【課題】クラックやアブレーションにより劣化が生じることを低減させる。
【解決手段】基板上の薄膜形成において、薄膜形成にかかるインク滴が塗布された領域に対応した位置の、そのインク滴が塗布された面の裏面に、塗布された領域よりも照射範囲を大きくしたレーザ光を照射し、そのインク滴が塗布された領域に対応した位置の、そのインク滴が塗布された面に、塗布された領域に対応した範囲にレーザ光を照射してインク滴を加熱して焼成させる。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上方に形成された圧電体３０と、圧電体３０の上方に形成された第２電極４０と、圧電体３０を構成する少なくとも一つの金属元素を含有する多孔質体５０と、を含み、圧電体３０は、第１電極２０と第２電極４０との間の距離を厚さとして有し、第１電極２０と第２電極４０とで挟まれた第１部分３２と、第１部分３２とは、第１部分３２の膜厚方向と直交する方向において連続し、第１部分３２の厚さより小さい厚さを有する第２部分３４と、を有し、多孔質体５０は、第２部分３４と第２電極４０との間に形成され、多孔質体５０は、第１部分３２に近づくにつれて、厚さが小さくなる。 （もっと読む）

【課題】安定した噴射特性を有する液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド１００は、制御部４０，４２が、第１電極１２の電位が第２電極１４の電位より低くなる時間が、第１電極の電位１２が第２電極１６の電位より高くなる時間よりも長い駆動電圧を、第１電極１２と第２電極１６との間に印加する第１制御と、第３電極２２の電位が第４電極２６の電位より高くなる時間が、第３電極２２の電位が第４電極２６の電位より低くなる時間よりも長い駆動電圧を、第３電極２２と第４電極２６との間に印加する第２制御と、を行い、第１制御および第２制御によって、開口部６から液体を排出する。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ安定してインクを吐出することが可能なインクジェットヘッド、及びそれを備えたインクジェット装置を提供する。
【解決手段】変位可能な壁面１１５を有するインク室１８０がその内部に形成されたインク室ブロック１５０と、下記一般式（Ｉ）（Ｙ_１及びＹ_２はアルキレン基を示し、Ｒ_１〜Ｒ_５は水素原子等を示す）で表される構造を含む第一の接着層２１０を介して壁面１１５の外部に接着されたピエゾ素子１１３と、を備えたインクジェットヘッドの提供による。
【化１】
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【課題】信頼性が向上した圧電素子等を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、第１電極と、前記第１電極の上に形成され、膜厚が３μｍ以下の圧電体層と、前記圧電体層の上に形成された第２電極と、を含む圧電素子であって、前記圧電体層は、チタン酸ジルコン酸バリウムを主成分とし、チタンおよびジルコニウムの和に対するバリウムのモル比Ｘが、１．１５≦Ｘ≦１．３である。 （もっと読む）

【課題】環境負荷を低減し、リーク電流の発生を抑制した液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置、圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上方に、焼成によりビスマス、鉄、マンガン、カリウム、及びチタンを含む複合酸化物を形成する有機金属化合物と、ポリビニルピロリドンと、を含む塗布液７１を塗布する工程と、塗布液７１を焼成し、ペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７２を形成する工程と、圧電体層７２の上方に第２電極を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、かつリーク電流を抑制できる液体噴射ヘッドの製造方法及びこれを用いた液体噴射装置、並びに圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５を形成する工程と、絶縁体膜５５上に反応性スパッタリング法により酸化チタンからなる密着層５６を形成する工程と、密着層５６上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上にチタン、ビスマス、バリウム、カリウム及びナトリウムを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に第２電極８０を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】１．０×１０^―１Ａ／ｃｍ^２以上のリーク電流を抑制できる液体噴射ヘッドの製造方法及びこれを用いた液体噴射装置、並びに圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドの製造方法は、第１電極６０と第２電極８０とに挟持された圧電体層７０を備え、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電素子３００とを有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、蒸着法により白金又はイリジウムの少なくとも１種を含む拡散抑制層６２を形成する工程を含む第１電極６０を形成する第１電極形成工程と、第１電極６０上に、チタン、ビスマス、バリウム、カリウム及びナトリウムを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する圧電体層形成工程と圧電体層７０上に、第２電極８０を形成する第２電極形成工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の十分な変位量を確保でき且つ環境負荷の少ない液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル２１に連通する圧力発生室１２と、圧力発生室１２内に圧力変化を生じさせる圧電素子３００と、を具備し、圧電素子３００が、下電極６０と、下電極６０上に形成された鉄酸マンガン酸ビスマスランタンからなる拡散抑制層７５と、拡散抑制層７５上に形成されたペロブスカイト型構造を有しアルカリ金属を含む複合酸化物からなる圧電体層７０と、圧電体層７０上に形成された上電極８０と、で構成されるようにする。 （もっと読む）

