【課題】２つの基材同士を、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができるとともに、使用後にはこれら基材同士を効率よく剥離することができる接合体の形成方法、および、２つの基材同士が高い寸法精度で強固に接合してなる信頼性の高い接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合体の形成方法は、第１の基板（基材）２１および第２の基板（基材）２２上に、それぞれ、化学的気相成膜法を用いて、銅と有機成分とで構成され、前記銅の含有率が原子比で８０ａｔ．％以上でかつ９０ａｔ．％未満である接合膜３１、３２を形成する工程と、接合膜３１、３２同士が対向するようにして、第１の基板２１および第２の基板２２同士を接触させた状態で、第１の基板２１および第２の基板２２間に圧縮力を付与して、接合膜３１、３２同士を結着させることにより接合体を得る工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】キャビティユニット、保護層及びアクチュエータを重ねて構成される液体吐出ヘッドを小型化するとともにその部品点数を削減する。
【解決手段】複数枚のキャビティプレート１１〜１６を積層してなるキャビティユニット２と、キャビティユニット２のノズル開口面２ａとは反対側の面に重ねられたアクチュエータ３と、キャビティユニット２とアクチュエータ３との間に介在する保護層６とを備え、保護層６がキャビティユニット２に対して外側に延在する延在部８を有し、該延在部８がキャビティユニット２の外側にて折り返されてキャビティプレート１１〜１６のうちの少なくとも１枚を構成する。例えば延在部８は絞り流路２３をなすための貫通孔１２ｂを有し、接続流路プレート部材１２として機能する。また、延在部は共通液室に面して弾性変形可能なダンパー壁をなし、ダンパープレート部材として機能する。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドの端子部に漏れた液体が付着して端子が腐食したり、漏電することを防止する。
【解決手段】吐出ヘッドは、ノズル基板１に形成された溝７から供給された液体をノズル９から吐出する。吐出圧を発生させるためのヒーター層４は、配線層２によってコンタクトパッド６に接続され、液滴吐出装置の本体側端子部であるピン電極１３から電力を供給する。コンタクトパッド６に液体が付着するのを防ぐため、コンタクトパッド６を端子保護部材１０によって覆い、ピン電極１３が蓋部材１２を突き破って端子保護部材１０へ挿入され、コンタクトパッド６に接触するように構成する。 （もっと読む）

【課題】ノズル直近のインクを積極的に循環可能なインクジェットヘッドであって、インク耐性のある部材で構成され、熱膨張の影響を受けず、また、インク漏れを防止して、安価に大量生産可能なインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】圧電基板からなるインクジェットヘッドチップ１０と、このインクジェットヘッドチップ１０が取り付けられるノズルプレート保持部材１１と、インクジェットヘッドチップ１０およびノズルプレート保持部材１１に取り付けられるノズルプレート２１とを有する。ノズルプレート保持部材１１は、インクジェットヘッドチップ１０の裏面に当接している。 （もっと読む）

【課題】 主に物流環境等における、シリコンもしくはシリコン化合物からなるインクジェット記録ヘッドの構成部材のインクによる溶解を防止し、信頼性の高いインクジェットプリントヘッドを提供する。
【解決手段】 インクを吐出して記録を行う記録ヘッド部と、前記ヘッド部へ供給されるインクを収納し、前記ヘッド部と自在に着脱可能なインクタンク部と、が一体化されて使用されるインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記ヘッド部に保存用液体として、シリコンの腐食を防止する添加剤を含む液体が封入されている。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、その下面に設けられ、ノズル孔１１とを備えるノズルプレート１０と、基板２０の上面に設けられた封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合され、基板２０と封止シート３０とが接合膜２５を介して接合されている。これらの各接合膜１５、２５は、それぞれ、シリコーン材料を含有する液状材料を乾燥させてなるものである。そして、これらの各接合膜１５、２５にエネルギーを付与すると、表面が活性化されることに起因して、各接合膜１５、２５に接着性が発現する。この接着性によって、基板２０とノズルプレート１０および基板２０と封止シート３０が接合されている。 （もっと読む）

