【課題】 混合部を簡略化でき、流量及び発熱反応の制御により安定した七フッ化ヨウ素の製造を可能とする。機器の腐食を大幅に低減し、フッ素ガスの廃棄量を低減し、漏洩を防止して安全性を高める。
【解決手段】 フッ素ガスと予めガス化した五フッ化ヨウ素ガスを混合し、両者の反応温度以上の温度に加熱した反応器２０に導入して反応させ、反応生成物である七フッ化ヨウ素を冷却捕集し、未反応の五フッ化ヨウ素を冷却捕集して原料として再使用すると共に、未反応のフッ素ガスを原料としてコンプレッサ５０で循環供給することにより七フッ化ヨウ素を製造する。 （もっと読む）