】 内部に充填したシリコン融液の湯面振動を安定して抑制することができ、かつ長寿命のシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 周壁部、湾曲部および底部を有するシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボであって、該石英ガラスルツボは、前記周壁部の内面の特定領域に、複数個の微小凹部を具え、該微小凹部の下方位置に、複数個の気泡を具えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】石英ガラス製ルツボの品質評価用の試料およびその試料の作製方法とその試料を用いた品質等の評価方法およびその試料の作製装置とを提供する。
【解決手段】石英ガラス製ルツボの中心を含む方向にＵ型またはＪ型に切出した一次試料を、該一次試料の切出し方向に垂直かつ該一次試料の厚み方向に切出した二次試料に、該石英ガラス製ルツボの内壁面と外壁面を残し、これら内壁面と外壁面の間に複数の切込みを入れることにより設けた複数の短冊状部分を有する品質評価用試料を作製し、評価に用いる。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスルツボ製造時に、シリカヒュームによる石英ガラスルツボ製造装置部品の損耗を防止し、装置部品の磨耗粉、破損片に起因する石英ガラスルツボのコンタミネーションを抑制する。
【解決手段】モールド及びモールド駆動システムが設置された下部区画と、アーク電極駆動システムが設置された上部区画に石英ガラスルツボ製造装置を区分し、アーク電極が貫通可能な一以上の連通路を備えた区画部材を配し、上部区画内の気体と、下部区画内の気体の交換が抑制されるように気流を制御する。 （もっと読む）