【課題】 優れた圧電特性を有し、且つ圧電体層と上電極との密着性が向上した圧電アクチュエータの製造方法及び圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】 基板１０上に弾性膜２５を形成する工程と、弾性膜２５上に下電極１３を形成する工程と、下電極１３上に圧電体膜１４を形成する工程と、圧電体膜１４の一部にイオンを打ち込み、上電極形成用膜１５を形成する工程と、圧電体膜１４及び上電極形成用膜１５をパターニングし、圧電体層１６及び上電極１７を形成する工程と、を含んでなる圧電アクチュエータの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 ヘッドの小型化及びコストの低減を図ることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液滴を吐出するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が画成される流路形成基板１０と、該流路形成基板１０に設けられた振動板を備えたアクチュエータ装置とを具備し、前記流路形成基板１０の前記アクチュエータ装置側には保護基板３０が接合されていると共に当該保護基板３０上には、前記アクチュエータ装置を駆動するための駆動回路１１０が設けられており、前記駆動回路１１０には、各アクチュエータ装置の個別電極８０が電気的に接続される個別端子１１１ａと、外部配線１３０が直接接続される接続端子１１２ａとを設けると共に、前記駆動回路１１０には、複数のアクチュエータ装置に共通する共通電極６０に電気的に接続される共通端子１１１ｂと、当該共通端子１１１ｂに導通配線１１３を介して接続されると共に外部配線１３０が直接接続される共通接続端子１１２ｂとを設ける。 （もっと読む）

【課題】 液滴吐出特性の低下を防止した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液滴を吐出するノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０と、このノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成される流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の前記圧力発生室１２に対応する領域に振動板を介して設けられて前記圧力発生室１２内に液滴吐出のための圧力を付与する圧電素子３００とを具備し、前記ノズルプレート２０と前記流路形成基板１０とが接着剤２２を介して接合されると共に、前記圧力発生室１２の長手方向の前記ノズル開口２１が形成されている側の周壁に段差面１５が形成され、且つ前記ノズル開口２１の少なくとも一部を、前記段差面１５の前記周壁側の一端部よりも他端部側となるように配置する。 （もっと読む）

【課題】 基板の反りを低減して印刷品質を向上すると共に信頼性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液滴を吐出するノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０と、このノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成される流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の前記圧力発生室１２に対応する領域に振動板を介して設けられて前記圧力発生室１２内に液滴吐出のための圧力を付与する圧電素子３００とを具備し、前記ノズルプレート２０が前記流路形成基板１０よりも線膨張係数の大きな材料からなると共に、当該ノズルプレート２０以外の少なくとも前記流路形成基板１０を含むヘッド基板には、前記圧力発生室１２の並設方向に亘って前記流路形成基板１０よりも線膨張係数の小さな低膨張率部材２００が前記ノズルプレート２０に接合されることなく設けられている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液体吐出装置の製造方法に関し、例えばサーマル方式によるインクジェットプリンタに適用して、シランカップリング剤により密着性を向上して撥水性膜を形成した後、液室側面、ノズル内側壁面から選択的に撥水性膜を除去する場合に、安定かつ確実に液滴を吐出させることができるようにする。
【解決手段】 本発明は、酸素ラジカルにより局所的に撥水材を除去した後、三フッ化塩素又は二フッ化キセノンの照射によりシリコン酸化膜を除去する。 （もっと読む）

【課題】
圧電振動子の機械的強度を低下することなく、高密度に実装したノズルを構成し、より微細なインク滴を精度良く飛翔させる飛翔特性の継続的な安定化を図る。また、圧電振動子の先端に塗布する接着剤の量の制御を容易にし、より安価で高精細かつ高速印刷分野へ適用可能なインクジェット式記録装置用ヘッドを提供する。
【解決手段】
接着剤（７０）を介して振動板（３１）に当接する圧電振動子（５１）の凸部（５１ａ）先端面から棚部までの高さが２０μｍ以上あり、接着剤（７０）の硬化後の硬度がＪＩＳ―Ｄスケールで３０°以下、かつヤング率が２．５×１０^８〜７．０×１０^８Ｐａとする。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの高密度化と小型化が図れ、かつ、製造工程において適切な接合が可能とされたインクジェット記録ヘッドの提供を課題とする。
【解決手段】 振動板５２及び圧電素子５４を含んで構成される圧電素子基板５０を間に置いて、下側に流路基板８０を配置し、上側に第１上部基板７０を配置する。圧電素子基板５０と第１上部基板７０との間には、流路基板８０の圧力室隔壁８２に対応する位置に沿ってリブ隔壁６８が配置されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、駆動電圧と変位量との関係において圧電体の強誘電特性に起因して生じる非線形性やヒステリシスの問題、及び圧電駆動素子を高温で製造しなければならないという問題を克服し、高精度化及び高速化が図られた液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】 液体を注入するための液体注入口５と、注入された前記液体を貯蔵するための液体貯蔵部６と、貯蔵された液体を噴射する液体噴射口７と、前記液体貯蔵部に貯蔵された前記液体を前記液体噴射口７から噴射するために前記液体に圧力を加えるための圧電駆動素子１と、該圧電駆動素子によって振動させられる振動板３と、を有し、前記圧電駆動素子は非強誘電性の圧電体膜２０Ｂを有する液体噴射装置。 （もっと読む）

