【課題】インクによる腐食やショートを効果的に防止する。
【解決手段】第１の基板の第２の基板側と反対側の第１の面上に設けられた第１保護層であって、第１保護層の側面はインク供給口の側面内壁と同一面を構成する第１保護層と、インク供給口の側面内壁の全面及び第１保護層の側面の少なくとも一部を覆うように設けられた第２保護層と、を備えていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】欠陥がなく、しかも良好な密着性も担保し得る保護膜を有する液体噴射ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成されている流路形成基板１０と、前記圧力発生室１２内に圧力変化を生じさせる圧電素子３００とを具備し、少なくとも前記圧力発生室１２の内壁には、その表面に形成されたアモルファスの膜であるアモルファス層１６ａと、このアモルファス層１６ａの表面に形成された結晶化した膜である結晶層１６ｂとで耐液体性の保護膜１６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、液体吐出ヘッドに用いる保護層として、緻密で化学的および物理的に安定し、薄膜化してもインク等の液体に対して絶縁性および耐性があり、段差部のカバレッジ性に優れた、さらに好ましくはより薄い保護層を提供することにある。
【解決手段】液体吐出ヘッド基体に用いる保護層として、緻密で化学的および物理的に安定し、薄膜化しても液体に対して絶縁性および耐性があり、段差部のカバレッジ性に優れ、より薄化できる保護層を提供するため、本発明の液体吐出ヘッド基体は、基体と、基体に形成された発熱抵抗層と、液体の流路と、発熱抵抗層に積層され、その端部が発熱抵抗層上で段差部を形成する配線層と、発熱抵抗層と段差部を含む配線層とを覆い、発熱抵抗層と流路との間に配された保護層と、を有する液体吐出ヘッド基体において、保護層は、Ｃａｔ−ＣＶＤ法により形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノズル形成部材で覆われた基板上のテスト端子が露出することを防ぐことが可能なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドは、エネルギ発生素子（不図示）とエネルギ発生素子を駆動する駆動素子（不図示）とが設けられた基板１を有する。基板１上には、基板１上にインク吐出口（不図示）とインク流路（不図示）とを形成するノズル形成部材６が設けられている。基板１の外周領域には駆動素子を検査するためのテスト端子５が設けられている。ノズル形成部材６は、基板１のテスト端子５が形成された領域に対向する部分に、基板１とノズル形成部材６との間に空隙を成す凹部６ｂが形成されている。凹部６ｂの内部は封止材２０で封止されている。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッドの誤動作および発煙・発火を防止して記録ヘッドの安全性を向上させるために、電気接合部へのインクの浸入を即座に感知できるような記録ヘッドとする。
【解決手段】記録素子基板と、フレキシブルフィルム配線基板と、電極Ａ、電極Ｂ及び電極ＡとＢを電気接続する部分を封止するように設けられた封止材とを備えたインクジェット記録ヘッドであって、記録素子基板の封止材によって封止された部分には、インクを検知可能な電極Ｃが設けられていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 （もっと読む）

液滴射出装置が、基板（１）及び複数の液体チャンバ（３６）を含む。この基板の各部分によって、液体供給部（３）が画定される。各液体チャンバは、基板の上に配置され、ノズルプレート及びチャンバ壁を含む。ノズルプレート及びチャンバ壁は、無機材料（４４）を含む。各液体チャンバの中に液体が存在するときに、ノズルプレート及びチャンバ壁の無機材料は、液体と接触可能である。有機材料の領域（４０）が、基板の上に配置され、各液体チャンバの中に液体が存在するときに、この有機材料の領域が液体と接触不可能なようにノズルプレート及びチャンバ壁に対して配置される。液体供給部の両側に配置された隣接する液体チャンバのチャンバ壁が、この有機材料の領域の境界となる。
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【課題】検査用端子の腐食を抑制することが可能なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】動作回路部１４は、エネルギー発生素子２と、駆動回路３ａおよび電気接続端子５を含む。制御素子７は、動作回路部１４を検査するためのメッキされた検査用端子６と、動作回路部１４との間を流れる電流の向きを制御する。 （もっと読む）

【課題】ヘッドユニット間の隙間に浸入した液体を排除することができる液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及び画像形成装置を得る。
【解決手段】ヘッドユニット１１４の内部を通る縦流路６０から吸引ポンプで吸引することで、突合面１１４Ｂに設けられた吸引路５６を通じてヘッドユニット１１４間の隙間に浸入した液体をヘッドユニット１１４から排出することができる。このように、隙間に侵入した液体を吸引路５６を通して案内路に集めてヘッドユニット１１４から排出することで、隙間の全域に渡って吸引手段を配置する必要がなくなる。 （もっと読む）

