【課題】ワイピング耐性に優れ、製造工程においてノズル基板に割れや欠けが生じることがなく加工を簡易かつ確実に行うことができる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル部７が形成されているノズル基板４と、ノズル基板４のノズル部７に連通する吐出室１３とを備え、吐出室１３内の液をノズル部７から吐出させる液滴吐出ヘッド１であって、ノズル基板４のノズル部７の吐出側にテーパ状に拡径したテーパ部８を設け、テーパ部８に撥液膜９を形成した。この場合、ノズル基板４のノズル部７の裏面側に拡径部６を有する。また、撥液膜９が、フッ素基含有のシランカップリング剤よりなる。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの繰り返し駆動に対して変位劣化の少ない圧電アクチュエータ及び液体吐出装置を提供する。
【解決手段】振動板の上に、共通電極、圧電セラミック層をこの順に形成し、前記圧電セラミック層の表面に複数の駆動電極をマトリックス状に配列してなるとともに、該駆動電極と、前記共通電極の前記駆動電極に対向する対向部位と、前記駆動電極及び前記対向部位で挟持される前記圧電セラミック層の挟持領域と、で形成される変位領域の分極方向が、変位領域間に形成された非変位領域の分極方向と異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低温でプリンタヘッドの部材同士を接合して溶剤系のインクの流路を形成する。
【解決手段】プリンタヘッドの吐出口２１が形成された前面部材２とベース部材３とにおいて、前面部材２のベース部材３側の面の流路との境界に金の金属層である境界部２２１を設け、ベース部材３の前面部材２側の面にも金の金属層３０２を設ける。境界部２２１と金属層３０２とはプラズマ処理を施した後、低温にて金属接合される。これにより、前面部材２とベース部材３との母材同士を直接金属接合する場合に比べて低温で接合を行うことができ、高い精度にて形成された吐出口２１を有する前面部材２の変形を抑えつつ接合を行うことができる。また、金属接合により溶剤系のインクに適した流路を形成することができる。さらに、ピエゾを有する部材とベース部材３との接合に際してもプラズマ処理を利用した低温の金属接合を行うことにより、ピエゾの破損を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット記録装置の信頼性の向上。
【解決手段】 熱エネルギーによってインクを吐出するインクジェット記録装置において、ヒータ抵抗値が他と比べて大きいものは早期に不良化する可能性が高い。よって、記録ヘッドの出荷前検査時においてそのような記録素子を判別し、その情報を記録ヘッドに搭載された不揮発メモリに記憶させ、記録装置本体は記録ヘッドの装着時にその情報を読み込み、情報があればその記録素子の吐出周波数を低減し、その分補完関係にある記録素子の吐出周波数を増加することで、早期に不良化する可能性が高い記録素子の寿命を伸ばし、インクジェット記録装置全体として信頼性を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】自発分極の大きな、薄膜化に適した、特性の劣化のない強誘電体薄膜素子ならびにこれを用いた圧電アクチュエータおよび液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】基板と該基板上に設けられたエピタキシャル強誘電体薄膜とを備えた強誘電体薄膜素子において、エピタキシャル強誘電体薄膜の結晶面のうち、基板表面の結晶面に平行な結晶面をZ結晶面、Z結晶面の面間隔をzとし、エピタキシャル強誘電体薄膜の構成材料のバルク状態でのZ結晶面の間隔をz₀としたとき、ｚ ／ z₀ ＞ １．００３であり、
Ｚ結晶面に垂直なエピタキシャル強誘電体薄膜の結晶面の一つの結晶面をX結晶面、X結晶面の面間隔をxとし、エピタキシャル強誘電体薄膜の構成材料のバルク状態でのX結晶面の面間隔をx₀としたとき、０．９９７ ≦ x ／ x₀ ≦ １．００３であることを特徴とする強誘電体薄膜素子。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッド用の発熱抵抗体について上述した諸問題を解決し、高品位な記録画像を長期にわたって得ることを可能にする発熱抵抗体を有するインクジェットヘッドとその製造方法を提供することにある。
【解決手段】ＲｕＳｉＯＮで表わされる材料からなる発熱抵抗体膜を、インクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する発熱抵抗体に用いたインクジェット装置である。 （もっと読む）

