【課題】ノズルの高密度化及び液滴吐出ヘッドの小型化を達成することのできる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明の液滴吐出ヘッドＩＪ１は、ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一面側に弾性膜５０を介して設けられた圧電素子３００と、圧電素子３００の端子９０ａにフリップチップ実装された駆動ＩＣ１５０と、弾性膜５０を挟んで流路形成基板１０と反対側に設けられ、圧電素子３００及び駆動ＩＣ１５０と対向する面に、圧電素子３００の動作を阻害しない大きさの空間を確保して前記空間の内部に圧電素子３００及び駆動ＩＣ１５０を密封する圧電素子保持部３１が形成された封止基板３０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の応力集中を低減して圧電素子の破壊を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２が短手方向に沿って並設された流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の一方面側に前記圧力発生室１２に対応して設けられて、第１電極６０、該第１電極６０上に設けられた圧電体層７０及び該圧電体層７０上に設けられた第２電極８０を有する圧電素子３００と、を具備し、前記第１電極６０が、前記圧力発生室１２に対応して独立して設けられていると共に、前記第２電極８０が、前記圧力発生室１２の並設方向に亘って連続して設けられており、前記圧力発生室１２の並設方向と交差する方向において、前記第１電極６０の前記圧電体層３００の活性部３２０と非活性部３３０との境界Ａ、Ｂの少なくとも一方には、前記活性部３２０側から前記境界Ａ、Ｂに向かって幅が漸小するテーパー部６１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】流体吐出装置の防湿を提供する。
【解決手段】流体吐出装置は、流体流のための複数の流体通路及び複数の流体通路に流体連結された複数のノズルを有する基板と、基板の上部に配置され、複数の流体通路内の流体が複数のノズルから吐出されるようにする複数のアクチュエータと、複数のアクチュエータの少なくとも一部の上に形成された保護層であって、固有透湿度が２．５×１０^−３ｇ／ｍ・ｄａｙ未満である保護層と、を有する。 （もっと読む）

【課題】応力を緩和することができる信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上に形成された第１圧電体３０と、第１電極２０および第１圧電体３０の側方に形成され、第１圧電体３０の密度より小さい密度を有する低密度領域４０と、第１圧電体３０および低密度領域４０を覆って形成された第２圧電体５０と、第２圧電体５０の上に形成された第２電極６０と、を含み、第１圧電体３０および第２圧電体５０の少なくとも一方は、低密度領域４０に近づくにつれてシリコンの濃度が大きくなる分布を有する。 （もっと読む）

【課題】共通流路に生じる定在波の影響を受け難い液体吐出ヘッド、およびそれを用いた液体吐出装置、ならびに記録装置を提供する。
【解決手段】一方方向に長い、両端が閉じた共通流路２０５ａと、共通流路２０５ａの両端以外の部分に繋がっている液体供給路２０５ｃと、共通流路の途中に、それぞれ複数の液体加圧室２１０を介して繋がっている複数の液体吐出孔と、複数の液体加圧室２１０内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを有する液体吐出ヘッドであって、共通流路２０５ａの両端部分の断面積が中央部分の断面積よりも小さいことを特徴とする液体吐出ヘッドを用いる。 （もっと読む）

【課題】チタン酸ジルコン酸鉛系の圧電体層であって、圧電特性が良好な組成を有する圧電体層を備えた圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、第１電極２０と、第２電極４０と、第１電極２０と第２電極４０とに挟まれた圧電体層３０と、を含み、圧電体層３０は、（１１１）配向しており、圧電体層３０は、ＡＢＯ_３で表されるペロブスカイト型酸化物を含み、 Ａサイトは、鉛を有し、Ｂサイトは、ジルコニウムおよびチタンを有し、ジルコニウムのチタンに対する比は、０．６より大きく、０．７２より小さい。 （もっと読む）

【課題】良好な変位量を得られる液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴噴射装置１０００は、ノズル孔２８ａに連通する圧力室２０ａを有する基板２０と、下部電極１０と、前記下部電極１０の上方に形成されペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層１２と、前記圧電体層１２の上方に形成された上部電極１４と、を有し、前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧電素子と、を備える。前記圧電体層１２は、前記下部電極１０側に位置する第１圧電体層１２ａと、前記第１圧電体層１２ａと前記上部電極１４との間に位置する第２圧電体層１２ｂと、を有し、前記第１圧電体層１２ａの分極軸は、当該第１圧電体層の膜面内方向に優先的に向いており、前記第２圧電体層１２ｂは、擬立方晶の表示で（１００）に優先的に配向している。 （もっと読む）