【課題】さまざまな液体に対して高い耐性をもつ液体噴射ヘッドの提供。
【解決手段】複数配列された電圧印加用電極を表面に有し、内部に液体が供給される第１の部材１と、第１の部材の電圧印加用電極と対応するように複数配列された電圧印加用電極３３を表面に有し、第１の部材に供給される液体の流路を有する第２の部材３とを、第１の部材の各電圧印加用電極と第２の部材の各電圧印加用電極とが電気的に接続するように接着剤を用いて接着された液体噴射ヘッドであって、第１の部材と第２の部材の少なくともいずれかの部材の接着面で、電圧印加用電極の間に、電圧印加用電極の厚み以下の層が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 （もっと読む）

第１の表面、第２の表面、および第２の表面と接触した液体を吐出できるオリフィスを有する液体吐出装置が記載されている。この液体吐出装置は、この液体吐出装置の少なくとも第１の表面上に露出された非湿潤性層、および第２の表面上に露出された保護層を有し、この保護層は、非湿潤性層よりも湿潤性である。この装置の製造には、第１と第２の表面に非湿潤性層を堆積させ、第１の表面にマスキングし、必要に応じて、第２の表面から非湿潤性層を除去し、第２の表面上に保護層を堆積させる各工程が含まれ得る。
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【課題】 吐出エレメントの長尺化（特に０．５インチ以上）やインク組成の変更に伴い、構成部材の線膨張率の違い、液流路壁や吐出孔を形成する樹脂層の応力等にひずみを生じ、また新規インクによっても界面に影響を与え、液流路壁や吐出孔を形成する被覆樹脂層とヒーター基板上の上部保護層との間で剥離が発生してしまう。また、該上部保護層上に有機密着向上層を設けても、該密着向上層と前記上部保護層の界面付近で剥離が発生し、インクが基板上に浸透し、配線の腐食を引き起こしてしまい、その結果、良好な印字が得られなかったり、長期に渡る品質信頼性を確保することが困難であったりした。
【解決手段】 発熱抵抗体と上部保護層とが形成された基板上に、発熱抵抗体と同組成である例えばTaN、もしくはTaSiNからなる密着向上層を形成する。 （もっと読む）

【課題】ピンホールのない酸化膜を基板に形成できるデバイスの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インクを噴射するノズル開口に連通する圧力発生室１２が形成される流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられて圧力発生室１２に圧力を付与する圧電素子３００と、シリコン基板からなり流路形成基板１０の前記一方面側に接合される保護基板３０とを具備するインクジェット式記録ヘッドの製造方法であって、保護基板３０の表面を熱酸化して二酸化シリコン膜１５０ａ、１５０ｂを形成する成膜工程と、保護基板３０に形成された二酸化シリコン膜をエッチングして厚さ方向の一部を除去する洗浄工程とを交互に繰り返すことにより保護膜１５０を所定膜厚に形成する。 （もっと読む）

【課題】アルカリ性の液状材料に対する耐性に優れる液滴吐出ヘッド、当該液滴吐出ヘッドの製造方法および当該液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズル孔１１１を備えたノズル板１１と、アクチュエーターによって振動される振動板１３と、ノズル板１１と振動板１３との間に設置され、液状材料を収容する収容室を画成する隔壁１２２を備え、シリコン材料で構成されたキャビティ板１２とを備える液滴吐出ヘッドであって、隔壁１２２の少なくとも液状材料が接触する面にプラズマ重合膜１７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッド内にインク飛沫が侵入するのを防止する。
【解決手段】圧力室からノズルに至る多数の個別流路が形成された流路ユニット１４０の上面に、アクチュエータユニット１２０が取り付けられていると共に２つのヒートシンク１５０が立設されている。ヘッドカバー１１０が流路ユニット１４０との間でヒートシンク１５０を挟持している。ヒートシンク１５０が、ヘッドカバー１１０の側壁１１２の内壁面と対向しており、当該内壁面に形成された切り欠き１１０ｂとの間でヒートシンク１５０と側壁１１２との境界線に沿った空隙を形成している。境界線に沿って塗布されたポッティング剤１５６が毛細管現象により空隙に充填されている。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッド内にインク飛沫が侵入するのを防止する。
【解決手段】下面がインク吐出面となっている流路ユニット及び金属製のリザーバベース１３２を含むインクリザーバが積層体を構成している。リザーバベース１３２の上面にヘッドカバー１１０が取り付けられている。ヘッドカバー１１０の短手方向に延びた各側壁１１３ａ、１１３ｂには下方に突出する凸部１１５が形成されている。凸部１１５がリザーバベース１３２の上面に形成された凹部１３５と嵌合している。凸部１１５の外周面におけるヘッドカバー１１０の長手方向に関する外側を向いている接触面１１５ａと、凹部１３５の内周面におけるヘッドカバー１１０の長手方向に関する内側を向いている接触面１３５ａとが接している。 （もっと読む）

