【課題】インク等の液体に接する部分においては緻密で化学的及び物理的に安定し、薄層化してもインクに対して耐性があり、段差部においては層のクラック等が発生せずに、カバレッジ性に優れた絶縁保護層を有する液体吐出ヘッド用基体を提供すること。
【解決手段】本発明の液体吐出ヘッド用基体は、基板上に形成された絶縁層の上に、発熱抵抗層と、該発熱抵抗層に電気的に接合する配線と、前記発熱抵抗層と前記配線とを覆う絶縁保護層と、液体路を、順に形成した液体吐出ヘッド用基体であって、前記絶縁保護層がラジカルシャワーＣＶＤ法により形成された層である。 （もっと読む）

【課題】液体噴射面と保持部材との接着強度を向上し、耐久性を向上した液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１が開口する液体噴射面Ａを有する液体噴射ヘッドと、該液体噴射面Ａに接着剤４０１を介して接合されて、前記液体噴射ヘッドを保持する保持部材２５０とを具備し、前記液体噴射面Ａの接着領域及び前記保持部材２５０の接着領域に凹部２３、２５５を設けると共に、該凹部２３、２５５内に前記接着剤以外の連結部材５００を設け、前記凹部２３、２５５に相対向する前記保持部材２５０及び前記液体噴射面Ａと前記接着剤４０１との界面を前記凹部２３、２５５に沿って設ける。 （もっと読む）

【課題】めっき法で形成された低抵抗な電力配線を有しながらも、異なる種類の金属がインクや水分等に接触することがない構造を有する、インクジェット記録ヘッド用の基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】個別配線１０２に電力を供給するための共通配線は、ビアホール２３２を中心とした一部領域に形成された拡散防止層１０４と、その上面および側面を被覆する第１の金属１０５と、更に第１の金属に積層された第２の金属１０６とから構成される。この際、共通配線の表面は、同一元素による単一金属で形成されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】 金属を埋め込む必要のある部分の深さ、および、配線幅が大きく異なっていても、大幅なディッシングによる膜厚の減少を防止して平坦な研磨面を与えることで、保護膜の厚みを小さくしても耐久性の劣化を招かずに印字速度を向上させることが可能となる熱インクジェット記録ヘッドの簡便な製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】 所望の配線パターン、及び、その近傍で保護レジストを開口して通電し、必要最小限の部分に金属を堆積させるパターンめっきを行った後に、保護レジストを除去し、ウエットエッチングによりスクライブラインを含めた不要なシード層を一括して除去する。 （もっと読む）

【課題】キャビティユニットと接しているアクチュエータユニットのセラミックス層に、クラックが存在している場合でも、液体による個別電極と共通電極との電気的な短絡を避けることができる液体吐出装置を提供する。
【解決手段】液体吐出装置１は、液体を吐出する複数のノズル１３とそのノズルに連通する圧力室１４とを有するキャビティユニット２と、圧力室１４に吐出圧を発生させるアクチュエータユニット３とを備える。アクチュエータユニット３は、積層した複数のセラミックス層２４間に、各圧力室に対向する個別電極２６と、全圧力室に共通する共通電極２５とを有する。アクチュエータユニット３におけるキャビティユニット２との接触面２７から同接触面２７に最も近い位置にある個別電極２６までの間で且つ接触面２７を除く位置に、液体を通さないバリア層２４ｂを積層する。 （もっと読む）

【課題】封止不良の発生を抑えることができるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】エネルギー発生手段と、互いに対向する２辺と、該２辺に挟まれた辺に沿って配された電極部２と、を備える記録素子基板１を用意する。記録素子基板１の対向する２辺と該２辺に挟まれた辺のそれぞれに沿って対向する辺を備えた電気配線テープ１０を用意する。電極部２と配線とを接続して対向する２辺の少なくとも１辺に電気接続部１２ａを形成する。間隙Ｌ₁を間隙Ｌ₂よりも大きくし、間隙Ｌ₁と間隙Ｌ₂とは電気接続部を間に挟んで相対する位置とする。電気接続部１２ａを封止する際に、封止材を間隙Ｌ₁側から電気接続部１２ａを経て間隙Ｌ₂側へ向けて封止材を配する。 （もっと読む）

