【課題】圧電特性に優れた非鉛系の圧電体を用いた圧電体素子、該圧電体素子を有する液体吐出ヘッド及び超音波モーターを提供する。
【解決手段】基板上に、圧電体及び該圧電体に接する一対の電極を有する圧電体素子であって、前記圧電体が、式（１）
（Ｂｉ，Ｂａ）（Ｍ，Ｔｉ）Ｏ₃ （１）
（式中、Ｍは、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｓｃ、Ｉｎ、Ｇａ、Ｙｂ、Ａｌ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｏ、Ｚｒ、Ｓｎ、Ｎｂ、Ｔａ及びＷから選ばれる１種の原子又は２種以上の原子の組合せを示す。）で表されるペロブスカイト型酸化物からなる。 （もっと読む）

【課題】ノズル圧電素子ギャップを精密に制御して印字の安定性をより向上し高密度記録を行うことができる、ホットメルトインクを用いたインクジェットなどに用いる液滴噴射装置の製造方法、液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル開孔１０を有するノズル形成部材１と、該ノズル形成部材１と所定の間隔のノズル圧電素子ギャップ１４をもって前記ノズル開孔１０の各々と対向してインク中に設けられた複数の圧電素子を有する液滴噴射装置の製造方法であって、少なくとも、ノズル形成部材１にノズル開孔１０を形成する工程、ノズル形成部材１上に犠牲層３を形成する工程、前記犠牲層３上に形成されかつノズル形成部材１上に固定端１２が接合された圧電素子を形成する工程、前記犠牲層３をエッチング除去しノズル圧電素子ギャップ１４を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】インクのリフィル速度を落とさずに、サテライトを低減する。
【解決手段】 本発明のインクジェット記録ヘッドは、平板形状のヒータ１と、発泡室１０と、発泡室１０にインクを導くための供給路９と、発泡室１０に連通する吐出口４がヒータ１と対向する位置に形成された流路構成基板３とを有する。ヒータ１は、熱エネルギを発生する、吐出口４に対面する第１の面１ａおよびその反対側の面である第２の面１ｂを有する。また、ヒータ１は、第１の面１ａから吐出口４が開口している発泡室１０の天面までの距離が第２の面１ｂから発泡室１０の底面までの距離よりも短くなる位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】リフィル周波数を上げ、チップコスト及び駆動電源による製造コストを増加させることなく、高画質を実現する。
【解決手段】インク供給口５００の短辺方向の少なくとも一方側に、インク供給口５００からの距離が相対的に小さい第１の吐出口１００ａと、インク供給口５００からの距離が相対的に大きい第２の吐出口１００ｂとがインク供給口５００の短辺方向に対して千鳥状に交互にずらして配置される。さらに、複数のヒータは、第１及び第２の吐出口１００ａ，１００ｂにそれぞれ対応する第１のヒータ４００ａ及び第２のヒータ４００ｂを含んで構成されている。また、第１のヒータ４００ａは、インク供給口５００の短辺方向を長手方向とする長方形に形成された１つの発熱抵抗体からなる。そして、第２のヒータ４００ｂは、長方形に形成された複数の発熱抵抗体を有し、各発熱抵抗体の長辺側で隣り合って配置されている。 （もっと読む）

【課題】同一基板に形成された複数の圧電素子と温度検知素子を備え、かつ小型化、コストダウンしたアクチュエータを提供する。
【解決手段】基板の表面に複数の変位素子が設けられ、該変位素子が各々独立して作動するアクチュエータ６と、前記基板に設けられた温度検知素子７と、該アクチュエータ６に接する導電性液体９が満たされる液体加圧室１１と、該液体加圧室１１に連通する液体吐出口とを具備し、前記基板に設けられた変位素子を変位させ、前記液体加圧室１１の容積を増減させるによって前記導電性液体９を前記液体吐出口から吐出させる液体吐出ヘッドであって、前記温度検知素子７が前記変位素子を構成する電極と、前記液体加圧室１１に満たされる前記導電性液体９と、それらに挟まれた圧電体と、で構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精度に吐出量を安定化させることのできる液体吐出装置の提供。
【解決手段】液滴を吐出する吐出口５１と、吐出口に対向する位置に配置された発熱素子５８と、発熱素子によって内部の液体に気泡６６を発生させる気泡発生室５２と、気泡発生室側に開口するとともに気泡発生室側の反対側に吐出口が形成された気泡成長室５３と、発熱素子の駆動を制御する駆動制御手段とを備え、駆動制御手段は、３μｓｅｃ以下のパルス幅で発熱素子に所定の熱エネルギーを発生させ、気泡発生室内部の液体を膜沸騰させるものであり、膜沸騰によって気泡発生室内部の液体に発生した気泡は、気泡成長室の気泡発生室側開口端部に略均一に接触する状態を経て、気泡成長室内部で成長して吐出口から大気に連通するとともに、気泡成長室内部の液体は吐出口から液滴として吐出されることを特徴とする液体吐出装置。 （もっと読む）

