【課題】液体吐出ヘッド用基板において、電極へのインクの染み込み防止を達成することができ、かつ、面積を縮小することができる液体吐出ヘッド用基板を提供する。
【解決手段】基板１０１の第一の面１０２と、基板１０１の第三の面１０４との間に設けられ、液体を吐出するためのエネルギーを発生する素子２０１と電気的に接続する複数の電極２０５と電気的に接続する電極層２０２が領域１０５の内側に設けられている。さらに、領域１０５には電極層２０２を被覆する樹脂からなる部材４０２が設けられている。 （もっと読む）

インクジェット印刷システムは、インク貯蔵器と流体連通し、複数のオリフィス及び対応する複数の付属噴射チャンバを有する印刷ヘッドを含む。印刷ヘッドは、基板と、基板に配置されたバリア層とを含む。バリア層は、一部で複数の流体チャネル及び複数の噴射チャンバを画定する。バリア層は、エポキシ系フォトレジスト材料及びメタクリル酸メチル系フォトレジスト材料から選択された材料を含む。オリフィスプレートは基板上に配置される。オリフィスプレートは、噴射チャンバと流体連通する複数のオリフィスを含む。オリフィスプレートは、ポリイミド及びニッケルから選択された材料を含む。
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【課題】ノズル孔の縁部が吐出液に浸食されることがなく吐出液に対する耐久性に優れ、撥水膜自体も当初から強固に密着されており、ノズル孔内壁への被覆やノズル面への撥水膜形成に際して、均一な被覆、正確な塗布領域の制御が可能なシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで酸化物からなる耐吐出液保護膜１３を連続して形成し、耐吐出液保護膜１３の上に撥水膜１４を形成した。また、ノズル孔１１の内壁１１ｃから接合面１ｂにかけて上記の酸化物と同一材料の酸化物からなる保護膜１２を連続して設け、保護膜１２の上に耐吐出液保護膜１３を連続して設けた。 （もっと読む）

インクジェットプリントヘッド（１０）は少なくとも１つの電極を有し、電極表面の露出した金属領域（１６）は不活性金属のコーティングを有する。プリントヘッドの使用の際、不活性金属コーティングは下にある電極の金属表面を保護するように機能し、特に、水性または他のイオン含有インクに対する腐食から電極を保護する。発明は、圧電プリントヘッドにおいて特に有益である。
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【課題】クロストークを抑制しつつ圧電素子の絶縁性をより確実に確保することが可能な
圧電アクチュエーター、液体吐出ヘッド、及び、液体吐出装置を提供する。
【解決手段】第１の電極と、圧電体層と、第２の電極と、をこの順に積層した状態で有し
、少なくとも第２の電極および圧電体層が、駆動対象部毎にパターニングされた圧電アク
チュエーターであって、比誘電率が１００以上の絶縁性被覆材によって少なくとも第２の
電極の外面が被覆されている。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズル孔１１を備えるノズルプレート１０と、封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合され、基板２０と封止シート３０とが接合膜２５を介して接合されている。これら接合膜１５、２５は、それぞれ、ポリエステル変性シリコーン材料を含有する液状材料を乾燥および／または硬化させてなるものである。そして、これらの各接合膜１５、２５にエネルギーを付与すると、表面が活性化されることに起因して、各接合膜１５、２５に接着性が発現する。この接着性によって、基板２０とノズルプレート１０および基板２０と封止シート３０が接合されている。 （もっと読む）