【課題】ヘッドチップと配線基板との間の接着剤層がインクと接触した場合に生じる剥離や電気的接続状態の喪失を防止し、長期に亘って接着状態及び電気的接続状態を維持する。
【解決手段】ハーモニカ型のヘッドチップ１と、駆動電極１３の各々に対応する配線電極３２が形成された配線基板３とが接着剤によって接着され、駆動電極１３と配線電極３２とが電気的に接続されたインクジェットヘッドであって、ヘッドチップ１と配線基板３との間の接着剤によって形成される接着領域が、接着剤が存在しない遮断領域Ａ３を間に挟んで、ヘッドチップ１に供給されるインクとの接触面を含む領域Ａ１と該インクとの接触面を含まない領域Ａ２との少なくとも２つの領域に分かれており、且つ、駆動電極１３と配線電極３２との電気的接続部位は、遮断領域Ａ３及びインクとの接触面を含む領域Ａ１内には位置していないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電力配線部とノズル形成部材との間に高い密着性を得ることができると共に、配線部とインクとの接触による配線部の腐食、電解などの発生を低減することが可能なインクジェット記録ヘッド用基板を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド用基板は、基板１０１の表面に発熱抵抗体１０３と、発熱抵抗体に電力を供給する電力配線１３０と、電力配線の表面に形成した有機層１１１と、を備える。電力配線１３０に接する有機層１１１との間には、電力配線１３０より化学的安定性の低い金属からなる密着層１１０を備える。 （もっと読む）

【課題】電力配線部とノズル形成部材との間に高い密着性を得ることができると共に、配線部とインクとの接触による配線部の腐食、電解などの発生を低減することが可能なインクジェット記録ヘッド用基板を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド用基板は、基板１０１の表面に発熱抵抗体１０３と、発熱抵抗体に電力を供給する電力配線１３０と、電力配線の表面に形成した有機層１１１と、を備える。電力配線１３０に接する有機層１１１との間には、電力配線１３０より化学的安定性の低い金属からなる密着層１１０を備える。 （もっと読む）

【課題】インク吐出チップの保護膜の損傷を防止して、インク吐出チップがインクに侵されることなく、インクジェットヘッドの性能の低下を防止できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、インク吐出チップ１と、インク流路形成部材２と、キャップ受け部材３とを備える。インク吐出チップ１における共通インク室が開口する全ての開口面には、保護膜が設けられている。キャップ受け部材３の開口部１０の内面は、インク吐出チップ１における共通インク室が開口する全ての開口面に接触しない。 （もっと読む）

【課題】テスト端子がインクや湿気に触れて腐食したり、他の回路や配線にダメージを与えることがないインクジェット記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】テスト端子を配置した部分近傍のノズル形成部材の体積が少なくなるように、他の部分のノズル形成部材から分離して設ける。 （もっと読む）

【課題】安価な原料によって耐薬品性、親水性を確保することのできる耐液保護膜を有した液滴吐出ヘッド等を提供すること。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔１１と、それぞれのノズル孔１１に連通する複数の吐出室２１と、各吐出室２１に連通され吐出室２１に液体を供給する共通液滴室２３と、吐出室２１の壁面に形成された振動板６と、振動板６に対向配置された対向電極５とを備え、複数の基板１、２、３を積層してなる液滴吐出ヘッド１０であって、前記基板１、２、３の液体と接触する面に、窒素を導入したダイアモンドライクカーボン膜からなる親水性の耐液保護膜１５、１８が形成されたものである。この耐液保護膜１５、１８は、単層構造であってもよく、複数層構造であってもよい。 （もっと読む）

【課題】噴射する液体による圧力発生室およびノズルプレートの腐食を防ぐとともに、振動板への接着剤の付着を防ぎ振動板の変位特性の低下を抑制した液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】接着剤１６によって流路形成基板１０とノズルプレート２０とを接合する際に、第１の保護膜１５の硬化前の接着剤１６に対する接触角θ１が第２の保護膜２２の硬化前の接着剤１６に対する接触角θ２よりも大きいので、硬化前の接着剤１６は親和性のよい第２の保護膜２２に沿って流れ、圧力発生室１２およびインク供給路１３、連通部１４に流れにくくできる。したがって、圧力発生室１２の振動板５３への接着剤１６の付着が抑えられ、振動板５３の変位特性の低下およびばらつきの少ないインクジェット式記録ヘッド１およびインクジェット式記録装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】吐出液が保護膜を浸食して下地のシリコンが溶出することがない、シリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】シリコン製ノズル基板１は、ノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃを経て液滴吐出側の面と反対側の面１ｂまで耐吐出液保護膜Ａが連続して形成され、耐吐出液保護膜Ａは陽極酸化により形成された酸化膜１２である。シリコン製ノズル基板１の製造方法は、シリコン基材１００に凹部１１０を形成する工程と、凹部１１０よりも大きい径の貫通孔５０ａを有する支持基板５０を凹部１１０と貫通孔５０ａとが同軸上になるようにして貼り合わせる工程と、凹部を形成した側の面と反対側の面１００ｃを薄板化して凹部１１０を開口させる工程と、シリコン基材１００を陽極酸化して連続した酸化膜１２を形成する工程と、支持基板５０を剥離する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】被覆性がよく、ノズル孔の内壁等が吐出液によって浸食されず、耐久性、吐出特性に優れたシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】シリコン製ノズル基板１は、液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１近傍の液滴吐出側にノズル孔１１の吐出口と連通し液滴吐出側に開口する吐出凹部１２を備え、吐出凹部１２の内壁１１ｃからノズル孔１１の内壁１１ｃを経て液滴吐出側の面１ａと反対側の面１ｅまで連続する耐吐出液保護膜Ａが形成された。この耐吐出液保護膜Ａは熱酸化保護膜である。そして、耐吐出液保護膜Ａの液滴吐出側の面１ａを撥水性にし、ノズル孔１１の吐出口縁部１１ｄより内壁１１ｃ側を親水性にした。 （もっと読む）

