【課題】 犠牲層エッチングでギャップを形成する場合に、エッチングホールを封止してもギャップ内を外気と完全に遮断できず、アクチュエータ駆動室内の圧力変動によって、振動板の動作が不安定になり、滴吐出特性が変動する。
【解決手段】 アクチュエータ基板１は犠牲層エッチングで形成した空隙１３を介して対向する振動板１２と電極１４とを対向して配置し、犠牲層を除去するための犠牲層ホール３０を振動板１２の一部を構成するシリコン酸化膜２８を封止膜に用いて封止し、シリコン酸化膜２８上に耐腐食性膜２９を形成した。 （もっと読む）

本発明は、窒素残留ガスを用いて、混相の圧縮性タンタル薄膜（１１２）を形成する方法（２００）を包含する。当該方法（２００）は、所定のβタンタル対αタンタル比率に応じて、プラズマスパッタリング時の窒素残留ガス圧を選択すること（２０４）を含むことができる。当該方法（２００）は、３００℃未満の基材温度において実行することができる。混相の圧縮性タンタル薄膜（１１２）及び流体吐出デバイス（１００）も開示する。
（もっと読む）

【課題】ノズルシートの剛性の確保と印画品位の向上とを両立させることができるようにする。
【解決手段】ノズル１８が形成されたノズルシート１７の表面に、ノズル１８の開口幅よりも大きい開口幅を有するとともに、ノズル１８の外側を囲う凹部１９を形成し、凹部１９の底面部にノズル１８が位置し、凹部１９の隅角部１９ａの内角が９０°よりも大きい角度を有するようにする（例えば、隅角部１９ａを曲面や斜面とする）ことで、凹部１９内に付着したインクが引きちぎられることなくノズル１８内に戻され、凹部１９内にインク溜まりが発生しないようにした。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドに使用する圧電性セラミックスに金属素子又は樹脂材料からなる構成部材を接着するには、エポキシ系接着剤とイミダゾールからなる硬化剤を使用しても１５０℃以上の高温状態で２０時間以上放置しなければインクにたいして満足する耐久性が得られない。
【解決手段】インクジェットヘッドの接着工程において不活性ガスを使用することにより、エポキシ樹脂とイミダゾール硬化剤を使用し、低温（１０℃〜５０℃）で硬化してかつ表面のべとつきのない接着を行うことができるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 水分によって個別電極の駆動が不安定になるのを防止し、また個別電極が酸化
するのを防止することのできる静電アクチュエータ及びその製造方法、この静電アクチュ
エータを適用した吐出性能が高い液滴吐出ヘッド及びその製造方法、この液滴吐出ヘッド
を搭載した液滴吐出装置、上記の静電アクチュエータを搭載したデバイスを提供する。
【解決手段】 振動板１２と、該振動板１２にギャップ２１を隔てて対向する対向電極１
７と、該対向電極１７が形成される電極基板３とを備え、該電極基板３上にパッシベーシ
ョン膜２２が形成され、該パッシベーション膜２２上に対向電極１７が形成されているも
のである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ワイパに対して従来よりも高い耐刷性を有し、また、簡素化されたプロセスによって形成されることができる撥水膜及び撥水膜の形成方法を提供することを例示的目的とする。
【解決手段】撥水膜を扁平硬質体とメッキ加工されたフッ素重合体とより構成し、ノズルを有するノズル板を基材として前記ノズル近傍に形成した。 （もっと読む）

【課題】 応力集中によって振動板にクラック等が発生するのを防止することができる液体噴射ヘッド及びこの液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられて二酸化シリコンからなる第１の弾性膜５０と第１の弾性膜５０上に設けられて第１の弾性膜よりも靭性の高い材料からなる第２の弾性膜５５とを少なくとも有する振動板と、振動板上に設けられて下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００と、流路形成基板１０の振動板上に接合され圧電素子３００を保護する圧電素子保持部３１を有する保護基板３０とを具備し、且つ圧電素子保持部３１の縁部の少なくとも内側に、振動板を構成する第１の弾性膜５０を圧電素子保持部３１の縁部に沿って分離する第１の弾性膜分離部５１を有するようにする。 （もっと読む）