【課題】引き打ちを行う液滴噴射装置及び液体移送装置において、耐久性を高くし、消費電力を低減する。
【解決手段】インクジェットヘッド３において、圧電アクチュエータ３２は、複数の圧力室１０を覆うように流路ユニット３１の上面に配置された導電性基材４２と導電性基材４２の上面に形成された絶縁層４３とを有する振動板４０と、振動板４０の上面の圧力室１０に対向する領域に圧力室１０の幅方向の一方の縁から、圧力室１０の幅方向に延びた圧電層４１が形成されている。振動板４０の下面には、圧力室１０の幅方向の他方の縁から幅方向に延びた凹部４２ａが形成されている。圧電層４１の上面には個別電極４５が形成され、下面には共通電極４４が形成されている。振動板４０の上面のうち、圧電層４１が形成されていない部分には個別電極４５に接続された配線５０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の結晶性を向上し良好な変位特性が安定して得られる圧電素子を備えた液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の形成方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板用ウエハー１１０の表面に第１の電極膜６０を形成する工程と、第１の電極膜上に第１の強誘電体膜７１ａを形成する工程と、この第１の強誘電体膜７１ａ上に形成したレジスト膜をマスクとして第１の強誘電体膜７１ａ及び第１の電極膜６０をエッチングする工程と、酸素プラズマアッシングによってレジスト膜を除去する第１の除去工程と、保護用レジスト膜を形成する工程と、最終的に有機剥離液で処理することによりレジスト膜及び保護用レジスト膜を除去する第２の除去工程と、残りの強誘電体膜を形成する工程と、強誘電体膜上に第２の電極膜を形成後、第２の電極膜及び強誘電体膜をパターニングして圧電素子を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を持つ圧電素子，圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置、ならびに圧電素子の製造方法等を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、第１電極と第２電極とによって挟まれた圧電体層を有する圧電素子であって、前記第１電極は、前記圧電体層側の第１の面を有する第１導電層と、前記第１の面において形成され、前記第１の面側の第２の面を有する第２導電層と、を含み、前記第１の面の法線方向から見て、互いにオーバーラップする、前記第１電極、前記圧電体層および前記第２電極から構成される部分を、駆動部としたとき、前記第２導電層の少なくとも一部は、前記駆動部内の前記第１の面の外周辺よりも内側に配置され、前記第２の面の面積は、前記駆動部内の前記第１の面の面積よりも小さく、前記第２導電層は、ニッケル酸ランタンを主成分とする。 （もっと読む）

