【課題】ワイピング時におけるノズルプレートの位置決め孔内への液体の侵入及びワイパーの破損や劣化を共に軽減する。
【解決手段】インクジェットヘッドの流路ユニット４は８枚のプレート２２〜２９が互いに積層されることによって構成されている。最下層のノズルプレート２９はその長手方向両端に仮位置決め孔２９ａが形成された突出領域２９ｙを有し、当該領域２９ｙは上方に屈曲されている。仮位置決め孔２９ａは流路ユニット４の作製工程においてノズルプレート２９の仮位置決め（支持台等に対するノズルプレート２９の位置決め）に用いられる。ノズルプレート２９にはさらに仮位置決め孔２９ａよりも小さくノズルと同径の微小径の位置決め孔２９ｂが他のプレート２２〜２８との重複領域２９ｘに形成されている。ノズルプレート２９の位置決め孔２９ｂとプレート２２〜２８の位置決め孔２ａ〜２ｇとを用いてプレート２２〜２９同士の位置決めが行われる。 （もっと読む）

【課題】多段構造のノズル孔を有するノズル基板を研削等の薄板化加工で形成するのではなく、成膜によって形成することで、板厚・ノズル長さの精度向上が可能なノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】成膜基板１００上に犠牲層１０１を成膜し、犠牲層１０１の上に、リンをドープしたドープドポリシリコン層とストップ層とを順次交互に積層しノズル基板基材１１０を形成する。そしてノズル基板基材１１０上にｎ段の階段状の開口１０５ａを有するマスク層１０５を形成し、マスク層１０５の開口を順次広げつつノズル基板基材１１０を各ストップ層でエッチングがストップするまでエッチングすることを繰り返し、最後にノズル基板基材１１０を犠牲層１０１でエッチングがストップするまでドライエッチングしてノズル孔を形成する。そして犠牲層１０１をエッチングにより除去してノズル基板基材１１０を成膜基板１００から剥離する。 （もっと読む）

【課題】 記録素子基板とオリフィスプレートとからなるインクジェットヘッドにおいて、吐出口の変形やオリフィスプレートと記録素子基板との剥がれを抑制する。
【解決手段】 インクジェットヘッドにおいて、複数の供給口は、記録素子基板の一端部側に配される第１の供給口と、配設の方向に関して記録素子基板の一端部の反対側である他端部側に配される第２の供給口と、を含み、配設の方向に関して、一端部と第１の供給口との間隔に比べ、他端部と第２の供給口との間隔が小さく、第１の供給口と連通する複数の第１のインク流路を構成する第１の流路壁と記録素子基板との接触面積に比べ、第２の供給口と連通する複数の第２のインク流路を構成する第２の流路壁と記録素子基板との接触面積が大きい。 （もっと読む）

【課題】 吐出口プレートと基板との密着性を確保した上で、溝部に異物が付着し難く、また、溝部に異物が付着したとしても容易に異物の除去が行える液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】 基板と、エネルギー発生素子に対応した吐出口を備える吐出口プレートと、
基板と吐出口プレートの間に形成される流路と、を有する液体吐出ヘッドであって、吐出口プレートには流路を取り囲むように溝が形成されており、溝は、吐出口プレートの基板との接合面側に形成される第１の溝部と、吐出口プレートの吐出口が配された面側に形成される第２の溝部と、からなり、第１の溝部の縁部は微小な凹凸を多数有する鋸歯状に形成され、かつ、第２の溝部の縁部は略直線状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】装置サイズを大型化することなく、液滴の吐出状態が正常か否かを検出することが可能に構成された液滴吐出装置を提供すること。また、吐出異常を早期に発見することが可能な液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェットヘッドは、ノズル及びインク流路が形成された流路ユニット２２と、インク流路内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータを備えている。また、流路ユニット２２は、圧電材料からなるノズルプレート３３と、ノズルプレート３３の両面のノズル周囲領域にそれぞれ配置された、第１電極６１及び第２電極６２を有する。そして、プリンタは、圧電アクチュエータによってインク流路内のインクに圧力が付与されたときに生じる、第１電極６１と第２電極６２の電位差に基づいて、ノズル４０からの液滴の吐出状態が正常か否かを判定するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】液柱を迅速に切断して、吐出速度を低下させることなくサテライトレス化を図ること。
【解決手段】ノズル５１から液体を吐出する際に、ノズル５１から伸長している途中の液柱３４の根元に対して、ノズル５１の吐出軸３０上に配置されている気体口４１から、気泡３２を注入する。気泡３２の注入は、ノズル５１のメニスカスを押した後の引きで行うことが、好ましい。ノズル５１の吐出軸３０上に発熱体を配置して、この発熱体によって気泡を発生させてもよい。 （もっと読む）