【課題】 中空領域の形状を任意に設計することができる三次元中空構造体を製造する方法を提供する。
【解決手段】 シリコン基体中に部分的に多孔質領域を形成する工程、前記多孔質領域を形成した基体上にシリコン層を形成し、前記シリコン層中に部分的に多孔質領域を形成する工程、及び前記多孔質領域をエッチング除去して中空領域を形成する工程を少なくとも有する。三次元中空構造体の製造方法は、接合部がなく、それにより耐熱性、耐久性に優れ、位置精度の良いインクジェット記録装置の吐出ヘッドの製造に用いられる。 （もっと読む）

【課題】駆動信号生成部の発熱に起因する動作の停止を防止して、処理の高速化を図る。
【解決手段】
第１駆動信号ＣＯＭ_Ａを主に生成する第１駆動信号生成部７０Ａと、第１駆動信号ＣＯＭ_Ａよりも消費電力の小さい第２駆動信号ＣＯＭ_Ｂを主に生成する第２駆動信号生成部７０Ｂとを有する。そして、第２駆動信号生成部７０Ｂにはサーミスタを設けず、第１駆動信号生成部７０Ａのみにサーミスタ５５を設ける。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータの駆動効率の向上とクロストークの抑制が可能であり、さらに、圧力室内に滞留する気泡をより確実に排出することのできる液体移送装置を提供すること。
【解決手段】 圧力室１４のインク流入口１４ａとインク流出口１４ｂは圧力室１４の縁の近傍に配置され、振動板３０の圧力室１４側の面の、各圧力室１４の縁よりも内側で、且つ、個別電極３２と重なる領域よりも外側の領域（駆動部３１ａよりも外側の領域）には、圧力室１４の縁に沿って延びる溝４０が形成されており、さらに、振動板３０の圧力室１４側の面の、インク流入口１４ａと重なる領域とインク流出口１４ｂと重なる領域には、溝４０を分断する分断部４１がそれぞれ設けられている。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出特性を良好に保持できると共に安定した液体吐出特性を得ることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 複数の圧電素子に共通する共通電極である下電極６０が、引き出し電極の周囲に亘って連続的に形成されると共に、圧電素子に対向する領域の外側の下電極６０上に、下電極６０の材料とは熱膨張係数の異なる材料からなる第１のリード電極と同一層で形成される第１の積層電極１４０と、第２のリード電極と同一層で形成される第２の積層電極１５０とを有し、且つ第１の積層電極１４０は第１の絶縁膜１００を介して下電極６０上に設けられて下電極６０とは非接触であり、第２の積層電極１５０が第２の絶縁膜１１０を介して第１の積層電極１４０上に設けられると共に下電極６０及び第１の積層電極１４０とそれぞれ接触しているようにする。 （もっと読む）

【課題】駆動信号生成部の発熱に起因する動作の停止を防止して、処理の高速化を図る。
【解決手段】第１駆動信号ＣＯＭ_Ａを主に生成する第１駆動信号生成部７０Ａと、第１駆動信号ＣＯＭ_Ａよりも消費電力の小さい第２駆動信号ＣＯＭ_Ｂを主に生成する第２駆動信号生成部７０Ｂと、第１駆動信号ＣＯＭ_Ａと第２駆動信号ＣＯＭ_Ｂに基づいて、液体を吐出させるための動作をするピエゾ素子４１７と、第１駆動信号生成部７０Ａの温度が閾値を超えた場合に、第１駆動信号生成部７０Ａに第２駆動信号ＣＯＭ_Ｂを生成させるコントローラ（プリンタ側コントローラ６０）とを有する。 （もっと読む）

【課題】 外部配線との十分な接合強度を得ることができ、外部配線に接合される部分が通電時に発熱するのを防止することができるフレキシブルプリント配線基板及び液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 絶縁基板２と、絶縁基板２の少なくとも一方面に設けられ且つ少なくとも１つの配線４により構成される配線パターン３とを具備するフレキシブルプリント配線基板１及びこのフレキシブルプリント配線板を有する液体噴射ヘッドであって、配線４は、外部配線２００に電気的に接続される接続部５と、接続部５から延設され且つ接続部５以外の部分である非接続部６とを有し、非接続部６の接続部５側の端部は、接続部５と外部配線２００とを熱接合する際に接続部５に付与される熱の非接続部６側への拡散を低減する熱拡散低減部７となっている。 （もっと読む）

