【課題】初期撓みを抑制しつつ圧電素子の駆動による振動板の変位量を向上させることが困難であった。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された基板と、第１電極、一方側において第１電極と接する圧電体層および圧電体層の他方側に形成された第２電極を有し、前記圧力発生室に対応して形成され圧電素子と、を備える液体噴射ヘッドであって、前記圧電素子間に形成された中間セグメントと、引張応力を有する所定の素材で形成され、前記圧電素子と中間セグメントとの間を接続する接続膜とを備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】少なくともＢｉ、Ｂａ、Ｆｅ及びＴｉを含む圧電体層を備える圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる。
【解決手段】圧電体層は、少なくともビスマス、バリウム、鉄及びチタンを含むぺロブスカイト型酸化物を有する第１の層と、前記第１の層上に形成され、少なくとも鉛、ジルコニウム、及びチタンを含むペロブスカイト型酸化物を有する第２の層と、を備える。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ耐電圧性が高い液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び圧電素子を提供する。
【解決手段】 第１電極６０、圧電体層７０、及び第２電極８０を備えた圧電素子３００を具備し、圧電体層７０は、ビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、Ｘ線光電子分光測定においてＣ １ｓに起因するピークのＣ−Ｃ、Ｃ−Ｈ状態の結合エネルギーを２８４．８ｅＶとして規格化し、結合エネルギー７７５ｅＶ以上７８５ｅＶ以下の範囲において得られたピークを、ガウス関数を用いてピーク分離したとき、７７９．０±０．８ｅＶにピークを有すると共に、前記ピークよりも強度の低いピークを高結合エネルギー側に１本以上有する。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ変位特性の高い液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び圧電素子を提供する。
【解決手段】第１電極６０、圧電体層７０、及び第２電極８０を備えた圧電素子３００を具備し、圧電体層７０は、ビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、Ｘ線光電子分光測定においてＣ １ｓに起因するピークのＣ−Ｃ、Ｃ−Ｈ状態の結合エネルギーを２８４．８ｅＶとして規格化し、結合エネルギー７７５ｅＶ以上７８５ｅＶ以下の範囲において得られたピークを、ガウス関数を用いてピーク分離したとき、７８０．５±０．８ｅＶにピークを有すると共に、前記ピークよりも強度の低いピークを低結合エネルギー側に１本以上有する。 （もっと読む）

【課題】弾性膜の変位量の向上を図ったインクジェット式記録ヘッドを提供する。
【解決手段】実施の形態のインクジェット記録ヘッドは、ノズル開口部に連通する圧力発生室の一部を構成する弾性膜と、端部が弾性膜に接続され、中央部は弾性膜と空隙を介して対向し、下部電極、圧電膜、上部電極が積層された圧電膜積層部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】シリコン層を含む可動部の変位を大きくすることができる構造のシリコン装置を提供する。
【解決手段】シリコン装置としてのインクジェットプリンタヘッド１は、シリコン基板２と、シリコン基板２上に形成された酸化シリコン層５Ｂと、酸化シリコン層５Ｂ上に形成された拡散防止膜７０と、拡散防止膜７０上に設けられた圧電素子６とを含む。シリコン基板２にはインク溜まりとしての加圧室６２が形成されており、その天面部の薄いシリコン層５Ａと酸化シリコン層５Ｂとが振動膜５を構成している。圧電素子６は、拡散防止膜７０に接する下部電極７と、下部電極７上に設けられた圧電体層８と、圧電体層８上に設けられた上部電極９とを含む。シリコン基板２は、主面結晶方位（１００）のシリコン結晶からなる。 （もっと読む）