【課題】圧電体膜の所定の配向度を安定して再現性良く得ることにより、安定した高い圧電特性を備えた圧電体素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板２０上に振動板膜３１、３２を成膜する工程（Ｓ１）と、振動板膜３１、３２上に下部電極３３を成膜する工程（Ｓ２）と、下部電極３３上に圧電体膜４３ａを成膜する圧電体成膜第１工程（Ｓ３）と、圧電体成膜第１工程で成膜された圧電体膜４３ａ及び下部電極３３を所定形状にパターニングする工程（Ｓ４）と、パターニングにより残された圧電体膜４３ａ上および圧電体膜が除去された振動板膜３１、３２上に更に圧電体膜を成膜し、所望の厚さの圧電膜４３を成膜する第２工程（Ｓ５）と、圧電体膜４３上に上部電極４４を形成する工程（Ｓ６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 分極工程が煩雑とならず、しかクロストークのない圧電トランスデューサの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電材料板３１が複数の液室５にわたって連続して配置されている。圧電材料板３１の内部には、各液室５の中央と液室５間の隔壁５１に対応する位置にそれぞれ分極用電極１１，１２が形成され、その分極用電極１１，１２は、スルーホール構造１１ａ、１２ｂを介して圧電材料板３１の表面に引き出されている。スルーホール構造１１ａ、１２ｂを介して印加された電圧により、圧電材料板３１は面方向および厚さ方向に傾斜して分極されている。圧電材料板３１の表面には、各液室５に対応する駆動用電極２，３が形成され、駆動用電極２，３に電圧が印加されることで、分極方向にほぼ直交する電界が生じ、圧電材料板３１がシェアーモード変形され液室５内の液体が噴射される。 （もっと読む）

【課題】多層構造の圧電素子の製造効率を高めつつ、信頼性の向上を図る。
【解決手段】圧力室１２とは反対側の振動板表面に形成された圧電素子１７は、互いに積層された上層圧電体３４及び下層圧電体３５からなる圧電体層３１と、この圧電体層３１に付与される電場を発生する電極層３３，３６，３７とを備える。そして、振動板１４側から、共通下電極３７、下層圧電体３５、駆動電極３３、上層圧電体３４、共通上電極３６の順にそれぞれ積層して形成する。さらに、上層圧電体を下層圧電体よりも幅広に構成する。 （もっと読む）

【課題】高速印字かつ高画質出力が可能なインクジェットプリンタ等のインクジェット記録ヘッドであって、支持基板の共振時の振動を抑制可能で、かつ、量産性に優れたインクジェット記録ヘッドを実現する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドは、インク滴を吐出する複数のノズルと、前記各ノズルが連通する複数のインク加圧液室と、該加圧液室の一部を構成する振動板と、前記加圧液室に対応し、一端が前記振動板に他端が支持基板に取り付けられている圧力変換手段とを有するインクジェット記録ヘッドであって、前記圧力変換手段は、所定のピッチで溝が加工されて前記支持基板上に配置され、前記支持基板の圧力変換手段取り付け面には、単数もしくは前記圧力変換手段に形成された溝のピッチとは異なるピッチで形成された複数の溝が前記圧力変換手段に形成された溝と平行に形成されている。 （もっと読む）

【課題】液滴噴射装置において構造を複雑にすることなく、ノズル毎に噴射する液滴の体積を変化させる。
【解決手段】流路ユニット３０においては、ノズル１５ａ及び圧力室１０ａを含む個別インク流路３２ａとノズル１５ｂ及び圧力室１０ｂを含む個別インク流路３２ｂ、並びに、マニホールド流路１１ａとマニホールド流路１１ｂとが、それぞれ同一の流路構造を有している。流路ユニット３０の上面には、下から順に、振動板４０、絶縁層４１、共通電極４４、圧電層４２及び個別電極４３ａ、４３ｂが積層されることによって構成されたユニモルフ型の圧電アクチュエータ３１が配設されている。圧電層４２は、圧力室１０ａに対向する部分において、圧力室１０ｂに対向する部分よりも厚みが薄くなっている。 （もっと読む）

【課題】振動板の変位量を低下することなく圧電素子の絶縁破壊を防止したインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２と、この圧力発生室１２に対応する領域に圧力発生室１２側から下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０の順で積層されてなる圧電素子３００とを備えるインクジェット式記録ヘッドにおいて、圧電素子３００の外周面に設けられる保護膜１００を有し、保護膜１００は圧電体層７０に圧電歪みが生じる部分である圧電体能動部３２０の対向する領域の上電極８０の露出された上面を覆って設けられており、上電極８０の上面の周縁領域の内側に、この周縁領域よりも膜厚が薄い薄膜部１００ａを有し、且つ保護膜１００は、圧力発生室１２に対向する領域で圧電素子３００の幅方向両側の振動板上まで延設され、この領域の膜厚が薄膜部１００ａの膜厚よりも厚いように構成する。 （もっと読む）