【課題】インク及び電極の劣化を抑制できるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの保護膜形成方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド１は、インク３１が供給されるインク室３３が形成された圧電部材３、４と、インク室３３側の圧電部材３、４の表面に形成された電極７、８と、絶縁性及びフレキシブル性を有する材料を含み、インク３１と接する領域の電極７、８の表面に形成された保護膜９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータユニットの電気的短絡を防止するために流路ユニットとアクチュエータユニットとの間に介在させる部材をできるだけ薄く且つ平らに形成する。
【解決手段】インクジェットヘッドの製造において、吐出口及び圧力室を含むインク流路が形成された流路ユニット１０ａと、各圧力室に対応するアクチュエータを複数有すると共に複数の圧力室に跨って配置されるアクチュエータユニットとの間であって、アクチュエータユニットにおける圧力室の開口を覆う部分に、ニッケル膜５１及び貴金属膜５２からなる保護膜５０を介在させる。シリコンウェハー２００の平滑面２００ａ上に保護膜５０を形成した後、シリコンウェハー２００に支持させたまま保護膜５０を流路ユニット１０ａ上に載置し固定する。その後、シリコンウェハー２００を保護膜５０から剥離し、保護膜５０におけるシリコンウェハー２００が剥離された面に、アクチュエータユニットを接着する。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの圧電層を保護して損傷を防止するとともに、圧電層に液体が付着することによる電極間ショートや電極材料のマイグレーションを防止することも可能な、液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】インクジェットヘッド１は、ノズル２０が開口する液滴噴射面１３ａ、及び、ノズル２０に連通する圧力室１４を含むインク流路を有する流路ユニット４と、流路ユニット４に設けられるとともに、圧力室１４と対向するように配置された圧電層３１とこの圧電層３１に設けられた個別電極３２とを有する圧電アクチュエータ５を備えている。そして、流路ユニット４の液滴噴射面１３ａには、撥液性を有する撥液膜２２が設けられる一方で、圧電アクチュエータ５の圧電層３１の表面は、撥液膜２２と同じ膜材料で形成された保護膜３８によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】微細な流路構造が高密度に配置されている複数部材を接着する際に、接着剤の接液面の保護性能及びシール性を向上させる。
【解決手段】複数の基板を接着して微細な流路構造が形成される液体流路の接着構造であって、前記複数の基板を接着剤で接着した際、前記基板同士の接合部において、前記基板を接合して形成される流路内に流す液体に対して耐液性を有する耐液膜剤を、前記流路内側に露出した接着剤を覆うように塗布して形成された耐液膜塗布部と、前記流路内側における、耐液膜塗布部と、前記耐液膜剤を塗布しない非塗布部との境界部分に設けられた、前記耐液膜剤に対し撥液性を有する撥液部分と、を備えたことを特徴とする液体流路の接着構造を提供することにより前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】液体のリークを抑制すると共にガスバリアー性を向上して、信頼性を向上することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体流路１２０の一部の壁面を構成する第１流路部材１００と、液体流路１２０の前記第１流路部材１００と異なる一部の壁面を構成する第２流路部材１１０と、液体流路１２０の周りに形成され、第１流路部材１００と第２流路部材１１０とを一体成型接合する一体成型部材１４０と、を備えた液体噴射ヘッドであって、前記液体流路１２０の周りには、前記第１流路部材１００と第２流路部材１１０との間に挟持されると共に、前記第１流路部材１００及び第２流路部材１１０よりも弾性変形し易い弾性部材１３０を有し、前記一体成型部材１４０は、前記第１流路部材１００と第２流路部材１１０との間に挟まれた前記弾性部材１３０の外側に形成されている。 （もっと読む）

流体吐出装置は、流体流のための複数の流体通路及び複数の流体通路に流体連結された複数のノズルを有する基板と、基板の上部に配置され、複数の流体通路内の流体が複数のノズルから吐出されるようにする複数のアクチュエータと、複数のアクチュエータの少なくとも一部の上に形成された保護層と、基板に隣接する室を有するハウジング構成部と、空隙内にある吸湿層と、を含む。吸湿層は、保護層より吸湿力が高い。
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【課題】溝内に電極とその電極上に無機絶縁膜と有機絶縁膜からなる２層保護膜を形成した圧電部材に、溝を覆い圧力室を形成するための天板を接着し、ポリイミドプレートが溝を覆うように接着した後に、エキシマレーザー加工によって圧力室にあわせてポリイミド上にノズルを形成してインクジェットヘッドを形成する。この場合、エキシマレーザーがノズル加工のためにポリイミドプレートを貫通し、さらに有機絶縁膜に照射される。そのため、レーザー光によって有機絶縁膜が破壊される。
【解決手段】有機絶縁膜の破壊を防止するため、有機絶縁膜のエキシマレーザーが照射される部位における無機絶縁膜の厚さを０．５μｍ以上とした。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの過昇温を抑制するとともにスループット低下をできるだけ低減させる。
【解決手段】本発明は、インクを吐出するための熱エネルギを発生するヒーターを有する記録ヘッドを走査させて記録を行う記録装置に関する。記録ヘッドの走査前に記録ヘッドの温度を検知し、検知された温度が閾値温度を超えた場合に、記録ヘッドを待機させる。記録ヘッドのヒーターの累積駆動回数に係る情報を取得し、この情報に基づいて、累積駆動回数が多いほど閾値温度を低い温度に変更する。 （もっと読む）