【課題】共通流路に生じる定在波の影響を受け難い液体吐出ヘッド、およびそれを用いた液体吐出装置、ならびに記録装置を提供する。
【解決手段】一方方向に長く一端が閉じている共通流路２０５ａと、共通流路の他端に繋がっている、共通流路よりも断面積の大きい液体供給路２０５と、共通流路の途中に、それぞれ複数の液体加圧室２１０を介して繋がっている複数の液体吐出孔と、複数の液体加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを有する液体吐出ヘッドであって、共通流路のうちの一端の部分の断面積が、他端の部分の断面積よりも小さいことを特徴とする液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

圧電ユニットは、流体チャンバと、流体出口と、薄膜圧電セラミック素子および流体チャンバの壁の機能を果たす膜を含むアクチュエータと、アクチュエータの支持部分がアクチュエータの駆動の主移動方向において移動しないようにすると同時に、支持部分の少なくとも２つの側で係る駆動の移動を可能にするように構成された支持要素とを含み、支持要素は、アクチュエータのおおよそ反対側に延在するユニット部分に接続される。 （もっと読む）

【課題】１つのスキャン内の濃度ムラを低減し、バンド内における濃度ムラを抑制する。
【解決手段】吐出口、吐出口に連通する発泡室及び発泡室内に設けられた電気熱変換素子を含むノズルが主走査方向と垂直な向きに複数並べられてなるノズル列が、主走査方向に沿って複数配列され、隣接するノズル列の間に、それらノズル列を構成する複数のノズルのそれぞれに流路を介して連通する共通液室が設けられた記録ヘッドにおいて、各ノズルの吐出口の大きさは一定であり、各ノズルの電気熱変換素子は、ノズル列中央に位置するノズルの電気熱変換素子が最小であり、ノズル列端部に近いノズルの電気熱変換素子ほど大きく、各ノズルにおけるインク吐出方向の流抵抗と共通液室方向の流抵抗との比は、ノズル列中央に位置するノズルにおいて最大であり、ノズル列端部に近いノズルほど小さい。 （もっと読む）

【課題】個別電極の接続電極部の配置を工夫することで、圧力室の変形ロスを低減し、変形効率を高める。
【解決手段】圧電アクチュエータ１２は、各圧力室１４Ａａの中央部分に対応する複数の第１の活性部Ｓ１と、前記各圧力室１４Ａａの前記中央部分よりも外周側の部分に対応する複数の第２の活性部Ｓ２とを有する。第１および第２の活性部に対応して個別電極２１が形成され、第１の定電位とそれよりも小さい電位である第２の定電位が選択的に付与される。各第１の活性部に対応して櫛歯形状の第１の定電位電極２２の枝電極部２２Ａが、各第２の活性部に対応して櫛歯形状の第２の定電位電極２３の枝電極部２３Ａが形成される。キャビティユニット１１と圧電アクチュエータ１２との積層方向から見て、個別電極２１の接続電極部２１ａが、第２の定電位電極２３の幹電極部２３Ｂに重なっている。 （もっと読む）

【課題】優れた熱曲げアクチュエータなどを提供する。
【解決手段】熱曲げアクチュエータは、駆動回路構成に接続するためのアクティブビームと、アクティブビームと機械的に協働するパッシブビームと、を含む。アクティブビームに電流が流れると、アクティブビームはパッシブビームに対して膨張し、その結果、アクチュエータの曲げが生じる。パッシブビームは、窒化シリコンから成る第１層と、二酸化シリコンから成る第２層と、を含む。第２層は、第１層とアクティブビームとの間に狭持され、第１層のための断熱をもたらす。 （もっと読む）

【課題】 更なる高画質化、高速化の要求に対し、微少量のインク液滴においても、ノズルの水分供給を効率的に補い、放置発一不吐出現象のない、安定した吐出を実現したインクジェット記録ヘッドの実現。
【解決手段】 ノズル列方向におけるインク流路の幅は圧力室の幅より小さく、インク流路の長さは圧力室のインク供給路方向における長さより長いノズル構成において、前記インク流路の最狭部のインク流路壁が直線上にないようにする。 （もっと読む）