【課題】異方性導電フィルムの接着性向上と封止剤によるシーリングを廃止した記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッドを構成する電気コンタクト基板において、電気配線テープとの電気接続で使用している異方性導電フィルムとの接着力を向上させるパターンを配置するための空きスペースと接着力向上パターンが構成されているコンタクト基板であり、このコンタクト基板を使用することにより接続部の封止をなくせるインクジェット記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】 ドロップボリュームのサイズを大きく変化させても連続印字安定性、印字品質、吐出速度バラツキ、駆動周波数等の特性を劣化させることがなく安定的に印字することができるインクジェット式記録装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 圧電セラミックスプレートにノズル開口に連通し且つインクの充填されたチャンバを複数併設すると共に各チャンバの両側の側壁に電極が設けられたインクジェットヘッドを具備し、前記電極を介して前記側壁に前記チャンバ内の容積を一時的に膨張させる駆動電圧パルスとチャンバ内の容積を一時的に圧縮する駆動電圧パルスを印加することでインクを吐出させるインクジェットヘッド記録装置において、チャンバ内の容積を一時的に膨張させる駆動電圧パルスを印加する前にチャンバ内の容積を一時的に圧縮させる駆動電圧パルスを少なくとも一つの吐出するチャンバに対して印加する駆動電圧パルス制御手段を具備することを特徴とするインクジェット式記録装置。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータ部の配線接続部における上電極と下電極の高低差を低減し、配線基板との接続不良を防ぐ。
【解決手段】流路基板１に形成された圧力発生室２を覆うように配設された振動板４上に、下電極５、圧電層６、上電極７を順次積層して圧電アクチュエータ部８を形成し、上電極７および下電極５を配線接続部９まで引き出して、駆動信号を供給する配線基板に接続する。圧電層６は、その膜厚を漸減しながら下電極５の積層領域を越えて延在する膜厚漸減部６ａを有し、上電極７は、膜厚漸減部６ａに沿って下電極５と同一平面に引き出される。 （もっと読む）

【課題】支持基板の材料の制約を受けることがなく、その支持基板上に成膜される圧電体の膜応力を低減させ、支持基板の変形を抑制可能にする。
【解決手段】この圧電アクチュエータ６０は、振動板となるZrO2基板６２上にエアロゾルデポジション法によりＰＺＴ圧電膜６４を成膜して構成されるが、このZrO2基板６２とＰＺＴ圧電膜６４との間にスパッタ法等により所要の厚みをもった白金(Pt)からなる応力バッファ層６６を介在させる。ZrO2の熱膨張係数はＰＺＴの熱膨張係数よりも大きいが、Ptの熱膨張係数はＰＺＴの熱膨張係数よりも小さい。ＰＺＴ圧電膜６４にはZrO2基板６２との熱膨張係数の差等により圧縮応力が働くが、ＰＺＴよりも熱膨張係数の小さい適宜の厚みの応力バッファ層６６を介在させることで、ＰＺＴ圧電膜６４の膜応力を相殺するよういしている。 （もっと読む）

【課題】高アルカリインクを用いた場合や極小オリフィスを作製した場合においても、インク流路構成部材の吸インクによるオリフィスの変形を生じにくく、長時間安定した吐出が可能なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に、インク吐出口と、該インク吐出口に連通すると共に前記インク吐出圧力発生素子が作用できる位置に該インクを導入可能なインク流路と、を有し、前記基板に接合されたインク流路構成部材により少なくとも前記インク流路が形成されているインクジェットヘッドであって、前記インク流路構成部材を、アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂を含む樹脂組成物の硬化物で形成する。 （もっと読む）

【課題】 インク吐出のエネルギー効率を高く保ちつつ、気泡の消泡時に発生する衝撃力を抑制したインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 インクが吐出する吐出口５と、インクに吐出用のエネルギーが付与される圧力室３と、圧力室３と吐出口５とを連通させるノズル部１とを有し、ノズル部１には、吐出口５の面積よりも断面積が大きな大径部８と、大径部８よりも断面積の小さな小径部９とがインクの吐出方向に沿って設けられ、かつ、小径部９は、大径部８と圧力室３との間に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 アクチュエータユニットと配線部材との接合部分の接合強度をより向上させることが可能な液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 フレキシブルケーブル１８は、駆動信号の供給には関与しない接点端子４９を有し、アクチュエータユニット４には、フレキシブルケーブル１８の接点端子４９に対応する位置にダミー端子４２を設け、アクチュエータユニット４とフレキシブルケーブル１８との接合時には、駆動端子に配線端子を重ね、共通接地端子４１に接地端子４７を重ねると共に、ダミー端子４２に接点端子４９を重ねた状態でフレキシブルケーブル１８の表面側からヒートツール５０を押圧し、これらの端子間を同時に半田付けする。 （もっと読む）

