【課題】 圧電素子の破壊を抑制すると共に、圧電素子の変位特性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 第２電極８０上の圧電体能動部３２０の４つの角部３２１に対向する領域には、圧電体能動部３２０の第１方向端部を中心として第１方向両側に延設される第１部分１２１と、該第１部分１２１に連続し且つ圧電体能動部３２０の第１方向端部に沿って第２方向に延設される第２部分１２２とから構成されるＴ型金属層１２０を有する。 （もっと読む）

【課題】電界印加時に発生する変位量の大きい非鉛系複合酸化物薄膜アクチュエータ、それを用いた液体吐出ヘッド、および、インクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】チタン酸バリウム、および、チタン酸ニッケル酸ビスマスを主成分とする（１−ｘ）ＢａＴｉＯ３−ｘＢｉ（Ｎｉ０．５，Ｔｉ０．５）Ｏ３で表される複合酸化物薄膜を用い、前記複合酸化物薄膜の主成分中のｘが０＜ｘ≦０．１の範囲をとること。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、第１電極１０と、第１電極１０の上方に、長手方向と短手方向とを有して形成された圧電体層２０と、圧電体層２０の上方に形成された第２電極３０と、を含み、圧電体層２０の前記短手方向の側面２２の少なくとも一部は、凹凸面２３であり、第２電極３０から第１電極１０に向かうに従って、圧電体層２０の前記短手方向の幅Ｗｙは、凹凸面２３によって変化する。 （もっと読む）

【課題】圧電特性に優れ、長期に亘って良好な吐出特性を維持することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子のエージング方法を提供する。
【解決手段】 ニッケル酸ランタン層を備える第１電極を形成する工程、ニッケル酸ランタン層上方に圧電体層を形成する工程、及び圧電体層上方に第２電極を形成する工程を備える圧電素子形成工程と、圧電素子に対して印加する最大駆動電圧差の６０％以上７０％以下の電圧を印加するエージング工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】安価でありながら、表面の化学的・機械的特性が、圧電素子と親和性のよい絶縁基板を備えるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルを有するノズルプレートと、ノズルに対応する複数の圧力室と、この圧力室に隣接して設けられるとともに圧力室を加圧してノズルから液を吐出させる駆動素子と成る側壁と、を有する圧電素子と、圧電素子が接着される基板と、圧電素子を囲むように基板に載置される枠体と、圧電素子を駆動するための電極と、を具備し、圧電素子は、圧電素子の上端部と連続し、かつノズルプレートと接しない斜面を有し、基板は、その表面に表面層が形成され、この表面層に斜面と連続する凹部を有し、電極は、斜面及び凹部の上に形成されている。 （もっと読む）

【課題】キャビテーションによる発熱素子の破壊を防ぐとともに、液滴を吐出する際のミストの発生を抑制する。
【解決手段】液体吐出ヘッド１０１が、液体を吐出する吐出口１００と、液体を供給する液体供給口から吐出口１００へ液体を供給するための流路３００と、短辺と長辺の比が２．５以上の矩形で、その長手方向が流路３００の延在方向に沿って配置されている、液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する発熱素子４０１と、を備えている。吐出口１００から液体が吐出される方向から見て、発熱素子４０１の、流路３００内の液体の流れ方向における下流側の端部が、吐出口１００の下流側の端部と上流側の端部との間に位置している。 （もっと読む）