【課題】サテライトやミストの発生を抑えつつ、小液滴化されたインク滴を高周波で吐出できる信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】エネルギ発生素子４が配された発泡室８と、エネルギ発生素子８との対向位置に設けられた吐出口７とは、吐出口部６によって連通している。吐出口部６は、インク供給流路９に沿って流れるインクの供給方向において、吐出口７の中心よりも奥側に位置する領域Ｒ１が、吐出口７の中心よりも手前側に位置する領域Ｒ２よりも、インクに対する流動抵抗が小さくなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】ノズル６の内部に気泡を残さずに液滴を吐出し、耐久性が向上された記録ヘッド１及びインクジェット記録装置２を提供すること。
【解決手段】吐出口部８は、大気と連通する第一吐出口部１２と、第一吐出口部１２よりも吐出方向に対して直交する方向の断面積が大きく、発泡室７と第一吐出口部１２との間に形成された第二吐出口部１３とを有している。そして、第二吐出口部１３の中心は、電気熱変換素子の中心に対して、インク供給口から発泡室７へインクの供給される方向である供給方向にずれて形成されている。 （もっと読む）

【課題】テーパー形状と垂直形状が連通した形状を効率的に形成できる微細構造の形成方法及び流体噴射ヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】基板１に垂直な側壁部を有する第１開口部７と、第１開口部７と連通するテーパー状の側壁部を有する第２開口部１０と、を備えた微細構造の形成方法であって、基板１上に階段状の構造を有する貫通孔５を備えたマスク２を形成する第１工程と、マスク２を介してドライエッチング工程と、保護膜８を形成するパッシベーション工程とを交互に連続して繰り返すことにより第１開口部７と第２開口部１０とを形成する第２工程と、を備え、第２工程では、ドライエッチングにおけるエッチング量をパッシベーションにおいて形成される保護膜８の量よりも多くし、第２開口部１０の側壁部となる基板１の一部をエッチングしつつ第１開口部７の底面をエッチングすることで、第２開口部１０の側壁部をテーパー状に形成する。 （もっと読む）

【課題】流体抵抗部の壁面を形成する振動板を圧電素子で変形させて流体抵抗値を増加させる構成では、流体抵抗を変化させる構成が複雑になる。
【解決手段】液滴を吐出するノズル３が形成されたノズル板１と、ノズル板１のノズル３の周囲部分６を熱で撓ませて変形させるヒータ層４と、ノズル板１に対向してノズル３に液体を供給する流路を形成する流路部材２とを備え、ノズル板１のノズル３の周囲部分６とこの周囲部分６に対向する流路部材２の凸部２３の対向面２４の間で流体抵抗路７が形成され、ノズル板１のノズル３の周囲部分６が変形されたときに流体抵抗路７の流体抵抗値が変化する。 （もっと読む）

【課題】吐出口の周面の大部分を同じ濡れ性の材料により形成することにより、吐出方向がずれないように液体を安定的に吐出することができる液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、およびインクジェット記録装置を提供すること。
【解決手段】吐出口１８を形成する天板８の面に、吐出口１８を形成する基板１の面およびノズル壁５の面と同じ感光樹脂材料によって、ノズル壁５に接触しない凸部４を設ける （もっと読む）

【課題】より少ない液体量で噴射対象物上にドットを効率良く埋めることが可能な液体噴射装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル群を有し、ノズル群を構成する各ノズル開口１５からインクを噴射する記録ヘッドにおいて、同一ノズル群における隣り合う複数のノズル開口の組をノズルセット３３とし、当該ノズルセットを圧力発生室２６毎に１セットずつ対応させて配設し、隣り合うノズル群における一方のノズル群の各ノズルセットと他方のノズル群の各ノズルセットとを、ノズルセット列設方向に相対的にずらした状態で配置した。 （もっと読む）

【課題】インクの吐出方向を制御するための変形素子を容易に配置できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】この発明のインクジェットヘッドは、圧電基板３１、ノズルプレート１０及び変形素子２２を備えている。
圧電基板３１は、チャンネル壁３３によって隔てられた複数のチャンネル溝３２であって互いに平行に並ぶ複数のチャンネル溝３２が、形成されている。ノズルプレート１０は、チャンネル溝３２に対応した複数のノズル孔１１を有し、圧電基板３１の前面に接合される。変形素子２２は、圧電基板３１とノズルプレート１０の間に配置され、ノズルプレート１０におけるノズル孔１１の周縁部の少なくとも一部を厚さ方向に変形させる。変形素子２２は、圧電素子、磁歪素子及び熱変形素子のいずれであってもよい。 （もっと読む）