【課題】振動板の変位量を簡易な構造により増大させ、コストを増大させることなく、吐出効率が高い液体吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】液体を吐出するノズルが設けられた液室と、前記液室の前記ノズルとは反対側に圧電層及び電極が積層された圧電素子と、を有し、前記圧電素子に電圧を印加して前記圧電層を変形させ、前記液室に圧力を発生させることにより前記ノズルから前記液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、前記圧電層の分極方向と略直交する方向及び前記圧電層の前記分極方向と略同一方向に電界を与え、前記圧電層に変形を生じさせて前記ノズルから前記液体を吐出することで、前記圧電層の変位量を増大させ、液体吐出ヘッドの吐出効率を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ歪量が高い液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１から液体を吐出する液体噴射ヘッドであって、弾性膜５０上に、第１電極６０と、圧電体層と、圧電体層上に設けられた第２電極と、を具備する圧電素子３００を備え、圧電体層は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなり、圧電体層の膜厚を６２０ｎｍ以上１５２０ｎｍ以下の範囲とする。 （もっと読む）

【課題】電源電圧と駆動信号との電圧差を小さくすることができ、損失や発熱を低減することが可能な液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド２に設けられた複数のノズルと、それらのノズルに対応して設けられたノズルアクチュエータ２２と、それらのノズルアクチュエータ２２に駆動信号ＣＯＭを印加する駆動回路２０とを備えた液体噴射装置にあって、駆動信号ＣＯＭ又はその生成段階の信号から得た参照信号Ｖｃｎｔに基づいて当該駆動信号ＣＯＭへの電源電圧ＶＨＶ、ＶＬＶを予め設定された波形電圧に調整する電源電圧調整回路２１を備え、充放電型アクチュエータからなるノズルアクチュエータ２２に充電する駆動信号ＣＯＭや当該ノズルアクチュエータ２２を放電する駆動信号ＣＯＭと電源電圧との電圧差を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】変位量の大きい圧電アクチュエータ、およびそれを用いた液体吐出ヘッドならびに記録装置を提供する。
【解決手段】振動板２１ａ上に、内部電極３４、圧電セラミック層２１ｂおよび表面電極３５がこの順で積層されている圧電アクチュエータであって、表面電極３５の下の振動板の第１部位２１ａ−１、内部電極３４および圧電セラミック層の第１部位２１ｂ−１の厚さの合計が、表面電極３５の周囲の振動板の第２部位２１ａ−２、内部電極３４および圧電セラミック層の第２部位２１ｂ−２の厚さの合計よりも厚くなっており、表面電極３５の下の振動板２１ａおよび内部電極３４の厚さの合計が、表面電極３５の周囲の振動板２１ａおよび内部電極３４の厚さの合計より厚くなっている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の駆動を効率的に行う液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０の一方面側に圧力発生室１２に対応して設けられた第１電極６０、第１電極上に設けられた圧電体層７０及び圧電体層上に設けられた第２電極８０を有する圧力発生素子３００と、圧力発生素子３００毎に対して個別に設けられた第１電極６０に電気的に接続されるリード電極９０と、第２電極８０が形成されておらず前記圧電体層７０が露出している領域の、前記第１電極６０が部分的に露出されている領域に、前記第１電極６０に少なくとも一部が接して設けられている導電層８１と、を具備し、リード電極９０は、前記導電層８１を介して前記第１電極６０に接続されている。 （もっと読む）

