【課題】 成膜速度を向上させた対向ターゲット式スパッタ装置及び対向ターゲット式スパッタ方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る対向ターゲット式スパッタ方法は、対向する一対のターゲット１，２を真空容器６内に配置し、前記一対のターゲットに電力を印加して放電させ、前記ターゲットから発生する発光が所定の発光量になるように反応性ガスの流量を制御しながらスパッタリングにより反応性膜を成膜するものである。 （もっと読む）

【課題】 ＣＶＤ用の原料溶液の流量を長時間にわたって精度よく制御することができるＣＶＤ用気化器、溶液気化式ＣＶＤ装置及びＣＶＤ用気化方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るＣＶＤ用気化器は、キャリアガス中に１種又は２種以上の原料溶液を微粒子状又は霧状に分散させるオリフィス管と、前記オリフィス管に前記１種又は２種以上の原料溶液を互いに分離して供給する１種又は２種以上の原料溶液用通路２１〜２５と、前記オリフィス管に前記キャリアガスを前記１種又は２種以上の原料溶液それぞれと互いに分離して供給するキャリアガス用通路３３と、前記オリフィス管で分散された前記１種又は２種以上の原料溶液を気化する気化管３１と、前記気化管と前記オリフィス管が繋げられ、前記オリフィス管で分散された前記原料溶液が前記気化管に導入される細孔と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明のガスバリア性測定方法は、プラスチックの吸湿量によりガスバリア性の評価がばらつくという課題を克服し、容器をはじめとしてプラスチック成形体のガスバリア性をその吸湿量によらず、測定値の応答が良く且つ精度良く測定することを目的とする。
【解決手段】本発明のガスバリア性測定方法は、プラスチック容器、プラスチックシート又はプラスチックフィルム等のプラスチック成形体を透過する測定対象ガスの透過量をガス分析装置により測定するガスバリア性測定方法において、前記プラスチック成形体の不純物濃度を低減する工程を有することを特徴とする。この工程にはプラスチック成形体に紫外線を照射するか、或いは、プラスチック成形体を減圧雰囲気におくか、或いは、プラスチック成形体を放電洗浄するかの少なくともいずれか一種を行なってプラスチック成形体を乾燥させる乾燥工程が含まれる。 （もっと読む）

【課題】 色彩、発色、光沢、発光（蛍光・りん光）、高輝度、光反射及び紫外線防護のうち少なくとも一つを向上させた被覆微粒子を提供する。
【解決手段】 本発明に係る被覆微粒子は、内部の断面形状が多角形を有する真空容器１を、前記断面に対してほぼ垂直方向を回転軸として回転させることにより、該真空容器１内の微粒子３を攪拌あるいは回転させながらスパッタリングを行うことで、該微粒子３の表面に該微粒子より粒径の小さい超微粒子又は薄膜が被覆された被覆微粒子であって、前記超微粒子又は前記薄膜は、金属、酸化物、窒化物及び炭化物からなる群から選ばれた一つ、又は前記群から選ばれた二つ以上の複合体からなり、化粧品又は塗料として使えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 微粒子又は粉体の表面に薄膜又は超微粒子を均一性よく被覆できるＣＶＤ装置及びＣＶＤ成膜方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るＣＶＤ装置は、微粒子１を載置する容器２と、前記容器２を収容するチャンバー３と、前記容器２に載置された微粒子１を加熱するヒーター４と、前記チャンバー３内に原料ガスを導入するガス導入機構と、を具備し、サーマルＣＶＤ法を用いることにより、前記微粒子１の表面に該微粒子より粒径の小さい超微粒子又は薄膜を被覆することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 微粒子の表面に被覆した超微粒子又は薄膜からなるマイクロカプセル及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るマイクロカプセルの製造方法は、重力方向に対して略平行な断面の内部形状が多角形である真空容器１内に微粒子を収容し、前記断面に対して略垂直方向を回転軸として前記真空容器１を回転させることにより該真空容器１内の微粒子３を攪拌あるいは回転させながらスパッタリングを行うことで、該微粒子３の表面に該微粒子より粒径の小さい超微粒子又は薄膜を被覆させ、前記被覆した超微粒子又は薄膜の母体となっている前記微粒子３を取り除くことを特徴とする。なお、微粒子３を取り除く際は、溶解、気化、抽出等の方法を利用することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 従来と比べて担持する物質の使用量を少なくすることによりコストを低減させた担持微粒子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る担持微粒子は、表面に細孔２１を有する微粒子３と、前記微粒子３の見掛け表面に担持された、該微粒子３より粒径の小さい超微粒子又は薄膜と、を具備し、前記超微粒子又は薄膜は、前記細孔２１内より前記微粒子３の見掛け表面に多く担持されていることを特徴とする。尚、見掛け表面とは、細孔内表面を含む微粒子の全表面から細孔内表面を除いた微粒子の表面をいう。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、溶液配管等における目詰まりを抑制して連続使用時間を長くしたＣＶＤ用気化器、溶液気化式ＣＶＤ装置及びＣＶＤ用気化方法に関する。【解決手段】 本発明に係るＣＶＤ用気化器は、複数の原料溶液を互いに分離して供給する複数の原料溶液用配管１，２と、前記複数の原料溶液用配管１，２の外側を包むように配置され、加圧されたキャリアガスが前記複数の原料溶液用配管１，２それぞれの外側に流さ
れるキャリアガス用配管３と、前記キャリアガス用配管３の先端に設けられ、前記原料溶液用配管１，２の先端から離隔された細孔と、前記キャリアガス用配管３の先端に接続され、前記細孔によって該キャリアガス用配管３の内部に繋げられた気化管１３と、前記気化管１３を加熱する加熱手段であるヒーターと、を具備する。
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【課題】 本発明は、溶液配管等における目詰まりを抑制して連続使用時間を長くしたＣＶＤ用気化器、溶液気化式ＣＶＤ装置及びＣＶＤ用気化方法に関する。【解決手段】 本発明に係るＣＶＤ用気化器は、複数の原料溶液を互いに分離して供給する複数の原料溶液用配管１，２と、複数の原料溶液用配管１，２の外側を包むように配置され、加圧されたキャリアガスが複数の原料溶液用配管１，２それぞれの外側に流されるキャリアガス用配管３と、キャリアガス用配管３の先端に設けられ、原料溶液用配管１，２の先端から離隔された細孔と、キャリアガス用配管３の先端に接続され、
前記細孔によってキャリアガス用配管３の内部に繋げられた気化管１３と、キャリアガス用配管３の先端、前記細孔及び前記気化部１３のうち少なくとも一つを洗浄する洗浄機構と、気化管１３を加熱する加熱手段であるヒーターと、を具備する。
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