【課題】第１駆動信号のピエゾ素子への印加を制御する第１スイッチと、第２駆動信号のピエゾ素子への印加を制御する第２スイッチが、同時にオン状態になることを防止する。
【解決手段】第１駆動信号ＣＯＭ_Ａのピエゾ素子４１７への印加状態を定める第１選択データｑ０〜ｑ３、及び、第２駆動信号ＣＯＭ_Ｂのピエゾ素子への印加状態を定める第２選択データｑ４〜ｑ７を制御ロジック８４から出力させる。検査回路８５は、選択データｑ０〜ｑ７が第１駆動信号ＣＯＭ_Ａと第２駆動信号ＣＯＭ_Ｂのピエゾ素子への同時印加を示さない場合に、これらの選択データを検査済み選択データｑ０ｄ〜ｑ７ｄとして出力する。一方、選択データが第１駆動信号ＣＯＭ_Ａと第２駆動信号ＣＯＭ_Ｂのピエゾ素子への同時印加を示す場合に、それまで出力されていた検査済み選択データを継続して出力させる。 （もっと読む）

【課題】駆動中に変形領域の境界部で破壊が生じるのを抑制した圧電アクチュエータ及び液体吐出装置を提供する。
【課題を解決するための手段】振動板と、該振動板の表面に、共通電極、圧電体層及び表面個別電極がこの順に積層され、該表面個別電極が前記圧電体層の表面に複数形成されてなる圧電アクチュエータであって、前記表面個別電極の外周部の形状が、波状又は鋸刃状であることを特徴とし、前記表面個別電極の面積Ｓを円換算した時の外周の比Ｌ_０に対する前記表面個別電極の外周の長さＬの比Ｌ／Ｌ_０が１．１以上であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】圧電セラミックスの絶縁抵抗劣化を防止すると共に、圧電アクチュエータの長期信頼性を確保する。
【解決手段】本発明にかかる圧電アクチュエータ１は、鉛を含む圧電セラミック層４を一対の電極５，６で挟持するとともに、該一対の電極５，６のうち少なくとも一方が圧電セラミック層４に挟持された内部電極５を構成し、前記圧電セラミック層４と内部電極４とを同時に焼成したものであって、前記圧電セラミックス層４が、少なくとも前記鉛と硫黄とを含む異相を含有している。本発明の印刷ヘッドは、上記圧電アクチュエータが、インク吐出孔を有する複数のインク流路が配列された流路部材上に取り付けられた構造を有する。 （もっと読む）

【課題】駆動信号の印加や非印加を切り替えるための制御期間において、複数のスイッチが同時にオン状態になることを防止する。
【解決手段】インクを吐出させるための動作を実行可能なピエゾ素子４１７と、第１駆動信号ＣＯＭ_Ａ、及び第２駆動信号ＣＯＭ_Ｂを生成する駆動信号生成部７０と、第１駆動信号ＣＯＭ_Ａのピエゾ素子４１７への印加を制御する第１スイッチ８６Ａと、第２駆動信号ＣＯＭ_Ｂのピエゾ素子４１７への印加を制御する第２スイッチ８６Ｂと、第１駆動信号ＣＯＭ_Ａが有する単位信号（駆動パルスＰＳ１）の生成終了から次の単位信号（駆動パルスＰＳ２）の生成開始までの間（期間ｔ１２）に、第１スイッチ８６Ａを所定期間に亘って強制的にオフ状態にさせるコントローラ（防止回路８５）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 耐久性に優れ、さらに、駆動効率がより向上した圧電アクチュエータを備えた液体移送装置、及び、このような液体移送装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 圧力室１４の径方向の長さをＷ、駆動電圧が印加される個別電極３２の、圧力室１４の縁部の径方向一方側部分と重なる領域に形成される部分の径方向の長さをＡとしたときに、個別電極３２の径方向長さＡは、Ａ／（Ｗ／２）の値と、個別電極３２に駆動電圧が印加されたときの振動板３０の変形量との関係に基づいて、振動板３０の変形量が大きくなるように決定されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、上述の点に鑑み、静電不良を改善する構造を備える微小電気機械素子、光学微小電気機械素子、光変調素子、この光変調素子を備えたレーザディスプレイ、さらに信号帯域制限を行うフィルタ、このフィルタを備えた通信装置、並び微量流体吐出装置を提供するものである。
【解決手段】 本発明の微小電気機械素子は、下部電極に対して空間を挟んで対向し静電駆動する駆動体を備えた微小電気機械素子本体を有し、前記駆動体に接続された配線または駆動体端子または前記駆動体に並列に、前記下部電極と駆動体間の容量より低い容量の容量素子からなる保護回路が接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）