【課題】液体移送ヘッドの構成を簡単にし、小型化を容易にする。
【解決手段】個別インク流路１０内には、前方の端部に複数の端部に個別電極１２を覆うように絶縁層１５が形成されているとともに、絶縁層１５の後方に隣接する領域に絶縁層１６が形成されている。個別電極１２にグランド電位が付与されたときには、絶縁層１５表面におけるインクの濡れ角が絶縁層１６表面におけるインクの濡れ角よりも大きく（限界濡れ角よりも大きく）、個別インク流路１０の絶縁層１５に対向する部分にはインクが流れ込まない。個別電極に駆動電位Ｖ_１が付与されたときには、絶縁層１５表面の個別電極１２に対応する部分におけるインクの濡れ角が、絶縁層１６におけるインクの濡れ角とほぼ等しくなり（限界濡れ角以下となり）、個別インク流路１０の絶縁層１５に対向する部分にインクが流れ込み、吐出口１０ａからインクが吐出される。 （もっと読む）

【課題】流体流路を封止する封止膜部材と接合基板との接着面の界面の長さを確保して配線部材側への流体の伝わりを抑制することができる液体噴射ヘッドとする。
【解決手段】駆動ＩＣ１００に対応する部位における封止膜４１の接着部位の接合基板３０の上面に溝３５を形成し、溝３５の面の分で接着剤の界面を延長し、リザーバ部３２からのインクが封止膜４１と接合基板３０との接着面の接着剤の界面を伝わった場合でも駆動ＩＣ１００に到達するまでの時間を長くし、簡単な構造の溝３５によりインクの駆動ＩＣ１００側への伝わりを抑制する。 （もっと読む）

流体噴射装置が、流体チャネル１６０を有する基板１２０、１２０’と、基板によって支持されると共に流体チャネルの長さを延びる可撓性膜１３０と、可撓性膜の第１の部分１３４上に設けられるアクチュエータ１４０と、可撓性膜の第２の部分１３６上に設けられる補強部材１５０とを含み、それによって、アクチュエータは、可撓性膜の第１の部分を流体チャネルに対して撓ませるようになっており、補強部材は可撓性膜の第２の部分を支持する。
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【課題】静電吸引方式の液体吐出技術を用い、吐出面がフラットであっても良好に電界集中を生じ、安定で耐薬品性に優れ、微細形状の加工適性に優れ、基材上に微細パターン形成が可能な液体吐出ヘッドおよびそれを用いた液体吐出装置を提供する。
【解決手段】液体吐出装置１、３０の液体吐出ヘッド２、３１は、液体Ｌを吐出するノズル１０と、形状がフラットなノズルプレート１１と、液体Ｌを貯蔵するキャビティ２０と、ノズル１０内の液体Ｌと基材Ｋ間に静電電圧を印加して静電吸引力を発生させる静電電圧印加手段１８と、静電電圧印加手段１８による静電電圧の印加を制御する動作制御手段２４とを備え、ノズル１０の吐出孔１３の内部直径が１５μｍ以下であり、少なくともノズルプレート１１が石英ガラスで構成されており、かつ、ノズルプレート１１の基材Ｋに対向する面１２にフッ化アルキルシラン処理により撥液膜２８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】電極の腐食を抑制すること、さらに、ヘッド構成部材に剥がれが生じることを抑制することができる液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】シリコン基板１０１の液路の形成予定部位に多孔質のシリコン領域１０２を形成する工程と、多孔質シリコン領域上に、発熱部を保護するための保護層１０３と、発熱部を形成するための発熱抵抗層１０４と、発熱部を発熱させる電力を供給する電極層１０５と、蓄熱層１０６と、を積層して形成する工程と、蓄熱層上に予め液路に液体を供給するための供給口１０８が設けられた支持基板１０７を貼り付ける工程と、多孔質シリコン領域を形成したシリコン基板を薄化する工程と、薄化したシリコン基板に、液路と連通するようインク吐出口１０９を形成する工程と、多孔質シリコン領域を除去する工程とを有する。また、支持基板は、シリコンにより形成することができる。 （もっと読む）