【課題】結晶性に優れ、電気的特性に優れた電気機械変換膜の作製方法を提供する。
【解決手段】基板１上に形成された下部電極をＳＡＭ材料２により所定のパターンに表面改質する工程と、前記下部電極上の表面改質を行わない領域に、インクジェット方式５によりゾルゲル液６を塗布する工程と、前記基板１の両面から赤外線を照射して前記ゾルゲル液６を熱処理する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】ＰＺＴ前駆体溶液を液体吐出ヘッドから吐出させて基板に塗布するときに付随液滴を基板に付着させず電気機械変換膜を高精度に形成できる電気機械変換膜の製造方法を提供する。
【解決手段】ＰＺＴ前駆体溶液４９をノズル孔５４から吐出することにより白金族電極４６にＰＺＴ前駆体溶液４９を塗布する塗布工程と、塗布したＰＺＴ前駆体溶液４９を熱処理して結晶化する熱処理工程とを有する電気機械変換膜の製造方法において、塗布工程は、ノズル板５１を例えば負極、白金族電極４６を正極にして、電圧を印加する印加工程と、帯電したＰＺＴ前駆体溶液４９をノズル孔５４から吐出する吐出工程と、吐出された主液滴４９ｄを白金族電極４６に塗布する主液滴塗布工程と、付随液滴４９ｅを異極性の吸引力によりノズル板５１に吸引させて回収する回収工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】液滴を吐出する液滴吐出孔と、液滴吐出孔と連通する加圧液室と、加圧液室の壁面の一部を構成する振動板と、振動板を振動させることにより加圧液室内部の圧力を変化させて液滴吐出孔から液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、振動板の幅を精度よく規制することのできる液滴吐出ヘッドの提供。
【解決手段】振動板３を構成する膜２３に溝を形成することにより、振動板幅変位規制部１３を設け、規制部１３の幅内に、加圧液室隔壁４と加圧液室の境界が収まるように配置する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子にクラックが発生するのを防止する信頼性の高い圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上方に形成された第１圧電体３０と、第１電極２０および第１圧電体３０の側方に形成される高弾性領域４０と、第１圧電体３０および高弾性領域４０を覆って形成された第２圧電体５０と、第２圧電体５０の上方に形成された第２電極６０と、を含み、高弾性領域４０は、第１圧電体３０および第２圧電体５０よりも弾性が高い。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、信頼性が向上した液体噴射ヘッド等を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド６００は、酸化シリコン層１と、前記酸化シリコン層１の上に形成された中間層２と、前記中間層２の上に形成された第１電極１０と、前記中間層２の上に形成された圧電体層２０と、前記圧電体層２０の上に形成された第２電極３０と、ノズル孔６１２に連通する圧力発生室６２２と、を含み、前記圧電体層２０は、ペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、前記複合酸化物は、少なくともビスマスおよび鉄を含み、前記中間層２は、酸化マグネシウムおよび／または酸化アルミニウムを含む。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の繰り返し印加に対して特性劣化の小さな圧電アクチュエータ、該圧電アクチュエータを用いた液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、基板３０、振動層膜４０、圧電体膜６０、二つの電極膜５０、７０を有する圧電アクチュエータにおいて、前記圧電体膜に接触して、Ｔｉ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｖ，Ｎｂ，Ｍｏから選ばれる少なくとも１つの金属元素、酸素元素および炭素元素から構成されるバリア層１０、１１を設ける。 （もっと読む）

【課題】歪量が大きい圧電体膜を製造できる圧電体膜の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｂｉ、Ｆｅ、Ｍｎ、Ｂａ及びＴｉを含有し、Ｂｉと、Ｆｅ及びＭｎの総量とのモル比であるＢｉ／（Ｆｅ＋Ｍｎ）が、１．０２以上１．０８以下である圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を加熱して結晶化する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】インクのリフィル速度を落とさずに、サテライトを低減する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録ヘッドは、平板形状のヒータ１と、発泡室１０と、発泡室１０にインクを導くための供給路９と、発泡室１０に連通する吐出口４がヒータ１と対向する位置に形成された流路構成基板３とを有する。ヒータ１は、熱エネルギを発生する、吐出口４に対面する第１の面１ａおよびその反対側の面である第２の面１ｂを有する。また、ヒータ１は、第１の面１ａから吐出口４が開口している発泡室１０の天面までの距離が第２の面１ｂから発泡室１０の底面までの距離よりも短くなる位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】全体厚みが１００μｍ以下であっても層間剥離を抑制でき、優れた圧電特性が得られ、しかも変位制御が容易な積層圧電体、圧電アクチュエータおよびこれを備えた印刷ヘッドを提供することである。
【解決手段】複数の圧電セラミック層１を積層した積層体と、該積層体の内部に設けられたＡｇ−Ｐｄ合金からなる内部電極２とを備え、厚みが１００μｍ以下であり、内部電極２がセラミックスからなる共材を含有し、該共材の９０％以上がＡｇ−Ｐｄ合金の粒界の３重点に存在する積層圧電体である。 （もっと読む）