【課題】耐吐出液保護膜の組成を管理してアルカリ耐性を向上させることができるシリコン製ノズル基板等を提供すること。
【解決手段】ノズル孔１１を有し、耐吐出液保護膜１３を表面に形成したシリコン製ノズル基板１であって、液滴吐出側のシリコン基材１００の表面１００ａと耐吐出液保護膜１３との間の一部に、赤外線反射膜１５を設けた。この場合、耐吐出液保護膜１３が、シリコン基材１００の液滴吐出側の面１００ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで連続して設けられ、赤外線反射膜１５はアルミニウムを主成分とし、あるいは酸化チタンを主成分として、ノズルクリーニングの影響を受けない領域に形成されている。 （もっと読む）

【課題】生産効率の向上、及び、液体の温度検出精度の向上を図ることを目的とする。
【解決手段】アクチュエータプレート３０とカバープレート３１とノズルプレート３３とを備えるチップ本体３４、及び、アクチュエータプレート３０に形成された溝部３５内に充填された液体の温度を検出する温度センサ５０、を備え、溝部３５の側壁３６に形成された駆動電極３７に対して温度センサ５０の検出値に基づいて決定された大きさの駆動電圧を印圧することで側壁３６を変形させて溝部３５内の液体をノズル孔３３ａから吐出させるヘッドチップ２１において、温度センサ５０は、チップ本体３４の外周面に設置されていると共に、チップ本体３４に形成されてアクチュエータプレート３０の実装部３０ａまで延設された引回し配線５１を介して外部に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】液保護膜の表面に傷やピンホール等を生じさせず、アルカリ耐性を向上させることができる高品質のシリコン製ノズル基板等を提供すること。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液導入側の面１ｂからノズル孔１１の内壁１１ｃまでドライ酸化膜１２を形成し、ドライ酸化膜１２にＴａ₂Ｏ₅ 膜１３を積層した。このとき、ノズル孔１１の液導入側の面１ｂからノズル孔１１の内壁１１ｃまでドライ酸化膜１２を形成し、ノズル孔１１の液吐出側の面１ａに撥水膜１４をさらに形成し、ドライ酸化膜１２に、ノズル孔１１の液導入側の面１ｂからノズル孔１１の内壁１１ｃの開口部１１ｄまで連続するＴａ₂Ｏ₅ 膜１３を積層する。 （もっと読む）

【課題】ノズル基板の液滴吐出面に形成された液滴保護膜の剥離又は破損の発生を抑制することができ、液滴に対するノズル基板の耐久性を向上させることができるノズル基板、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置並びにこれらの製造方法を得る。
【解決手段】シリコン基板１００を貫通させて、液滴を吐出するためのノズル孔１１を形成したノズル基板１であって、シリコン基板１００の液滴吐出面１００ａに形成された第２の液滴保護膜１４と、液滴吐出面１００ａ側に形成され、第２の液滴保護膜１４より絶縁耐圧が低い導電性端子１３とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ノズル基板の液滴吐出面に形成された液滴保護膜の剥離又は破損の発生を抑制することができ、液滴に対するノズル基板の耐久性を向上させることができるノズル基板、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置並びにこれらの製造方法を得る。
【解決手段】シリコン基板１００を貫通させて、液滴を吐出するためのノズル孔１１を形成したノズル基板１であって、シリコン基板１００の液滴吐出面１００ａに形成された第２の液滴保護膜１４と、液滴吐出面１００ａ側に形成され、第２の液滴保護膜１４より絶縁耐圧が低い導電性端子１３とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】液との適合性に優れ、しかも微細で高精度のノズル孔を有するノズル基板、液滴吐出ヘッド等を提供すること。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔３０を有するノズル基板３であって、ノズル基板３がシリコン材料からなる基材４と硼珪酸ガラス材料からなる基材５とを積層して形成され、シリコン材料からなる基材４がノズル孔３０の液吐出側に配設され、硼珪酸ガラス材料からなる基材５がノズル孔３０の液導入側に配設されている。そして、ノズル孔３０の液吐出側に配設されたシリコン材料からなる基材４と、ノズル孔３０の液導入側に配設された硼珪酸ガラス材料からなる基材５とが、陽極接合されている。 （もっと読む）