【課題】結晶配向が制御され優れた圧電特性を有し、しかも適量の気孔を有する圧電体の製造方法を提供することにある。圧電特性に優れ、上下層との密着性が高く、膜剥離が抑制された耐久性に優れた圧電体を得て、これを用いた圧電体素子を提供することにある。高解像度化、高速印字、微細化されても液体吐出量が多い液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】ＡＯ_x結晶が形成される温度であってＡＢＯ₃ペロブスカイト型酸化物結晶が形成される温度未満の温度に前記基体を加熱し、Ａ元素及びＢ元素を含む酸化物を用いてＡＯ_x結晶を含む膜を前記基体上に形成する形成工程と、ＡＯ_x結晶が存在可能な温度を超える温度であってＡＢＯ₃ペロブスカイト型酸化物結晶が形成される温度に前記基体を加熱することにより、前記ＡＯ_x結晶を含む膜を前記ＡＢＯ₃ペロブスカイト型酸化物結晶の膜に変える変換工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】信頼性および耐久性能を高めやすい圧電薄膜素子およびその製造方法、ならびにインクジェットヘッドおよびインクジェット式記録装置を提供すること。
【解決手段】基板１１と、基板１１上に設けられた第１の電極層１３と、第１の電極層１３上に設けられた圧電体層と、圧電体層上に設けられた第２の電極層１９とを備えた圧電薄膜素子２０を構成するにあたり、鉛を構成元素とするペロブスカイト型結晶構造の酸化物からなる第１の圧電体層１４と、第１の圧電体層１４上に設けられて該第１の圧電体層１４での空孔１７を埋める電気絶縁性酸化物からなる第２の圧電体層１８とを上記の圧電体層に含ませる。 （もっと読む）

【課題】良好な圧電特性を有する圧電膜を備えた圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】圧電アクチュエータ１００における圧電膜４０を、Ｐｂ（Ｎｉ_１／３Ｎｂ_２／３）Ｏ_３−ＰｂＺｒＯ_３−ＰｂＴｉＯ_３系材料で構成され且つ０．２μｍ〜２．０μｍの平均粒径を有する結晶からなるものとした。基板１０が圧電膜４０と反応する可能性のあるものの場合には、例えば、基板１０の表面を酸化物膜や窒化物膜などの拡散バリア層２０を基板１０上に形成する。 （もっと読む）

【課題】鉛フリーで圧電特性の優れた圧電薄膜を提供する。
【解決手段】電極層１２上に形成する圧電薄膜１において、（Ｎａ_x Ｋ_y ）ＮｂＯ₃ （０＜ｘ＜１，０＜ｙ＜１，ｘ＋ｙ＝１）で表される第１アルカリニオブ酸化物膜２と、その第１アルカリニオブ酸化物膜２上に形成され、（Ｎａ_x Ｋ_y Ｌｉ_z ）ＮｂＯ₃ （０＜ｘ＜１，０＜ｙ＜１，０＜ｚ＜１，ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）で表される第２アルカリニオブ酸化物膜３とからなるものである。 （もっと読む）

【課題】 アモルファスカーボンやグラファイトなどの基板を振動板とし、その上にゾルゲル法より圧電体薄膜を形成する方法を提供する。
【解決手段】振動板とする基板１において、ゾルゲル法により酸化物薄膜を結晶化し圧電体薄膜を形成する工程において、基板１がアモルファスカーボンまたはグラファイトで、不活性ガス中で焼成を行う工程を含む。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータにクラックが発生しにくく、吐出速度のバラツキが少ない印刷ヘッドの製造方法および該製造方法により製造される印刷ヘッドを提供することである。
【解決手段】流路部材１６の表面に、厚み１００μｍ以下の圧電アクチュエータ１５を、液体加圧室１６ａの直上に変位素子５が配置するように接合する印刷ヘッドの製造方法であって、圧電アクチュエータ１５を流路部材１６の表面に接合した後、圧電アクチュエータ１５に圧縮応力が加わった状態で、圧電セラミック層３を分極する印刷ヘッドの製造方法、およびこの製造方法より得られる印刷ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】ＡＤ法により基板に成膜された薄膜層に膜厚分布が生じた場合でも、その膜厚分布による印字品質の低下を極力抑えることが可能な、インクジェットヘッド用の圧電アクチュエータの製造技術を提供すること。
【解決手段】成膜ノズルを、振動板３０に対してインクジェットヘッド１の走査方向と直交する方向に相対移動させながら、この成膜ノズルから圧電材料の粒子とキャリアガスとを含むエアロゾルを振動板３０に対して噴射させて、振動板３０に圧電材料層３１を成膜する。 （もっと読む）

【課題】比較的低い電圧を印加して変換器を作動させることができ、エネルギ節約が大きく効率的なプリントヘッドを提供すること。
【解決手段】複数の実質的に閉塞されたインク室１３を含み、複数のインク室は、少なくとも１つの壁１２により互いに分離されており、各インク室は、電気−機械変換器１５を含み、変換器の作動により、対応するインク室の容積変化が生ずる、プリントヘッドにおいて、壁及び変換器は、相互協調するように構成され、協調に基づいて、インク室の変換器が座屈する。 （もっと読む）