【課題】インク収容部と熱エネルギーを発生する発熱部が設けられた記録ヘッドとを備えたインクカートリッジとして、連続して記録を行う際の記録ヘッドの記録耐久性に優れたインクカートリッジを提供すること。
【解決手段】インクを収容するインク収容部と、インクを吐出するための熱エネルギーを発生する発熱部が設けられた記録ヘッドを備えたインクカートリッジであって、前記発熱部が、前記インクと接する面に、珪素酸化物、珪素窒化物、及び珪素炭化物のいずれかひとつを少なくとも含む保護層を有してなり、前記インクが少なくとも色材を含有し、前記色材が、特定の一般式で表される化合物、並びに、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー９及び銅フタロシアニン構造を有する化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とするインクカートリッジ。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板の薄板化の工程で発生する異物を効率的に除去でき、歩留まりを向上することが可能なノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】シリコン基板１００の一方の面に、ノズル孔１１の噴射口部分となる第１の凹部と、第１の凹部に連通し、液滴の導入口部分となる第２の凹部とを形成する工程と、シリコン基板１００の一方の面に、ノズル孔１１から吐出する液滴に対する耐液体性及び耐エッチング性を有するＳｉＮ膜１０６を形成する工程と、ＳｉＮ膜１０６の上にＳｉＯ₂膜１０７を形成する工程と、シリコン基板１００の一方の面に支持基板１２０を貼り合わせる工程と、シリコン基板１００を他方の面から薄板化する工程と、支持基板１２０をシリコン基板１００から剥離する工程と、支持基板１２０を剥離したシリコン基板１００のＳｉＯ₂膜１０７をエッチング除去する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】電気配線テープの導体層やベースフィルムの厚さが薄く、かつ電気接続部の封止信頼性が高い、低コストで製造することが可能なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】電気配線テープ２０３はカバーフィルム６００５が支持板２０４に対面する向きで支持板２０４に配置されている。電気配線テープ２０３の電極端子２０６の近傍の部分には、カバーフィルム６００５及びカバーフィルム接着剤６００４がベースフィルム２００１及びベースフィルム接着剤６００２の端面よりも張り出した張り出し部６００６が形成されている。第二の封止剤３００１は、ベースフィルム６００１と、張り出し部６００６におけるカバーフィルム接着剤６００４とに接着している。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット記録ヘッドにおいてＳｉ基板の膜応力による反りを緩和して反りによる不良を削減すると伴に異方性エッチング時の歩留まりを向上させる。
【解決手段】 １、メンブレン層が単層の場合は、何れかの犠牲層間で分離して膜応力を緩和する。
２、メンブレン層が多層構成の場合は、多層構成膜を同じ犠牲層間で分離して膜応力を緩和し、膜厚が厚くなることで異方性エッチンッグの歩留まりも向上させた、またはそれぞれ異なった犠牲層間で分離することで膜応力を緩和した時は、犠牲層間にもメンブレン層があることでより異方性エッチング時の歩留まりをさせる。 （もっと読む）

【課題】 Ｔａとその上層密着向上材の接着において耐久試験後のピール試験においても密着力が維持されるＴａ膜を考案することである。
【解決手段】 ヒーター上に金属酸化膜形成プレカーサー組成物の焼成物から成るヒーター保護膜を有し、該ヒーター保護膜が密着性向上部材を介してノズル部材と接合しているインクジェットヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】ＴＡＢとチップとの間に段差を設けることによってエッジタッチを回避しつつ、該段差に起因する封止材のくびれ発生も同時に抑制する。
【解決手段】インクを吐出するチップ２００と、チップ２００に接続される複数のリード３０１からなるリード群を備えたＴＡＢ３００と、チップ２００及びＴＡＢ３００を保持するタンクケース１００とを備えている。また、リード群とチップ２００との接続部は、第２の封止材５００により封止されている。さらに、タンクケース１００上であって、かつ、リード群の外側には、凸部１０１が形成され、チップ２００上面と凸部１０１上面との間の高低差は、チップ２００上面とＴＡＢ３００上面との間の高低差よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で、長尺の接続部等においても高い信頼性でインク漏れを検知することが可能なインクジェット記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】インク漏れが発生すると考えられる部分の電気基板に、インク漏れ検出用の配線パターンを設けて、インクジェット記録装置の電源投入時、および動作中に常時インク漏れの検知を行う。 （もっと読む）