【課題】振動板部材を電鋳で形成するときに位置合わせパターンを形成する領域の厚みが不均一になって高い精度で中心位置がずれ、圧電部材との接合精度が低下する。
【解決手段】振動板部材２は、電鋳で形成され、圧電部材１２の駆動柱１２Ａが当接する厚肉部からなる島状凸部２ｂと島状凸部２ｂの周囲の薄肉部２ａとからなるアイランド部２０を有し、振動板部材２には圧電部材１２と位置合わせするときの位置合わせパターンとして貫通穴２１、２１が形成され、貫通穴２１のノズル配列方向の両側にはアイランド部２０と同じ形状の肉抜きパターン２２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】駆動信号に関する制約を緩和しながら各噴射パルスの電位範囲を調整する。
【解決手段】圧電素子４５は、圧力室５０内の圧力を変化させてノズル５２からインクを噴射させる。駆動信号生成部６４は、圧電素子４５にインクを噴射させる噴射パルスＰAおよび噴射パルスＰBと、噴射パルスＰAと噴射パルスＰBとの間の第１遷移要素Ｍとを含む駆動信号ＣＯＭを生成する。駆動回路３６は、圧電素子４５に対する駆動信号ＣＯＭの供給を制御する。噴射パルスＰAの始端および終端は基準電位ＶAに設定され、噴射パルスＰBの始端および終端は基準電位ＶBに設定される。基準電位ＶAと噴射パルスＰAの最低電位との電位差δAは、基準電位ＶBと噴射パルスＰBの最低電位との電位差δBよりも小さく、基準電位ＶAは基準電位ＶBを下回る。第１遷移要素Ｍは、基準電位ＶAから基準電位ＶBに電位が変化する。 （もっと読む）

【課題】静電容量性負荷が放電する際のピーク電圧を下げることができ、これにより駆動電圧をできるだけ高めることが可能な静電容量性負荷の駆動回路およびインクジェットヘッドの駆動回路を提供する。
【解決手段】静電容量性負荷に充電されている電荷を直流電源へ戻る向きに放電させるとき、その放電のためにオン状態となる各スイッチのうち、少なくとも１つのスイッチのインピーダンスを、上記直流電源の出力電圧が高い場合は徐々に減少させて低い場合は速く減少させる。 （もっと読む）

【課題】圧電定数を向上させた圧電素子、前記圧電素子を用いた液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】一対の電極４０１，４０２と、一対の電極４０１，４０２に接して設けられた圧電材料４０３を少なくとも有する圧電素子４１０であって、圧電材料４０３はチタン酸バリウムを主成分とする結晶粒４０４、４０９の集合体４０５からなり、集合体４０５の結晶粒の中の少なくとも電極４０１と接している結晶粒４０４が、粒内に転位層４０７を有する。 （もっと読む）

【課題】振動板部材の第１凸部の高さが第２凸部の高さよりも高く形成されると、振動板部材と圧電部材を接合したときに、振動領域が液室側に初期状態で押圧されて振動領域の変位が制限を受け、安定した滴吐出特性が得られなくなる。
【解決手段】振動板部材３の振動領域３１には第１凸部３２が形成され、各液室２２の間の隔壁（液室間隔壁）１２２に対応して第２凸部３３が形成され、第１凸部３２には圧電部材４２の駆動柱１４２ａが接合され、第２凸部３３には圧電部材４２の非駆動柱１４２ｂが接合され、振動領域３１には、第１凸部３２の両側と液室隔壁１２２との間に、液室２２側に凸となる凹凸形状の撓み部３４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動板から保護膜へ伝えられる変位が、圧力室の壁に阻害される場合であっても、圧力室の吐出効率の低下を抑えた液滴噴射ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】圧力室と、圧力室を加圧する駆動部の間に、駆動部への液体の浸透を保護する保護膜を設け、保護膜の位置によって膜の厚さが異なる溝または流路促進部を形成することにより、圧力室内の液体を十分な吐出効率で噴射させる。 （もっと読む）

【課題】配線に印加する電圧に応じて所定量変形する圧電素子、安定した液体の噴射を行なう液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】下電極６０に形成された貫通孔６１の側面６１０で下電極６０と下電極用リード電極９０とが接触し、接触面である側面６１０で、下電極用リード電極９０が下電極６０の側面６１０に含まれるイリジウムを含んでいる。異種金属が接触している場合と比較して、同種の金属が接触している場合は、接触抵抗が低くなる。したがって、接触抵抗による電圧降下および発熱を低減でき、下電極用リード電極９０に印加する電圧に応じて機能する圧電素子を得ることができる。 （もっと読む）