【課題】成膜回数を減少させて生産性を向上させ、製造コストを抑えた圧電体薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】カルボン酸が溶媒と安定化剤の役目を果たすので、酢酸鉛および有機金属化合物に対するカルボン酸の比率を減少させて、コロイド溶液７１中の酢酸鉛および有機金属化合物の濃度を上げることを可能にできる。濃度の高いコロイド溶液７１を塗布する塗布工程（Ｓ２）と、コロイド溶液７１を乾燥して乾燥膜７２を得る乾燥工程（Ｓ３）と、乾燥膜７２を脱脂して無機膜７３を得る仮焼成工程（Ｓ４）と、無機膜７３を結晶化させる結晶化アニール工程（Ｓ５）を含む一連の工程によって得られる圧電体薄膜７０の膜厚を厚くできる。したがって、所定の膜厚を得るための成膜回数を減少でき、生産性が向上し、製造コストを抑えた圧電体薄膜７０の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】部材の加工精度や、接着剤硬化のための加熱による反りの個体差に寄らず、接着剤の量の過不足が生じにくく、各インク室の詰まりが生じにくいインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】圧電基板1に、一方向に互いに間隔をおいて略平行に配置された複数の隔壁と、隣り合う隔壁の間に形成されて、両端が開口する複数のインク溝２と、複数のインク溝２の外側に位置すると共に、一端のみが開口する接着剤吸収溝５とを形成する。複数のインク溝２を覆うように配置されると共に、インク溝２に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、複数のインク溝２の一端の開口に連通すると共に、接着剤吸収溝５の上記一端の開口に連通する第１の共通インク室と、複数のインク溝の他端の開口に連通する第２の共通インク室とを形成する。 （もっと読む）

【課題】配線部材と圧電アクチュエータとを接合する際に、溶融した導電材料のはみ出しを少なくするとともに、圧電アクチュエータと配線部材との距離を設けることができる配線ユニットの接合構造を提供すること。
【解決手段】ＣＯＦ５０の基材５１の一方の面にはランド５２が設けられ、ランド５２に対応する位置で、第１突出部１０１ａと、それよりも突出量が低い第２突出部１０１ｂとを有する突出部１０１が配置された板状部材を、基材５１の他方の面側から一方の面側押圧させた状態で両者を接着接合させることにより、突出部に対応するランド部５２には、第１凸状電極部５２ａとそれよりも突出量が低い第２凸状電極部５２ｂとが形成され、この第２凸状電極部５２ｂ上に導電性材料４６が塗布される。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータユニットの電気的短絡を防止するために流路ユニットとアクチュエータユニットとの間に介在させる部材をできるだけ薄く且つ平らに形成する。
【解決手段】インクジェットヘッドの製造において、吐出口及び圧力室を含むインク流路が形成された流路ユニット１０ａと、各圧力室に対応するアクチュエータを複数有すると共に複数の圧力室に跨って配置されるアクチュエータユニットとの間であって、アクチュエータユニットにおける圧力室の開口を覆う部分に、ニッケル膜５１及び貴金属膜５２からなる保護膜５０を介在させる。シリコンウェハー２００の平滑面２００ａ上に保護膜５０を形成した後、シリコンウェハー２００に支持させたまま保護膜５０を流路ユニット１０ａ上に載置し固定する。その後、シリコンウェハー２００を保護膜５０から剥離し、保護膜５０におけるシリコンウェハー２００が剥離された面に、アクチュエータユニットを接着する。 （もっと読む）

【課題】ノズル開口を高密度化すると共に、液体吐出特性のばらつき及び低下を抑制した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０の圧力発生室１２の幅方向における隔壁１１は、圧力発生手段３００側に設けられた幅狭部１８と、圧力発生手段３００とは反対側に設けられて幅狭部１８よりも大きな幅を有する幅広部１９とを有し、幅狭部１８の幅が、幅広部１９の幅の１／１０以上の大きさで且つ幅狭部１８が５μｍ〜１５μｍの幅を有し、幅狭部１８の圧力発生室１２の深さ方向の長さが、圧力発生室１２の深さよりも短く、且つ圧力発生室１２の深さの１／１０以上の長さを有し、幅狭部１８の長さが２μｍ〜２０μｍである。 （もっと読む）

【課題】 駆動劣化が抑制できる液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 複数の液体加圧室を有する平板状の流路部材上に、前記複数の液体加圧室を覆うように圧電アクチュエータを積層してなり、該圧電アクチュエータは、前記流路部材側から振動板、共通電極、圧電体層および複数の駆動電極の順に積層されているとともに、前記圧電体層の前記駆動電極と前記共通電極とで挟まれた部位が厚み方向に分極されており、前記流路部材の主面側から見た場合に前記複数の駆動電極がそれぞれ前記複数の液体加圧室に重なるように積層してなる液体吐出ヘッドであって、前記共通電極があり前記複数の駆動電極がない部分の前記圧電体層の内部に、前記共通電極と平行に非駆動部再分極用電極が設けられているとともに、前記共通電極と前記非駆動部再分極用電極とで挟まれた前記圧電体層の部分が厚み方向に分極されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】変位特性を低下させることなくコストを低減することができるアクチュエーター装置を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室１２と、圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子３００とを具備し、圧電素子が、第一電極６０と、第一電極上に形成された圧電体層７０と、圧電体層の第一電極とは反対側に形成された第二電極８０とを具備し、第一電極が、圧電体層側から、導電性酸化物層６２とクロムを主成分とするクロム層６１とがこの順で積層されてなる。 （もっと読む）