【課題】配線部材との接合性の良好な圧電アクチュエータユニット、それを用いた圧電アクチュエータユニット装置、液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供する。
【解決手段】複数の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが積層されている積層体と、積層体の一方の主面２１ｄに形成されている複数の個別電極３５と、複数の個別電極３５上に形成されている個別電極バンプ４６と、複数の個別電極３５に対向して積層体の内部に積層されている共通電極３４と、共通電極３４の複数の個別電極３５に対向してない部位から積層体の一方の主面２１ｄまで繋がっているビアホール２１ｃと、ビアホール２１ｃ内の共通電極３４上に形成されている共通電極バンプ４７とを有する圧電アクチュエータユニット４０であって、ビアホール２１ｃの底面の下側に位置する圧電セラミック層２１ａが、ビアホール２１ｃ側に突出している。 （もっと読む）

【課題】圧電層上の複数の個別電極において延出部の延出方向が互いに逆のものが存在する構成で、個別電極が延出部の延出方向又はこれとは逆の方向にずれた場合でも、記録品質の悪化を抑制できるようにする。
【解決手段】各個別電極１８は、平面視で圧力室に対向して配置された主部１８ａと、主部１８ａの一方の鋭角部から圧電層の表面１７ａ１に沿ったＸ方向に延出された延出部１８ｂ１と、主部１８ａの他方の鋭角部から表面１７ａ１に沿ったＹ方向（Ｘ方向とは逆の方向）に延出されたダミー延出部１８ｂ２と、延出部１８ｂ１の先端に形成されたランド１８ｃとを含む。表面１７ａ１には、延出部１８ｂ１の延出方向（Ｘ方向）が互いに逆の個別電極１８が交互に配置されている。 （もっと読む）

【課題】凹部３を構成する側壁１０の厚さが圧力室４の配列ピッチや駆動条件に影響しないようにして設計自由度を拡大させた液体噴射ヘッド１を提供する。
【解決手段】表面に凹部３からなる圧力室４を所定方向に複数配列する基体２と、凹部３の側壁１０上面に接合し、凹部３の開口端を閉塞する圧電体基板５と、圧力室４に液体を供給する液体供給室６と、圧力室４から液体を吐出する吐出孔２２と、を備え、圧電体基板５は開口端の端面の面内方向に一様に分極され、圧電体基板５の圧力室４とは反対側の表面及び圧力室４側の裏面に圧電体基板５を挟む一対の表面及び裏面駆動電極９ａ、９ｂが開口端の略中央部から凹部３の側壁１０まで延在させた。 （もっと読む）

【課題】流路部材および基板内の空間の利用効率の高めるとともに、しぼりを形成する空間を設けることのできる液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置を提供する。
【解決手段】一方の主面に開口している複数の液体吐出孔８、複数の液体吐出孔８にそれぞれ繋がっているとともに、他方の主面に開口している複数の液体加圧室１０、および他方の主面に開口している複数の液体導入室１５、ならびに液体導入室１５から複数の加圧室１０に繋がっているしぼり１２を有する第１の流路部材４と、複数の液体加圧室１０の液体をそれぞれ加圧する加圧部５０および複数の液体導入室１５の位置にそれぞれ開口している複数の貫通孔３０を有し、複数の液体加圧室１０を覆うように第１の流路部材４に積層されている基板２１と、複数の貫通孔３０を通って複数の液体導入孔１５に繋がっている、マニホールド５を有する第２の流路部材４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】クラックやアブレーションにより劣化が生じることを低減させる。
【解決手段】基板上の薄膜形成において、薄膜形成にかかるインク滴が塗布された領域に対応した位置の、そのインク滴が塗布された面の裏面に、塗布された領域よりも照射範囲を大きくしたレーザ光を照射し、そのインク滴が塗布された領域に対応した位置の、そのインク滴が塗布された面に、塗布された領域に対応した範囲にレーザ光を照射してインク滴を加熱して焼成させる。 （もっと読む）