インクジェットプリンタ用液滴射出デバイスの電荷漏洩防止及び電圧ドリフト防止。スイッチ及び圧電アクチュエータを有する液滴射出デバイスの電荷漏洩を防止するための一方法において、方法は、液滴発射期間中に圧電アクチュエータを波形入力信号で駆動するためのスイッチの制御及び非発射期間中に圧電アクチュエータを定電圧レベルで駆動するためのスイッチの制御を含む。
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【課題】 圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 圧電素子３００から引き出される第１のリード電極９０と、第１のリード電極９０から引き出される第２のリード電極９１とを有すると共に、圧電素子３００を構成する各層、第１のリード電極９０及び第２のリード電極９１のパターン領域に無機絶縁材料からなる絶縁膜１００が連続的に設けられて少なくとも圧電素子３００及び第１のリード電極９０が第１のリード電極９０の先端部に設けられる端子部９０ａを除いて絶縁膜１００によって覆われ、且つ第２のリード電極９１が絶縁膜１００上に延設されて端子部９０ａで第１のリード電極９０に接続されると共に第２のリード電極９１の先端部側に接続配線１３０が接続される接続部９１ａを有するようにする。 （もっと読む）

【課題】 駆動信号を切り替える際において、複数のスイッチが同時にオン状態になることを防止する。
【解決手段】 インクを吐出させるための動作を実行可能なピエゾ素子４１７と、第１駆動信号ＣＯＭ_Ａ、及び第２駆動信号ＣＯＭ_Ｂを生成する駆動信号生成部７０と、第１駆動信号ＣＯＭ_Ａのピエゾ素子４１７への印加を制御する第１スイッチ８６Ａと、第２駆動信号ＣＯＭ_Ｂのピエゾ素子４１７への印加を制御する第２スイッチ８６Ｂと、ピエゾ素子４１７に印加される駆動信号を、第１駆動信号ＣＯＭ_Ａから第２駆動信号ＣＯＭ_Ｂへ切り替える際に、第１スイッチ８６Ａ及び第２スイッチ８６Ｂの両方をオフ状態にさせるコントローラ（防止回路８５）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】振動板を挟んで圧力室とは反対側に配置された共通液室の中を、振動板に対して略垂直方向に圧電素子用の駆動用配線を含んだ配線部材を配設する場合、振動板の変形を防止する。
【解決手段】記録媒体に対して液滴を吐出するノズル５１が第１の面側に形成されると共に、液体を供給する供給口５３が前記第１の面と対向する第２の面によって形成された複数の圧力室５２と、前記第２の面の前記圧力室と反対側に設けられ、前記圧力室を変形させる圧電素子５８と、前記第２の面の前記圧電素子側に設けられ、前記供給口を介して前記圧力室に液体を供給する共通液室５５と、前記共通液室内に、前記圧電素子用の電極から前記第２の面に対して略垂直方向に立ち上がるように形成された配線部材９０と、を備え、前記配線部材は、前記複数の圧力室の隔壁部分に相当する位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法に関し、例えば発熱素子と発熱素子を駆動するトランジスタとを一体に基板上に形成したサーマル方式によるインクジェットプリンタに適用して、塗布型の絶縁膜により段差の発生を防止して、かつ発熱素子の劣化を防止する。
【解決手段】 本発明は、塗布型の絶縁膜５５、６８により層間絶縁膜を形成するようにして、この層間絶縁膜の表層、層間絶縁膜に設けられる貫通孔５８、７２の内側壁面にシリコン絶縁膜５６、５９、６９、７３を形成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法に関し、例えば発熱素子と発熱素子を駆動するトランジスタとを一体に基板上に形成したサーマル方式によるインクジェットプリンタに適用して、塗布型の絶縁膜により段差の発生を防止して、かつ発熱素子の劣化を防止することができるようにする。
【解決手段】 本発明は、塗布型の絶縁膜５５、６８により層間絶縁膜を形成するようにして、この層間絶縁膜の表層、層間絶縁膜に設けられる貫通孔５８、７２の内側壁面にシリコン絶縁膜５６、６９、微結晶構造による金属膜５９、７３を形成する。 （もっと読む）