【課題】長尺化したインクジェットヘッドにおいて、被覆樹脂の剥離を防止する。
【解決手段】インク吐出圧力発生素子１が形成された基板２上に信頼性のある液流路を形成するために、液状光カチオン硬化型エポキシ樹脂組成物は、少なくとも脂環式エポキシ樹脂とビスフェノールＡ型エポキシ樹脂とシランカップリング剤と硬化剤とからなる構成とし、その主剤である脂環式エポキシ樹脂に、平均分子量９００〜６００００のビスフェノールＡ型エポキシ樹脂を１０〜４５ｗｔ％混合させることにより、被膜樹脂の応力を緩和させる。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットヘッドのノズル面をキャップ体で覆ってメンテナンス等を行う際に、キャップ体の押圧によってインクジェットヘッドに変形を生じることなく、またインクジェットヘッドの小型化、軽量化を図ることのできる画像記録装置を提供する。
【解決手段】 インクを吐出する複数のノズル２３と、各ノズル２３毎に連通する複数の圧力室２４と、各圧力室２４にインクを分配する共通インク室２５とを有するインクジェットヘッド２を備え、前記複数のノズル２３の開口を覆うキャップ体１２が、ノズル２３の開口面に対して接離可能に設けられた画像記録装置１において、共通インク室２５は、ノズル２３の開口面に直交する側面視にて、圧力室２４とノズル２３の開口面との間に配置され、キャップ体１２には、ノズル２３の開口の周囲を囲むようにその開口面と密着可能な突出部４７が、ノズル２３の開口面に平行な平面視にて、共通インク室２５の領域と交差しない位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するノズル開口にそれぞれ連通する圧力発生室が形成される流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に振動板を介して設けられる下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００と、上電極８０から圧力発生室１２の周壁上に延設される第１のリード電極９０とを少なくとも有すると共に、圧電素子３００と第１のリード電極９０との間に無機絶縁材料からなる第１の絶縁膜１００が設けられ、少なくとも圧電素子３００及び第１のリード電極９０のパターン領域が第１のリード電極９０の他端部に設けられる端子部を除いて無機絶縁材料からなる第２の絶縁膜１１０によって覆われているようにする。 （もっと読む）

【課題】 １インチヘッドなどの長尺のインクジェット吐出素子の反りによる残留応力の影響を低減して、収率ならびに品質を向上させる。
【解決手段】 インクジェット吐出素子（ヒーターボード）と筐体（チップ）との間の接着接合面を、ヒーターボードの反り曲面に合せて、曲面形状の構成にして、組立時の残留応力を低減もしくは、解消する。
これにより、残留応力が無くなるか、もしくは、逆方向の残留応力を発生させてＣＲ剥がれやチップ割れなどの低減を可能とする。 （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化に伴って個別電極の端子部が高密度化するのを避け、実装アラ
イメントのずれ等による配線の短絡等を防止することができる静電アクチュエータ等を提
供する。
【解決手段】複数の振動板２を有する第１の基板１と、振動板２にそれそれ対向する位置
に個別電極１１を有する第２の基板１０とを備え、振動板２の共通電極端子部５０と個別
電極の端子部１１ａにフレキシブル配線基板３０を接続して振動板２及び個別電極１１間
に電圧を印加し、これにより発生する静電気力によって振動板２を駆動させる静電アクチ
ュエータであって、個別電極の端子部１１ａを第２の基板１０の幅方向全域に配置すると
ともに、共通電極端子部５０を個別電極の端子部１１ａよりも振動板２に位置する第１の
基板１上に配置した。 （もっと読む）

【課題】 これまで常温環境下で使用されるインクジェットヘッドと固体インクや高粘度を有するインクを加温して使用するインクジェットヘッドとは、其々全く別の構成となっていた。
【解決手段】 ノズル開口に対応して配列された前記圧電アクチュエータに電気信号が印加される事により、前記圧電アクチュエータの前記自由端側の先端により前記圧力室の容積を膨張、収縮させ、前記ノズル開口からインク滴を外部に吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記、支持基板と流路形成部材とが、略同一の線膨張係数を有しガラス材質からなる絶縁性材料であることを特徴とし、前記支持基板は絶縁性を有する材料で線膨張係数が１．４×１０^−５から１．８×１０^−５とした。 （もっと読む）