複数台のノズルと各ノズルに対応する１台以上のヒーター素子（１０）とを備えるインクジェットプリントヘッドが開示される。各ヒーター素子（１０）は、プリントヘッド内で泡形成液体（１１）をその沸点よりも高い温度まで加熱し、その中に気泡（１２）を形成するように構成される。気泡（１２）の発生は、それぞれの対応するノズル（３）を通る（インクのような）射出可能な液体の液滴を射出させ、印刷を実行する。プリントヘッドは、化学気相成長法（ＣＶＤ）によって形成された構造体を有し、その構造体にノズルが組み込まれる。
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複数台のノズル（３）と各ノズル（３）に対応する１台以上のヒーター素子（１０）とを備えるインクジェットプリントヘッドが開示される。各ヒーター素子が、プリントヘッド内で泡形成液体をその沸点よりも高い温度まで加熱し、その内部に気泡（１２）を形成するように構成される。気泡の発生は、それぞれの対応したノズルを通る（インクのような）射出可能な液体の液滴の射出を生じさせ、印刷を行う。各ヒーター素子は、コーティングがシームレスであるように、ヒーター素子（１０）の全面へ同時に塗布された絶縁保護コーティング（７７）によって実質的に覆われる。
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【課題】 ヒータの両側面で加熱されながらもインク供給圧を直接的に受けることなく，高効率特性を維持し，ヒータの寿命を長くすることの可能なインクジェットプリントヘッドを提供する。
【解決手段】 カートリッジ１０に貯蔵されたインクを供給する供給孔を有する基板１１０と，供給孔に連通するインクチャンバー１２４を形成する流路層と，インクチャンバー内のインクを外部に排出する少なくとも１つのノズル１２８を有するノズル板１２６と，インクチャンバー１２４の内壁に隣接して位置し，表裏面がインクチャンバー１２４内のインクに当接して配置される少なくとも１つのヒータ１１８と，ヒータ１１８に電気的に連結される少なくとも１つのリードとを備えることにより，ヒータ１１８の両面がインクに接触して加熱され，熱效率を高めることができる。 （もっと読む）

複数台のノズル（３）と各ノズルに対応する１台以上のヒーター素子（１０）とを備えるインクジェットプリントヘッドが開示される。各ヒーター素子は、プリントヘッド内で泡（１２）形成液体をその沸点よりも高い温度まで加熱し、その内部に気泡を形成するように構成される。泡の発生は、それぞれの対応したノズルを通る（インクのような）射出可能な液体の液滴（１６）の射出を生じさせ、印刷を行う。各ヒーター素子は、泡と熱接触するように、液体を形成する泡の少なくとも一部分の上に吊されるビームの形をしている。このプリントヘッドの構成はかなり効率の高い動作を提供する。
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【課題】 印刷装置の大型化を防止すること。
【解決手段】 印刷装置（プリンタ１）は、次の構成（Ａ）〜（Ｃ）を有する。すなわち、（Ａ）インクを吐出させるための動作を行う素子（ピエゾ素子４１７）と、（Ｂ）インクを吐出させるための動作の開始から終了までを規定する第１単位信号（駆動パルスＰＳ１，ＰＳ３）を有する第１駆動信号ＣＯＭ_Ａ、及び、第２単位信号（駆動パルスＰＳ５）を有する第２駆動信号ＣＯＭ_Ｂとを生成する駆動信号生成回路７０と、（Ｃ）媒体（用紙Ｓ）に最大ドットを形成する場合に、第１単位信号と第２単位信号とを素子に印加させて、最大ドットを形成するためのインクを吐出させるコントローラ（プリンタ側コントローラ６０）とを有する。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットヘッドの基材表面に形成される撥インク膜の開口部縁端から開口部近傍の部分がワイピングによっても剥離を生じにくい形状であり、噴射安定性にも優れる形状に形成されるようにする。
【解決手段】 インクジェットヘッドの基材であるノズル板２がNiの電鋳により作製され、その表面に膜厚０．１μm以上のシリコーン樹脂皮膜である撥インク膜１が形成されている。ノズル板２におけるインク吐出面に形成された撥インク膜１は、この中心線に垂直な平面による開口部分の断面積がノズル板２から離れるにつれて順次大きくなっていくラウンド形状となるよう形成されている。 （もっと読む）