【課題】圧電層と配線部材との接合の際に、圧電層の破損及び接続不良が生じない信頼性の高い圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】圧電アクチュエータ３２は、圧力室４４が形成されたキャビティプレート４０（支持部材）と、キャビティプレート４０の接合部４０ａに接合された振動板６０と、振動板６０の上面に形成された圧電層６１と、圧電層６１の上面に設けられたＦＰＣ６５とを有する。圧電層６１の上面に形成された電極６２の接点部６２ａとＦＰＣ６５の端子部６５ａとが、端子部６５ａの表面に形成されたバンプ６６を介して電気的に接合されている。キャビティプレート４０の上面のうち、バンプ６６に対向する領域には、凹部６０ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】インクに対する撥水性を確保しつつ、フレキシブル配線基板と記録素子基板との電気的接続部を確実に封止する。
【解決手段】フレキシブル配線基板１０３は、基材１０３２と、基材１０３２の一方の面に設けられ、一方の端部が、記録液を吐出する吐出口を備える記録素子基板１０１との電気接続部１１１を形成する導電体１０３１とを有し、電気接続部１１１、および、基材１０３２の他方の面の電気接続部１１１に隣接する縁部が、封止剤１０９，１１０によって封止されている。フレキシブル配線基板１０３は、基材１０３２の他方の面の縁部が、封止剤１０９と基材１０３２との接着性を向上させる表面改質部１０３５を有している （もっと読む）

【課題】機械的強度、耐侯性、耐インク性、及び基板に対する密着性に優れた信頼性の高いインク流路形成部材が形成されたインクジェット記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】インク吐出圧力発生素子が形成された基板に、インク流路形成部材を接合して、該インク吐出圧力発生素子が作用できる位置にインク流路を形成したインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク流路形成部材を、少なくとも１つのチイラン環構造を有するエピスルフィド化合物を含有する樹脂組成物（ａ）を用いて形成されたものとする。 （もっと読む）

【課題】 耐久性に優れ、さらに、駆動効率がより向上した圧電アクチュエータを備えた液体移送装置を提供すること。
【解決手段】 インクジェットヘッドの圧電アクチュエータは、圧力室１４を覆い且つ共通電極を兼ねる振動板３０と、この振動板３０の圧力室１４と反対側に配置された圧電層３１と、この圧電層３１の振動板３０と反対側の面において、複数の圧力室１４が配置された平面に直交する方向から見て、複数の圧力室１４の中心部以外の領域である縁部と夫々重なる領域に配置された複数の個別電極３２とを有し、個別電極３２は、前記平面に直交する方向から見て、圧力室１４の外側の領域まで延びている。 （もっと読む）

【課題】変形特性が低下したり、制御不能となるのを防止した圧電アクチュエータ、並びにこれを用いた圧電ポンプ及びインクジェットヘッドを提供することにある。
【解決手段】圧電セラミック層５と内部電極層４と振動板２とがこの順で積層された積層体における前記圧電セラミック層５の主面に表面電極６を形成し、前記振動板２の主面及び側面に電界遮断用導電層９，９ｂとして導電性ＤＬＣ膜を形成し、該電界遮断用導電層９，９ｂを前記内部電極層４と電気的に接続した圧電アクチュエータである。インクジェットヘッドは、この圧電アクチュエータ１と、インク供給路及びインク吐出口８に連通してなるインク加圧室３ａが設けられたインク流路部材３とを備え、前記圧電アクチュエータ１の電界遮断用導電層９が前記インク加圧室３ａの壁面の一部を構成すると共に、前記圧電アクチュエータ１の振動によってインク流路部材３からインクを吐出するようにしている。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出ヘッド用基板の剛性を高くし、基板を変形しないように工夫がなされたもので、基板が小さくなったり、基板が長尺化された場合でも良好な印字ができる液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】
上部と下部の２枚のＳｉ基板１，３を貼り合せた液体吐出ヘッド用基板であり、上部のＳｉ基板１にインク供給口の一部を形成する第一のインク供給口８と、ヒーター２と、インク流路２３と、インク吐出口７とが形成され、下部のＳｉ基板３に前記インク供給口の残り部分を形成する第二のインク供給口６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】パルス通電の繰り返しに対する耐久性が十分に高い発熱抵抗体膜、それを用いた記録ヘッド用基体、記録ヘッド、および記録装置を提供する。
【解決手段】記録ヘッド用基体のヒーター部１７に、配線１４を介して通電されることによって熱エネルギーを発生させる発熱抵抗体膜１３が形成されている。発熱抵抗体膜１３は、非晶質窒化珪素タンタルを主成分とし、その表面に形成された酸化膜１３ａの膜厚が２.５ｎｍ以下となっている。 （もっと読む）