【課題】 小型で生産性が高く且つ信頼性に優れた液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 本発明の液滴吐出ヘッドは、ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２の一部を構成する弾性膜（振動板）５０と、該弾性膜５０の前記圧力発生室１２とは反対側の面に配置され、前記圧力発生室１２内に圧力変化を生じさせる圧電素子３００と、該圧電素子３００を駆動する駆動ＩＣ（駆動素子）１２０とを備えており、前記駆動ＩＣ１２０が、前記圧電素子３００に設けられた端子にフリップチップ接合されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法に関し、例えば発熱素子と発熱素子を駆動するトランジスタとを一体に基板上に形成したサーマル方式によるインクジェットプリンタに適用して、塗布型の絶縁膜により段差の発生を防止して、かつ発熱素子の劣化を防止することができるようにする。
【解決手段】 本発明は、発熱素子の下層を塗布型の絶縁膜５５により平坦化し、この絶縁膜５５の表面を無機化する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法に関し、例えば発熱素子と発熱素子を駆動するトランジスタとを一体に基板上に形成したサーマル方式によるインクジェットプリンタに適用して、塗布型の絶縁膜により段差の発生を防止して、かつ発熱素子の劣化を防止することができるようにする。
【解決手段】 本発明は、発熱素子３７（６０ａ、６０ｂ）の下層を塗布型の絶縁膜により平坦化すると共に、この発熱素子３７（６０ａ、６０ｂ）の近傍に凹部５９、７３を設けて熱処理により塗布型の絶縁膜から揮発成分を除去する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法に関し、例えば発熱素子と発熱素子を駆動するトランジスタとを一体に基板上に形成したサーマル方式によるインクジェットプリンタに適用して、金属配線層のエレクトロマイグレーション耐性を向上させても、配線抵抗の増大を低減することができるようにする。
【解決手段】 本発明は、絶縁保護層４６に設けられたコンタクト部４７を介して発熱素子２７に金属配線層５６を接続するようにし、該金属配線層５６をアルミニューム膜５２とこのアルミニューム膜５２の発熱素子２７側に設けられたチタンナイトライド膜５０との積層構造により形成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関し、例えばサーマル方式によるインクジェットプリンタに適用して、従来に比してヘッドチップのインク耐性を向上することができるようにする。
【解決手段】 本発明は、少なくとも第１の絶縁膜８の端面及び第２の絶縁膜１１の端面が液体と接触する部位においては、第１の絶縁膜８と第２の絶縁膜１１との密着力を増大させる密着層４０を第１及び第２の絶縁膜８及び１１の間に設ける。 （もっと読む）

【課題】 膜質を向上させ、射出性能を安定させるインクジェットヘッドの電極形成方法を提供する。
【解決手段】 真空槽１０１内に設置した圧電体からなる基材１０３に対して、真空槽１０１内において薄膜材料を加熱、蒸発させ、基材１０３の表面に前記薄膜材料からなる薄膜を蒸着させる蒸着工程と、基材１０３の表面にイオンを照射するイオン照射工程とにより基材１０３の表面に前記薄膜材料からなる取り出し電極５１を形成するインクジェットヘッドの電極形成方法であって、基材１０３の表面に前記薄膜材料を形成する際の接着エネルギーを供給するために、前記イオン照射工程を開始した後に、そのイオン照射工程中に前記蒸着工程を行う。 （もっと読む）

【課題】振動板の割れを防止しつつ、液滴吐出ヘッドの小型化を図って、電極と振動板との間を気密空間とすることができる液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】第１の基板４ａの一方の面に、電極４２を形成する第１の工程と、第２の基板２ａと電極４２との間に微小空隙を形成するように、第１の基板４ａの前記一方の面に、振動板を形成するための第２の基板２ａを接合する第２の工程と、封止材を用いて、前記微小空隙を密閉して、気密空間を形成する第３の工程と、第２の基板２ａの他方の面をエッチングすることにより、振動板を形成する第４の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体吐出装置、プリンタ及び液体吐出装置の製造方法に関し、例えばインクジェット方式のプリンタに適用して、隔壁の端面に十分な強度によりノズルシートを密着させて保持することができるようにする。
【解決手段】本発明は、ノズルシート８側に、隔壁５の端面との間の接着性の向上を図る接着改善層９を形成し、このノズルシート８を隔壁５の端面に配置する。 （もっと読む）