アレイデバイスに対するトランジスタ回路が、電気的に並列に接続され、かつ共通基板に提供される複数の薄膜トランジスタを有する。そのトランジスタは、少なくとも２行のトランジスタ20₁、20₂、20₃、として基板上に配置され、第１及び第２の行におけるそのトランジスタのソースライン30は異なる幅を持ち、第１及び第２の行におけるそのトランジスタのドレインライン32は異なる幅を持つ。すべてのソース30は一緒に接続され、すべてのドレイン32は一緒に接続される。ソース接続は幅広なソースラインの端部に与えられ、ドレイン接続は幅広なドレインラインの端部に与えられる。これは、レイアウト領域及び幅広なチャネルのTFTのピッチを減らすソース及びドレインレイアウトを提供する。一方、高電流密度が原因によるソース及びドレイン端子／ラインでの劣化を防ぐ。そのレイアウトは、本質的に、順に並列に接続される小さな並列TFTのグループを有する。
（もっと読む）

【課題】優れた圧電／電歪特性を有するとともに、屈曲変位が多数回繰り返されるような場合であっても十分な耐久性を発揮する圧電／電歪体を提供する。
【解決手段】圧電／電歪性を有する多数の結晶粒子３１からなる膜状又は１以上の層を持つ層状の圧電／電歪体３０である。任意の厚み方向の断面において観察される多数の結晶粒子３１に占める、厚み方向の少なくともいずれかの外部との界面３５ａ，３５ｂにその一部が露出している結晶粒子３２の個数割合が、８０％以上である。 （もっと読む）

【課題】 発熱したドライバＩＣによる熱を伝わりにくくする。
【解決手段】 インクジェットヘッドユニット８は、制御基板８４とバッファタンク４８とインクジェットヘッド３０とを含んでいる。インクジェットヘッド３０の上面には、ドライバＩＣ８０が実装された配線部材７０が接合されている。配線部材７０は、インクジェットヘッド３０と制御基板８４との間に延在する基材７２，７７と、インクジェットヘッド３０と制御基板８４とがドライバＩＣ８０を介して電気的に接続されるように基材７２，７７上に形成された複数の配線とを備えている。そして、基材７７がドライバＩＣ８０とバッファタンク４８とを結ぶすべての仮想線分９１及びドライバＩＣ８０と制御基板８４とを結ぶすべての仮想線分９２と複数回交差するように屈曲した状態で配されている。 （もっと読む）

【課題】 可変電極や対向電極の対向面に形成した絶縁膜に経時的な絶縁破壊が生じて静電型アクチュエータが損傷するなど、耐久性が十分でない。
【解決手段】 一対の平面形状が略矩形状である変形可能な可変電極１と固定された対向電極２とを所定の空隙３を介して対向配置してなり、可変電極１及び対向電極２の対向面側にはそれぞれ絶縁膜４、５を形成し、可変電極１の絶縁膜５は、アクチュエータ長手方向両端部分６、６の厚みｔ２を、他の部分（中央部分７）の厚みｔ１よりも厚く（ｔ２＞ｔ１）形成した。 （もっと読む）

【課題】 振動板の角部に隙間を確保して壁部と振動板との角部に接着剤を存在させないようにする。
【解決手段】 弾性膜５０の少なくとも圧力発生室１２内側の面にＴｉＷ薄膜６２を形成した後にノズルプレート２０を接着する工程と、ＴｉＷ薄膜６２をエッチング除去するための過酸化水素水を通水してＴｉＷ薄膜６２を除去する工程とを備え、壁部１１と弾性膜５０とが当接する角部に接着剤を存在させないようにし、弾性膜５０の変位量の低下やばらつきを防止する。 （もっと読む）