【課題】 通電に応じてインクを吐出するために利用される熱エネルギを発生する発熱部を有するインクジェットヘッド用基板にあって、発熱部を精度高く形成できるようにして発熱部の小面積化を可能とするとともに、電極配線の腐食ないしその進行を抑制する。
【解決手段】 基体上に耐腐食性金属でなる薄膜の第１電極１０１を配置し、その上にＡｌでなる第２電極１０３を重畳させ、さらに発熱抵抗層１０７を配置し、発熱部を第１電極の間隙で形成する。これにより大きな寸法ばらつきを生じることなく発熱部が形成される。発熱部上または近傍に保護膜の欠陥が生じても、発熱抵抗体層の材料はＡｌより侵食に強くかつ第１電極は耐腐食性であるので、腐食の進行を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの周縁部のインクの濡れを均一にし、吐出特性を安定させる。
【解決手段】 ワイパーブレード１２０でワイピングしても完全には拭き取られずに、若干拭き残しインク６００Ｂが生じる。ザグリ２００のザグリ壁面２００Ａには撥液膜２１０は形成されていない。このため、ザグリ壁面２００Ａは、撥液膜が形成されたノズル１０の周縁部より、インクが付着しやすい。よって、ザグリ壁面２００Ａに拭き残しインク６５０が拭き残り、その他の場所には、拭き残しインク６５０が拭き残されない。つまり、ノズル１０の周縁部に拭き残しインクが、拭き残されないように、ザグリ壁面２００Ａに積極的に拭き残しインク６５０を拭き残す構成となっている。したがって、偶然ノズル１０の周縁部の拭き残しインクが残って濡れが不均一となり、吐出特性が安定せず、印字品位が低下することがない。 （もっと読む）

【課題】 通電に応じてインクを吐出するために利用される熱エネルギを発生する発熱部を有するインクジェットヘッド用基板にあって、記録の高解像化や高画質化等を達成するための発熱部の小面積化を図りながら熱エネルギ効率の低下を防ぎ、消費電力を下げる。
【解決手段】 電極配線層１０３に対する保護絶縁層を２層化し（１０８ａ，１０８ｂ）、発熱部１０２上においてその一方１０８ａを除去することにより、熱エネルギ効率を向上する。また、電極配線層１０３上に発熱抵抗体層１０７を配置し、保護絶縁膜１０８ａを除去する際のパターニングを、発熱部を形成するための電極配線層１０３の間隙より広い範囲で実施することで、電極配線を第１および第２電極配線層１０３，１０４で構成することで、発熱部１０２の有効発泡領域の減少が生じないようにする。 （もっと読む）

【課題】 通電に応じてインクを吐出するために利用される熱エネルギを発生する発熱部を有するインクジェットヘッド用基板にあって、発熱部を精度高く形成できるようになして発熱部の小面積化を可能とするとともに、電極配線の腐食ないしその進行を抑制する。
【解決手段】 基体上に耐腐食性金属でなる薄膜の第１電極１０１を配置し、その上に発熱抵抗層１０７を配置し、さらに第１電極に対しＡｌでなる第２電極１０３をオーバラップして配置することにより、大きな寸法ばらつきを生じることなく発熱部が形成される。発熱部上またはその近傍の保護膜の欠陥が生じても、発熱抵抗体層の材料はＡｌより侵食に強く、かつ第１電極は耐腐食性であるので、腐食の進行を効果的に抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 撥インク性及び耐擦性に優れ、長期間の使用においても信頼性の高い安定した吐出が可能なインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 金属部材のノズル本体１に形成したノズル６よりインクを吐出させるインクジェットヘッドにおいて、金属部材のノズル本体１の少なくともインク吐出側表面にＳｉＯ_２を主成分とするＳｉＯ_２膜２を設け、ＳｉＯ_２膜２上にパーフルオロポリエーテル鎖の末端にアルコキシシラン残基を有する化合物が結合した撥インク膜７を形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 流路形成基板上に圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して振動板除去部を形成する工程と、少なくとも振動板除去部に対向する領域を覆って絶縁膜を形成すると共に絶縁膜に貫通孔を形成する工程と、流路形成基板上に密着層を介して金属層を形成して貫通孔を封止すると共に密着層及び金属層をパターニングしてリード電極を形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板に接合する工程と、流路形成基板をウェットエッチングして連通部を形成する工程と、貫通孔に対応する領域の密着層及び金属層をウェットエッチングにより除去する工程と、庇部をドライエッチングにより除去してリザーバを形成する工程と、リザーバを含む流路の内面に保護膜を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 液体に変位を伝達する場合でも、積層型圧電素子の絶縁劣化を抑止することが可能な圧電装置を提供すること。
【解決手段】 液室３１は、積層型圧電素子（積層体１）の一方の端面に隣接して配置されると共に、一方の端面である圧電体層９によりその一部が画成される。液室３１には、当該液室３１に蓄えられる液体に接するように電極３５が配置されている。電極３５は、外部電極１７，１８と同様に、リード線等を通して制御ユニットＣＵに接続される。電極３５には、制御ユニットＣＵにより外部電極１８に負の駆動電圧が印加される際に、外部電極１８と同じく負の駆動電圧が印加される。これにより、電極３５は、圧電体層９に隣接するコモン電極１９と極性が同じとされ、液室３１に蓄えられる液体の極性も圧電体層９に隣接するコモン電極１９の極性と同じとされる。 （もっと読む）