【課題】 隣接する供給口間が連通しないようにシール性を保ちつつ、インクジェットヘッド及び保持部材の小形化を図ることができる液滴吐出装置をを提供する。
【解決手段】 インクジェットヘッドプリンタ１は、複数のノズルから吐出させるインクを供給するための複数のインク受入口３５が形成された記録ヘッド４３と、複数のインク受入口３５に対応して接続する複数のインク供給口５０が形成された補強フレーム４２とを備える。前記記録ヘッド４３と補強フレーム４２は、複数のインク受入口３５と複数のインク供給口５０とをそれぞれ対応して接続させて、補強フレーム側接着面５１と流路ユニット側接着面５２とが、互いに対向して接着固定されていている。流路ユニット側接着面５２には、相互に隣接するインク供給口５０の間を縫うようにスラローム状に連通溝５３が形成され、この連結溝５３には、ポッティング剤５４が装填されている。 （もっと読む）

【課題】流路からの液体の漏れに伴うヘッド本体の電気的不具合を防止した液体噴射ヘッドユニットを提供する。
【解決手段】接合部材２００には、ヘッド本体１００を接合部材２００に接合する際にヘッド本体１００の接合部材２００側の面に当接される押圧部材２５０が挿入される挿入孔２０２が設けられていると共に、シール部材３５０には、挿入孔２０２の開口周縁に当接する当接部３５４を有し挿入孔２０２を密封する突起部３５３が各挿入孔２０２に対応して設けられているようにする。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータ基板を貫通して形成された液供給路に接液膜を形成する場合、上記方法を適用した場合、材料の表面張力によって液供給路の表面（出入り口）付近で被覆性（膜厚）が不十分となり易い。
【解決手段】アクチュエータ基板１０の液供給路である液供給口６０の基板表面部分には、絶縁膜１１、１３、２２、応力調整膜２４、犠牲層除去孔封止膜２５の積層膜からなる接液性を有する庇６２が設けられ、この庇６２と液供給路６０内壁に接液膜６１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】製造工程において、ペースト状導電性材料の膨張に伴う配線の破断や保護膜の劣化を防止できる基板及び液滴吐出ヘッド並びに液滴吐出装置の提供を課題とする。
【解決手段】ペースト状の導電性材料８６が埋め込まれた複数の貫通口４２と、貫通口４２を塞ぐように設けられ、導電性材料８６と電気的に接続される電極配線９０と、電極配線９０を被覆して保護する第１保護膜９２と、を有する基板７０において、電極配線９０と第１保護膜９２との間に、弾性保護膜９４を設ける。そして、その基板７０を備えた液滴吐出ヘッド３２とし、その液滴吐出ヘッド３２を備えた液滴吐出装置１０とする。 （もっと読む）

【課題】導電性の異物の付着に起因する液体の電気分解を防止することが可能な液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】振動子基材の先端側部分に絶縁性材料６０を固着し、その後、振動子基材を個々の圧電振動子１５に分割することで振動子ユニット１６を形成する。この振動子ユニットをヘッドケース１８の収容室５３に収容して自由端部１５ａの先端面をダイヤフラム部４７の島部４９の表面に当接させた状態において、絶縁性材料が、島部４９と圧電振動子１５の自由端部の先端面との間に絶縁部５９として介在することにより、島部４９と圧電振動子１５を電気的に絶縁する。 （もっと読む）

【課題】供給口が保護膜によって効果的に被覆され、インクの基板への進入が抑制されたインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を一方の面側に有する基板と、基板の一方の面から一方の面の裏面である他方の面へと貫通して設けられ、インクを供給するための供給口と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、一方の面側の開口と他方の面側の開口間を貫通し供給口となる貫通孔と、貫通孔の他方の面側の開口の領域内にまで張り出した第１の保護層と、を有する基板を用意する工程と、少なくとも第１の保護層の他方の面側の開口の領域内にまで張り出した部分と貫通孔の内壁とを連続して被覆するように第２の保護層を形成する工程と、第２の保護層のうち一方の面側の開口に対応する部分を除去する工程と、を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 プレート部材と接着層との界面にインクが浸入し難い液滴噴射装置を実現する。
【解決手段】 接着面がニッケルメッキされた材料１の補強プレートを使用し、かつ、インク１〜４を使用すこと、あるいは、材料２の補強プレートを使用し、かつ、インク１，２を使用することで、プレートとシート状接着剤との界面にインクが浸入し難く、補強プレートが剥離し難い。つまり、補強プレートの接着面に対するインクの接着仕事Ｗａが、０．０６５Ｊ／ｍ^２以下となる補強プレートおよびインクを使用すれば、プレートとシート状接着剤との界面にインクが浸入し難い。 （もっと読む）