【課題】圧力発生室を形成した後の保護膜形成工程を無くして、耐液体性に優れた液体噴射ヘッドを形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板となるベース基板の一方面に、少なくとも前記圧力発生室となる領域の外周に亘って当該圧力発生室以上の深さで凹部を形成する工程と、前記ベース基板の前記凹部内に耐液体性を有する保護層を形成して前記凹部を当該保護層で埋める工程と、前記ベース基板の前記一方面を平坦化する工程と、前記ベース基板の平坦化された面に振動板を介して圧電素子を形成する工程と、前記ベース基板の他方面を研磨して前記保護層を露出させる工程と、前記ベース基板を前記他方面側から前記保護層が残るようにエッチングして、前記保護層で側面が画成された前記圧力発生室を有する前記流路形成基板を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の倒れ、チッピングなどが生じることなく、歩留まり良く、多数ノズル数を有するヘッドを得ることができない。
【解決手段】流路基板１と振動板２及びノズル板３とを備えてノズル５が連通する加圧液室６を形成し、各加圧液室６に対応して振動板２には積層型圧電素子１２ａを接合し、この複数の圧電素子１２ａを有する複数の積層型圧電素子部材１２、１２…を、積層型圧電素子部材１２の長手方向に沿ってベース部材１３上に配置するとともに、各積層型圧電素子部材１２の圧電素子１２ａは完全に分割しないで架橋部２７を残して溝３０を形成した。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法（ＡＤ法）にて製膜された圧電膜であっても膜応力が除去された圧電膜を有し、これにより振動板の反りの発生やデバイスの耐久性の低下を解決することができる液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】犠牲基板６１上に犠牲層６２を形成し、この犠牲層６２上にＡＤ法にてＰＺＴ圧電膜６３を製膜する（図５（Ａ）、（Ｂ））。このＰＺＴ圧電膜６３のアニール処理後、ＰＺＴ圧電膜６３上に共通電極６４及び振動板６５を形成し、その後、エッチングで犠牲層６２を取り去り、犠牲基板６１を剥離する（図５（Ｃ）〜（Ｆ））。これにより、ＡＤ法にて製膜されたＰＺＴ圧電膜６３の膜応力を除去する。その後、圧力室隔壁６６の接着、ＰＺＴ圧電膜６３のパターン化、個別電極６７の形成、及びノズルプレート６８の接着を行って液圧シリンダ６０を作製する（図５（Ｇ）〜（Ｉ））。 （もっと読む）

【課題】 大きなドット若しくは大きなドットに相当するドット群を得るために、複数回の駆動パルス印加を行なうと、長期間の駆動で電極上の絶縁膜が損傷を受けアクチュエータの機能が維持できなくなる。
【解決手段】 １駆動周期内で３つの駆動パルスを順次印加するとき、各駆動パルスの間の区間（時間間隔）Ｔｄ３１，Ｔｄ３２において、駆動パルス電圧と同極性で、かつ、０より大きく、駆動パルスの電位Ｖｐより小さい電圧Ｖｐ３１ｄ及びＶｐ３２ｄを印加する駆動波形を印加する。 （もっと読む）

【課題】 複数枚の金属プレートの積層体を拡散接合で接合する際に、積層体内部から空気を確実に逃がすことが可能なインクジェットヘッド、及び、インクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 流路ユニットの少なくとも一部を構成する積層状の複数枚の金属プレート２２〜３０には、インク流路から分岐して大気へ開口する第１大気連通路４６と、ダンパー室から分岐して大気へ開口する第２大気連通路４７とが形成され、これら第１大気連通路４６及び第２大気連通路４７は、その大気への開口部において共に封止されている。 （もっと読む）

【課題】異物の発生を低減させて貫通孔を形成することができる薄膜基板の穴開け方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜基板の貫通孔が形成される貫通孔形成領域内の少なくとも外周の剛性を他の領域よりも相対的に低下させる工程と、前記薄膜基板の一方面に弾性変形可能な剥離膜を形成する工程と、前記剥離膜を前記薄膜基板から剥離することにより前記貫通孔を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 振動板の剥がれを防止して耐久性及び信頼性を向上した液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 基板の一方面に振動板を形成する工程と、振動板上に下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を形成する工程とを具備し、振動板を形成する工程が、基板の一方面側にジルコニウム層を形成する成膜工程と、ジルコニウム層を所定の熱酸化温度で熱酸化させて酸化ジルコニウム層からなる絶縁体膜を形成すると同時に絶縁体膜の応力を調整する熱酸化工程とを少なくとも含む絶縁体膜形成工程を有するようにする。 （もっと読む）

【課題】加工精度が良く、耐熱性、耐久性、信頼性の高い安価な液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】この液体吐出ヘッド６０は、熱膨張係数が13×10^-6／°Ｃ以下の耐熱性及び耐食性材料のシリコンからなる圧力室隔壁６１’と、圧力室隔壁６１’上にエアロゾルデポジション法によって形成され、熱膨張係数が13×10^-6／°Ｃ以下の耐熱性及び耐食性材料のアルミナからなる振動板６２と、振動板６２上（下部電極６３上）にエアロゾルデポジション法によって形成されたＰＺＴ圧電膜６４とを備えている。圧力室隔壁６１’及び振動板６２は、アニールを行っても変形や変質、組成変化が発生することがなく、また、ＰＺＴ圧電膜６４の剥離や割れなどが生じず、更に腐食性がある液体を使用しても溶解や変質することがない。 （もっと読む）