【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して貫通孔を形成する工程と、密着層及び金属層で貫通孔を封止すると共に圧電素子に対応する領域の密着層及び金属層をパターニングして圧電素子から引き出されるリード電極を形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板の一方面側に接着剤によって接着する工程と、流路形成基板を他方面側から振動板及び密着層が露出するまでウェットエッチングして圧力発生室及び連通部を形成する工程と、連通部に対応する領域の密着層をウェットエッチングにより除去する工程と、圧力発生室及び連通部の内面に耐液体性を有する材料からなる保護膜を形成する工程と、連通部側からウェットエッチングすることによって金属層を除去しリザーバ部と連通部とを連通させる工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 微小滴を形成する液体吐出ヘッドにおいて、吐出効率が高く、微小滴を安定して長い間吐出し続ける高耐久性の液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置を提供する。
【解決手段】 液流路３と、液体を滴として吐出するための吐出口４が開口した吐出口プレート５と、前記吐出口４に対応して設けられ、前記液体に与えるエネルギを発生させるエネルギ発生素子１とを有し、前記吐出口４には、前記吐出口プレート５の前記吐出口４が開口した面に対して凹部となる位置の略中央に細孔７ａを配した絞り部７が設けられ、前記液体が、前記絞り部７が前記液体中に位置するように前記吐出口４内でメニスカス８を形成して保持される液体吐出ヘッドにおいて、前記絞り部７が前記エネルギ発生素子１によるエネルギによって変位するのを抑制する抑制手段７ｂを備えた。 （もっと読む）

【課題】基板の反りや破損等の製造上の問題を回避しつつ、ヘッドのコンパクト化、記録性能の向上、コストダウンを図る。
【解決手段】素子基板１０は、基板１１と、基板１１を貫通するインク供給口１３と、基板１１上に設けられ、インク供給口１３から流入したインクに吐出エネルギーを供給するエネルギー供給手段１６とを有している。素子基板１０の製造方法は、基板１１上にエネルギー供給手段１６を形成する工程と、その後に、基板１１を薄化する工程と、その後に、基板１１にインク供給口１３を形成するインク供給口形成工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】耐湿性を十分に改善した圧電素子を提供、また、耐インク性及び耐湿性の双方を同時改善した圧電素子を提供、そして、これら圧電素子を利用したインクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 インク滴を吐出するノズル５６と、ノズル５６と連通し、インク１１０が充填される圧力室５０と、圧力室５０の一部を構成する振動板４８と、圧力室５０へインク流路６６、６８を介して供給するインク１１０をプールするインクプール室３８と、振動板４８を変位させる圧電素子４６と、を有するインクジェット記録ヘッド３２において、振動板４８を間に置いて圧力室５０と反対側にインクプール室３８を設けるとともに、振動板４８を間に置いて圧電素子４６がインクプール室３８側に設けて、圧電素子４６のインクプール室３８側の表面上は、低透水性絶縁膜８０と樹脂絶縁膜８２とが順次積層された保護膜で被覆させる。また、低透水性絶縁膜８０のみを被覆させてもよい。 （もっと読む）

【課題】従来の圧電薄膜素子の機械的な脆さを改善し、従来品と同等の圧電特性を維持しつつ、その耐久性の向上を可能とする。
【解決手段】上部電極４と下部電極２との間に、圧電体薄膜３ａ、３ｃ、３ｅを少なくとも２層以上設け、各圧電体薄膜の間に、強化用金属薄膜３ｂ、３ｄを挿入することにより、圧電体薄膜と強化用金属薄膜の積層領域３を形成する。強化用金属薄膜３ｂ、３ｄの材料としては、Ｐｔ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｒｕ、Ｔａ、Ｔｉ、Ａｕ、Ｉｎ、Ｚｎ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｖ、Ａｌ、Ｍｇ等々、これら各種金属元素の合金、これらとＰｔとの合金等が好適に用いられる。この積層領域３の形成工程においては、製造すべき圧電薄膜素子を、一つの成膜装置内から外部に出すことなく圧電体薄膜と金属薄膜を交互に、且つ連続的に成膜することが望ましい。 （もっと読む）

【課題】 流路ユニットとアクチュエータユニットの共通電極とを高い信頼性で接続する。
【解決手段】 インクジェットヘッドは、流路ユニットとアクチュエータユニット２１とが積層されたヘッド本体７０を含んでいる。流路ユニットの上面には、複数の圧力室１０と凹部３０とが形成されている。アクチュエータユニット２１は流路ユニットの上面に固定され、複数の圧力室１０を跨るように配置されたコモン電極２７と各圧力室１０に対応する複数の個別電極２６とを有している。コモン電極２７は、アクチュエータユニット２１の上面に形成された表面電極２９とスルーホール６１内の導体６４を介して電気的に接続されている。流路ユニットの凹部３０内には、表面電極２９と流路ユニットとを電気的に接続する導電性部材９０が配置されている。 （もっと読む）

【課題】 圧電層と電極との間の密着性を向上させることが可能な圧電アクチュエータの製造方法及び圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】 絶縁材料層３１の表面上に複数の個別電極３２を形成するとともに、各個別電極３２の表面に凹部（貫通穴３２ａ）を形成し、個別電極３２の表面に圧電層３３を形成し、さらに、圧電層３３の表面に共通電極３４を形成するため、個別電極３２の表面上の圧電層３３の一部が貫通穴３２ａ内に入り込んで絶縁材料層３１に密着して、圧電層３３が個別電極３２から剥がれにくくなり、個別電極３２と圧電層３３の密着性が向上する。 （もっと読む）