【課題】液体の吐出時に液体吐出ヘッドを構成する基板の温度のばらつきを抑制し、記録ムラを低減する。
【解決手段】液体吐出ヘッドは、液体を吐出するための熱エネルギーを発生させる発熱素子２４を有する複数のノズル１０が並んで構成されたノズル列１１１、１１２、１１３と、ノズル列に沿って形成され、ノズル列に液体を供給する複数の共通液室５と、が形成された基板９を備え、複数の共通液室５によって基板９が複数の基板部分９ａ、９ｂに分けられ、第１のノズル列１１１が形成された第１の基板部分９ａと、第２のノズル列１１２が形成され、第１の基板部分９ａよりも熱容量の大きい第２の基板部分９ｂと、を有し、第１のノズル列１１１に設置された第１の発熱素子２４ａの発熱面積が、第２のノズル列１１２に設置された第２の発熱素子２４ｂの発熱面積よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、気泡の排出性に優れた液滴吐出装置および液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】吐出液を供給する流路と、前記流路に連通する液室と、前記液室に連通するノズル孔と、前記液室に収納された吐出液に圧力を加える加圧手段と、を備え、前記流路、前記液室、前記ノズル孔からなる群より選ばれた少なくとも１種は、前記吐出液と接触する面の算術平均粗さＲａが０．３μｍ以上、５μｍ以下とされたことを特徴とする液滴吐出装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】ドライバーＩＣを基板にフリップチップ実装させてなる実装構造として、コストの低減化を可能にした、ドライバーＩＣの実装構造を提供する。
【解決手段】入力側端子と出力側端子とを有するドライバーＩＣ２を、基板に実装してなる実装構造である。ドライバーＩＣ２の出力側端子に接続する第１基板１１と、ドライバーＩＣ２の入力側端子に接続する、第１基板１１とは異なる第２基板１２と、ドライバーＩＣ２を第１基板１１及び第２基板１２に固定するモールド樹脂１３と、を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は圧電アクチュエータ、それを含むインクジェットヘッド及び圧電アクチュエータの製造方法に関する。
【解決手段】本発明の一実施例による圧電アクチュエータは、駆動電圧を提供する上部及び下部電極と、前記上部及び下部電極の間において粘度を有する圧電体液が固化して形成され、インクジェットヘッドの圧力チャンバ内のインクに駆動力を提供する圧電体と、を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、圧電特性が優れた圧電素子を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、第１電極と、前記第１電極上に形成され鉄マンガン酸ビスマスランタンを含む圧電体層と、前記圧電体層上に形成された第２電極と、を備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、結晶が（１１１）面に優先配向している。 （もっと読む）

【課題】 変位量の低下を抑制した強誘電体薄膜を形成することができる強誘電体薄膜形
成用組成物、液体噴射ヘッドの製造方法、及びアクチュエーター装置の製造方法を提供す
る。
【解決手段】 ＡＢＯ_３の化学式を有するペロブスカイト構造の強誘電体薄膜をゾル−ゲ
ル法により形成するための強誘電体薄膜形成用組成物であって、強誘電体薄膜を構成する
有機金属化合物と、水とを少なくとも含むゾルからなり、前記ゾルは、Ｂサイトを構成し
得る金属の総量をＸｍｏｌ／ｋｇとし、未反応水分量をＹｍｏｌ／ｋｇとしたとき、２Ｘ
＜Ｙ＜５Ｘを満たすようにする。 （もっと読む）

【課題】変位量の減少が抑えられたアクチュエーター装置およびその製造方法、このアクチュエーター装置を用いた液体噴射ヘッドの製造方法および液体噴射装置の製造方法を得ること。
【解決手段】上電極８０の第１層８１形成時におけるＰＺＴを含む圧電体層７０の温度が２５０℃以下なので、ＰＺＴの酸素欠陥の発生を抑えることができる。また、基板としての圧電体層７０の温度が２５０℃以下で、Ｉｒを含む第１層８１を圧電体層７０上に形成すると、第１層８１に圧縮応力が生じる。圧縮応力の生じた第１層８１に対して、引っ張り応力を有する第２層８２を形成することにより圧電体素子３００全体として撓みをなくすことができる。したがって、初期の撓みが少ないので、繰り返し変位することによる凸であった撓みの撓み量の減少を抑えることができ、変位量の減少が抑えられたアクチュエーター装置３１０の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】液体の噴射量が確保され、噴射特性の低下を抑えた液体噴射ヘッドおよびそれを用いた液体噴射装置を得ること。
【解決手段】圧力発生室１２の容積を、振動板５６を介して変化させる圧電素子３００が、インク供給路１４の流路断面積を、振動板５６を介して変化させるので、圧力発生室１２の容積の変化に応じてインク供給路１４の流路断面積を変化させることができ、リザーバー１００と圧力発生室１２との間を流れるインクの流量を調節することができる。したがって、圧力発生室１２に充填されたインクを圧力発生室１２と連通したノズル開口２１から噴射する際に、インク供給路１４を通じてリザーバー１００に戻るインクの量を減少させることができ、インクの噴射量を確保でき、噴射特性の低下を抑えたインクジェット式記録ヘッド１を得ることができる。 （もっと読む）