【課題】従来技術では困難であった一方の開口部から他方の開口部まで同一径で、径が５０μｍ以下の微細径貫通孔を形成することを可能とする。また、孔の内部を外部から視認できるようにする。
【解決手段】本発明の一実施形態によれば、第１の樹脂基材１３の一平面に所望の微細径の金属線１９を所望のピッチで配設し、前記金属線１９が配設された第１の樹脂基材１３の一平面と、前記第１の樹脂基材と同じ材質からなる第２の樹脂基材１４の一平面とを、前記第１および第２の樹脂基材の材質を主成分とする接着剤を介して接着して一体化し、一体化された前記第１および第２の樹脂基材１５を所望の厚さに切断し、一体化された前記第１および第２の樹脂基材１７をエッチング液に浸漬して前記金属線１９を溶解すること、を備えることを特徴とする微細径貫通孔を有する樹脂基材１８の製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】インクによるノズル孔の目詰まりを低減でき、かつ、ノズル孔内のインクの濡れ性を確保できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル孔１３を有するノズルプレート２９に、印字面と反対側からプレス加工をすることによって、印字面側の開口１３ａの周縁から当該開口１３ａの内側に向かって突出するバリ１３ｂが残るように、貫通状のノズル孔１３を形成する。ノズルプレート２９の印字面と反対側の面からレジスト５１を塗布してノズル孔１３の内部に当該レジスト５１を充填する。ノズルプレート２９の印字面側の面に研磨加工を施すことによって、バリ１３ｂを除去する。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートを、接着剤を用いることなく他の部材との接合させ、且つ、ノズルプレートを容易に製造する。
【解決手段】インクジェットヘッド３の流路ユニット３１は、上からキャビティプレート２１、ベースプレート２２、マニホールドプレート２３及びノズルプレート２４が互いに積層されて構成されている。ノズルプレート２４は、上から熱可塑性樹脂フィルム２５、金属製の補強板２６及び熱可塑性樹脂フィルム２７が互いに積層されることにより構成されている。熱可塑性樹脂フィルム２７には複数のノズル１７が形成されており、熱可塑性樹脂フィルム２５及び補強板２６には複数のノズル１７に連通する複数の貫通孔が形成されている。熱可塑性樹脂フィルム２５と熱可塑性樹脂フィルム２７とは同じ熱可塑性樹脂材料により構成されているとともにその厚みもほぼ同じになっている。 （もっと読む）

【課題】ノズルヘッドにおいて、高い精度で液滴を吐出する。
【解決手段】ノズル３０２から液滴を吐出するノズルヘッド１２であって、液滴を吐出するノズル３０２と、ノズル３０２に供給される液体を貯える液室２０２と、液室２０２からノズル３０２へ供給される液体を整流する整流板２０４とを備える。また、少なくとも液室２０２の開口部を覆うダイヤフラム１０４と、ダイヤフラム１０４を挟んで液室２０２の開口部と対向する圧電素子１０８とを更に備え、整流板２０４は、圧電素子１０８が発生する圧力に応じてノズル３０２へ供給される液体を整流してよい。 （もっと読む）

【課題】ラインヘッドを構成する単位ヘッドの交換作業を単純化する。
【解決手段】複数の単位ヘッド２が、同一モジュールベース１上に固定されて１色分のヘッドを構成する単位ヘッドのモジュールユニットにおいて、連結金具３によって、隣接する単位ヘッドを相互に連結するとともに、モジュールベース上に上記連結されたヘッド群を固定した構成とする。これによって、４個以上の単位ヘッドを有するラインヘッドであってもの２番目の単位ヘッドを交換する場合、一番端の単位ヘッドとの距離調整と、３番目の単位ヘッドとの距離調整のみで足りる。 （もっと読む）

【課題】 形状精度の高いテーパー形状の吐出部を有する液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 前記基板上に前記吐出口を形成する部材となるネガ型感光性樹脂の層を形成する工程と、前記層を露光し、前記吐出部の基板に平行な断面の断面積が前記基板から吐出口に向かう方向にいくに従って小さくなるように、前記吐出部を形成する工程と、を有し、前記層は、露光に用いられる光に対して所定の吸光度を有する液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ヘッド内側のノズルからの吐出により周囲に負圧が発生しその影響によりヘッド周辺のノズルから吐出された液滴に曲がる端ヨレが発生し、適正な位置へ着弾しない。
【解決手段】アクチュエータ基板１と、流路形成部材２と、ノズル板３とを積層し、液滴を吐出するノズル４が連通する流路５を形成し、ノズル４に対向してアクチュエータ基板１には熱電気熱変換素子６を設け、更に一方がノズル板３のノズル面３ａのノズル列４Ａ間で大気に開口し、他方がノズル面以外の面、すなわちノズル面３ａと反対側のアクチュエータ基板１の底面１ａで大気に開口して、ノズル面３ａ側とノズル面以外の面１ａ側とをヘッド内部を通じて連通する大気連通路８を形成している。 （もっと読む）