【課題】被覆性がよく、液滴吐出面やノズル孔の内壁が吐出液によって浸食されず、耐久性、吐出特性に優れたシリコン製ノズル基板等を提供すること。
【解決手段】シリコン製ノズル基板１は、ノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃを経て液滴吐出側の面と反対側の面１ｂまで連続する耐吐出液保護膜Ａが形成され、この耐吐出液保護膜Ａが熱酸化処理により形成されたシリコン酸化膜である。その製造方法は、熱酸化によって第１のシリコン酸化膜１０１を形成する工程と、石英ガラスの支持基板５００を活性化接合する工程と、薄板化する工程と、薄板化された側の面１００ｂからノズル孔１１を形成する工程と、熱酸化処理して、薄板化された側の面１００ｂからノズル孔１１の内壁１ｃまで第２のシリコン酸化膜１０３を形成し、耐吐出液保護膜Ａを設ける工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】インク組成物の硬化速度が大きく、生産性が高く、長時間にわたり安定して高品質な印刷物を得ることができる印刷物の作製方法を提供すること。
【解決手段】活性放射線の作用により酸を発生するオニウム塩化合物、カチオン重合性モノマー及び着色剤を含有する活性放射線硬化型インク組成物を、圧電性素子の変形によりインクを吐出するインクジェットヘッドを用いて基材上に描画する工程、並びに、該基材に活性放射線を照射して該インク組成物を硬化させる工程を含み、該圧電性素子のインクと接触する部材が、パラキシリレン樹脂で被覆されてなることを特徴とする印刷物の作製方法。 （もっと読む）

【課題】 電気伝導性のインクを用いても高い印字品質と耐久性を両立するインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】 インクを吐出させる複数のノズルが形成されたノズルプレートと、ノズルに各々連通する複数の圧力室と、インクを吐出させる圧力発生手段に駆動パルスを供給する電極と、電極の圧力室側の面に成膜され、無機絶縁材料からなる第１の保護膜と、第１の保護膜の圧力室側の面に成膜され、有機絶縁材料からなる第２の保護膜とを有するインクジェットヘッドの製造方法において、第１の保護膜を成膜した後に、ノズル形成前のノズルプレートを圧力室の一面に接着し、第２の保護膜を成膜した後に、レーザー加工によりノズルプレートにノズルを形成するレーザー加工工程を含み、レーザー加工工程においてノズルが開口した後にレーザー光が照射される部位における第１の保護膜の膜厚が１μｍ以上とした。 （もっと読む）

【課題】圧力室内の液体が圧電層へ浸透するのをより確実に防止することが可能な液体移送装置を提供すること。
【解決手段】圧電アクチュエータ３２は、流路ユニット３１の一表面に圧力室５３を覆うように配置される圧電層７０〜７４と、圧電層７０〜７４の圧力室５３と対向する領域に配置された個別電極７５及び共通電極７６と、圧力室５３と対向する領域において、圧電層７０〜７４と流路ユニット３１の前記一表面との間に介在する隔離膜７７とを有する。さらに、隔離膜７７は、樹脂材料からなる第１隔離膜７８と、この第１隔離膜７８よりも圧電層７０〜７４側に配置されるとともに、前記第１隔離膜７８よりもインクを通しにくい材料で形成された第２隔離膜７９とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】供給口の内壁面に形成された保護層の剥離を抑え、かつ、インクが基板にまで容易に浸透するのを防ぐ。
【解決手段】インクを吐出する吐出口１１と、吐出口１１に連通するインク流路１９と、吐出口１１からインクを吐出させるエネルギを発生する吐出エネルギ発生素子１３及び吐出エネルギ発生素子１３を駆動するための複数の機能層が積層されてなる駆動回路を有するシリコン基板１０と、シリコン基板１０及び複数の機能層を貫通して設けられインク流路１９にインクを供給するための供給口３と、供給口３の内壁面を覆って形成された保護層２ａと、を備える。複数の機能層の間、又は機能層とシリコン基板１０との間に、保護層２ａの一部が挟まれ、かつ、一部に穴が形成され、この穴の内側で、保護層２ａを間に挟む複数の機能層同士、又は機能層とシリコン基板１０とが接触される。 （もっと読む）